高性能のまま低価格を実現！『単結晶育成引上工程用ロードセル』
【ＣＺ法単結晶育成装置用】種付けから回転引上げ、インゴット完成まで重量制御が可能
単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。 回転しながら成長する単結晶の重量を正確に安定した電気出力に変換します。 チョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には独特の荷重センサを用いました。 ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。 【特長】 ◆ノイズに強い対策実施で低リップル 広帯域の電気的ノイズ防止を徹底的に追求した回路設計。低リップルの安定した性能を実現 ◆速い応答周波数 高速化したADCに対応した周波数特性(DC～1.2Hz(-3dB))が獲得可能 ◆低速回転から高速回転まで安定動作 低速回転から高速回転(300rpm)まで安定に動作、計測制御の応用範囲を広げる。納入品には回転試験検査データを添付 【用途例】 単結晶インゴット育成工程の結晶育成装置 ※詳細はお問い合わせかPDFをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社テンサー センサーシステム事業部
- 価格：応相談
