【表面処理】耐プラズマエロージョン 半導体製造装置関連
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
- 企業:富士岐工産株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年01月28日~2026年02月24日
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半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
半導体・IT分野クリアな施工環境が求められる半導体部品にも対応いたします!
半導体・IT業界における溶射の重要性も増してきており、当社でも 実績を重ねています。 製品の性質上公開できないものが多いため、ここでは、よりクリアな 施工環境が求められる半導体部品への溶射に対応した設備をご説明。 高品質・ハイレベルな要求事項に応える為、日々研究を進めています。 【施工設備】 ■不純物の混入を避け、専用設備としたクリアな溶射環境 ■信頼度の高いロボットによる完全自動施工 ■新しい溶射ガン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【絶縁性向上】半導体製造装置部品へアルミナ溶射
【効果】絶縁性、耐プラズマ性向上のアルミナ溶射技術 【課題】 半導体製造装置部品において、静電気障害を防止する解決策としてアルミナ溶射技術が利用されてきたが、高純度被膜である事、及び短納期対応が課題であった。 【解決策】 当社のアルミナ溶射により高純度被膜を生成、短納期にも対応しました。 【当社の売り】 当社のプラズマ溶射設備は、単発品や試作品への対応を得意としております。 ※ネット上には、出していない資料もございます。 詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問合せください。 ※導入事例資料はカタログのアイ・シイ・エス導入事例集からダウンロード可能です。
耐摩耗性、化学的安定性、絶縁性など優れた皮膜特性が得られるアルミナ溶射材料です。
溶融-粉砕法で作製されたアルミナ溶射材料です。 耐摩耗、絶縁部品に使用されるホワイトアルミナ(AW)と、半導体、FPD製造装置などに使用される高純度アルミナ(AHP)を用意しております。 高純度アルミナ粉末の溶射では黒点の発生が従来問題となっていましたが、フジミでは溶射材中の異物に注目して黒点要因と考えられる異物を除去する特別な処理を粉末に施しておりますので、黒点発生を抑制した溶射皮膜(コーティング)が可能となります。 【用途例】 AWは耐摩耗性、化学的安定性、絶縁性を活かし、耐摩耗、絶縁部品などに使用されています。 AHPは半導体、FPD製造装置などに使用されています。 アプリケーション例 ・耐摩耗部品(製紙用ロール・繊維用部品など) ・絶縁部品 ・静電チャック ・半導体、FPD(OLED、LCD)製造装置 など 【メッセージ】 フジミではお客様のご要望に応じた純度、粒度に調整した粉末の試作も可能です。 セラミックス溶射材料に関してご質問やご要望等ございましたらお気軽にご連絡ください。 ※製品の詳細はカタログをご覧ください
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマ性を付与させます
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマ性付与
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、真空蒸着時のシールドからの発塵を抑えることができます
■溶射材料:アルミニウム ■溶射方法:アーク溶射 ■施工効果:真空蒸着時のシールドからの発塵防止
装置内で部品(カバーリング、石英への溶射、シャワープレート)が、プラズマにより損傷を受け劣化したものを解決した事例を紹介!
半導体・液晶業界では、ICチップや液晶パネルの製造ラインなど クリーンな環境で製造しています。 その様な環境下で製造装置は、絶縁性や耐プラズマ性などが要求されます。 セラミック溶射でそのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 装置内で部品(カバーリング、石英への溶射、シャワープレート)が、 プラズマにより損傷を受け劣化した ■提案 耐プラズマ性や、コンタミ防止などの効果のあるコーティングを提案 ■効果 損傷を受けたり部品の寿命が延び、コーティングが何度も再生可能になった 部品を新品で購入する費用が抑えられ大変喜ばれた
工場での火災に備えよう!発生リスクの軽減を実現
当社の「難燃性樹脂」についてご紹介いたします。 半導体不足の一因にもなった2020年代に起きた一連の半導体工場の 火災に代表されるように工場が長期にわたり、稼働停止になることは 絶対に避けなければなりません。 工場を運営する上で火災の発生リスクを最小限に抑え、 発生したとしても延焼を防ぎ被害を減らすことは重要です。 【ラインアップ(一部)】 ■PTFE ■PI(ポリイミド) ■PVC(塩ビ) ■PPS(ポリフェニレンスルファイド) ■PEEK ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
溶射で絶縁・除電皮膜を形成! -表面処理・コーティング技術-
▶表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください! 溶射皮膜で基材の表面に絶縁性・除電性を付与することが可能です。 ご希望の性能に合わせて最適な材料をご提案しますので、お気軽にお問い合わせください。 【特徴】 ・希望の絶縁破壊値に合わせて皮膜厚みを選択可能 ・体積抵抗率や表面抵抗率をコントロール可能 など 【本技術のねらい】 ・各種絶縁ロール ・ベアリング ・電極部材 ・半導体製造装置部品 等 【資料掲載内容】 ●絶縁皮膜と除電皮膜(3種類) ●各種データ ・表面抵抗率 ・体積抵抗率 ・皮膜膜厚と破壊電圧の関係 ●溶射とは? ・溶射の特徴 ・溶射工程 【資料ダウンロードはこちら】 https://tocalo-download.satori.site/tpr017-00?source=ipros
環境、福祉、情報、エネルギー…未来領域でもセラミックコーティング
セラミックスを溶射材料とする表面改質法は、保護性能に加えて、絶縁性・電導性・センサー性など、 「常識破りの機能性能」が発見・創造されて、 超電導・宇宙など未来領域でも不可欠な技術になっています。 【特長】 ○ロケット →ローカイド溶射は気孔率が高く、熱衝撃を緩和し驚異的な耐熱性能を生み出す ○深海探査艇 →セラミックコーティングで、最大潜行深度2000mを500回を超える潜水記録を打ち立てた ○燃料電池 →固体電解質型燃料電池では、セラミックスであるジルコニアを溶射した発電素子が使われている ○高温超電導 →すでに90°K(絶対温度)レベルの超伝導素材を溶射で作り上げた ○半導体製造装置 →セラミックスを装置自体にコーティング。あってはならない汚染を防ぐ ※詳しくはPDFをダウンロードいただくかお問合せ下さい。
使い方はいろいろ!溶射をはじめとした表面処理・コーティング技術で生産効率向上&部品の長寿命化に貢献します。
▶表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください! 鉄鋼から半導体、医療分野まで、さまざまな業界で幅広く利用される表面処理。 資料では、溶射・その他技術の概要や実績のあるアプリケーション等、幅広くご紹介しています! \こんな方におすすめです!/ ・表面処理をご検討中の方 ・今よりも長持ちするコーティングをお探しの方 ・熱影響の少ない処理をご希望の方 ・開発中の商品へ高機能性・付加価値付与をご検討中の方 ―――― 掲載内容 ――― ●溶射とは ●当社保有技術 ●溶射以外の技術 ●表面処理適用例 【カタログダウンロードはこちら】 https://tocalo-download.satori.site/tpr049-00?source=ipros
【全国対応可能】多品種多様な部品への溶射が可能! 提案~溶射、納品、アフターケアまで一貫体制で丁寧に対応します。
日本コーティング工業が極めてきた 64年以上のローカイド溶射の実績があればこそ、 プラズマ溶射の良さを引き出すことができ、 プラズマ溶射のメリットを十分発揮させることが可能になります。 半導体液晶やエネルギー、飲料や食品分野の実績が多数あります。 【特長】 ■溶射材料は粉末状態。新しい素材への対応も含めて、選択肢がワイド ■高融点材料に強く、しかも皮膜に気孔が少ないため、母材との付着力が強固 ■プラズマ生成には不活性ガスを使用するため、 酸化による材料変化の少ない皮膜をつくることができる ■溶射する材料に適した溶射条件に調整することが可能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くかお問合せ下さい。
コストパフォーマンスは追求できる
溶射装置メーカー”エアロプラズマ社”と日本セラテック社セラミックス材料技術のコラボレーションにより、超緻密・高耐電圧・耐プラズマ特性等無限の可能性を秘めたセラミックス溶射技術を確立しました。
溶射加工の事例です。
・繊維機械 ・製紙機械 ・印刷機械 ・石油化学プラント ・プラスチック製造機械 ・フィルム製造機械 ・ゴム製造機械 ・窯業・土石製品製造機械 ・製鉄機械 ・製缶機械 ・電線・ケーブル伸線機械 ・金属製品製造 ・汎用器械器具製造 ・蒸気機関・タービン・水力発電装置 ・ポンプ・圧縮機器製造機械 ・食品機械 ・紙・パルプ機械 ・フィルムコンバーティング機械 ・工作機械 ・半導体製造装置 ・ポンプ機械 ・電子機械 ・発電機械 ・内燃機関 ・プラスチック加工機械 ・自動車 ・船舶 ・航空機 ・産業用車両 ・工業用ポンプ ・生産用機械器具 ・一般産業用機械・装置 ・各種製造機械
【膜種、方式にとらわれないコーティングの全方位提案!】
こんなお困りごとはありませんか? 課題、用途に適した膜種、方式を提案 【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】 ●「装置部材の長寿命化」「生産消耗部材の長寿命化」のテーマがある ↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●部材そのものの切替にはコストやリスクがありコーティングを検討したい ↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●コーティングメーカーがたくさんあり、どこに相談すれば良いのか? 各メーカーがどの程度の精度で出来るのか?を考えるのが大変
溶射技術の入門資料プレゼント
溶射とは、様々な材料をエネルギーによって加熱、加速させ、それを基材に吹き付けて体積膜を形成する技術です。 溶射によって得られる機能性 耐摩耗性 耐食性 耐熱性 遮熱性 絶縁性など アイシイエスなら 1、ご要望に応じた材料を選定 2、最適なプロセスでご提案 3、徹底した品質管理 4、高品質膜な溶射コーティングのご提供 致します。
ピストンヘッドの熱による損傷を防ぎたいという課題に対してセラミック溶射のコーティングで解決した事例を紹介!
自動車には、何千ものパーツが使用されております。 セラミック溶射の耐摩耗性、耐熱断熱、電気絶縁などの機能が 検討、採用され、自動車の燃費や耐久性を向上させています。 セラミック溶射で自動車関連のパーツのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 ピストンヘッドの熱による損傷を防ぎたい ■提案 ピストンヘッド部に、耐熱性・断熱性のあるセラミック溶射を提案 ■効果 ピストンヘッドの損傷を防げ、エンジンの高率アップにも繋げることがき大変喜ばれた
圧延機メーカーで調達も価格が下がらないか課題を抱えていた企業様の課題を解決した事例を紹介!
鉄鋼や金属の生産ラインは、ダイナミックで過酷な環境です。 圧延部品、伸線機部品、周辺機器、ユーティリティ機器などの重要部品では、 常に摩耗されていて修理が頻繁に起こり困っておられます。 セラミック溶射でそのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 圧延機メーカーで調達も価格が下がらないか ■提案 圧延メーカーに納めている実績を提案した ■効果 購入費が抑えられ、一部改善等にも可能になり安定供給が得られたと大変喜ばれた
リップシール部の摩耗対策としてロータリジョイントを再生化したコーティングをご紹介します!
リップシール(オイルシールとも呼ばれる)は、 主に回転軸や往復運動するシャフトなどの隙間から 油やグリースが漏れないようにするためのシール部品です。 潤滑油の劣化や、潤滑油の劣化、水分や薬品の影響などの 外的環境要因や潤滑・温度要因でリップシールは摩耗していきます。 そんな摩耗をセラミック溶射でそのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 リップシール部の摩耗対策をしたい ■提案 相性の良いセラミックをコーティングし長寿命化を提案 ■効果 従来の2倍以上の耐久性が上がり大変喜ばれた
製造ラインで使用される焼き入れコイルの寿命を延ばしたいという要望をいただき、セラミック溶射のコーティングで解決した事例を紹介!
自動車には、何千ものパーツが使用されております。 セラミック溶射の耐摩耗性、耐熱断熱、電気絶縁などの機能が 検討、採用され、自動車の燃費や耐久性を向上させています。 セラミック溶射で自動車関連のパーツのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 製造ラインで使用される焼き入れコイルの寿命を延ばしたい ■提案 焼き入れコイル部に、耐熱性・絶縁性のあるセラミック溶射を提案 ■効果 生産ラインに採用され、寿命延長して生産性の向上に貢献したので、 大変喜ばれて定期的に修理を頂くようになった
NCIが進化させつづけた「つねに新鮮な」セラミック皮膜。
日本コーティング工業は、宇宙工学から生まれたセラミック溶射技術を育って半世紀。 セラミックの持つ耐熱・断熱・耐食・耐摩耗・電気絶縁・非粘着等の特性を益々高度化する機械設備の機能向上に、フリーメンテナンス化にお役立てください。 溶射は部品の再生と機能付与とを同時に行なえる表面改質技術です。 この再生と機能付与こそ限りある資源の有効活用を支える基盤技術です。 御社の課題解決にぜひ日本コーティング工業の溶射技術をお役立てください。 【業務内容】 ○各種コーティングの施工及び加工並びに販売 ○前号に付帯関連する一切の業務 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
圧延ロールの装着部が摩耗が早く、ロールの修理が頻繁で困っていたお客様の課題をセラミック溶射のコーティングで解決した事例を紹介!
鉄鋼や金属の生産ラインは、ダイナミックで過酷な環境です。 圧延部品、伸線機部品、周辺機器、ユーティリティ機器などの重要部品では、 常に摩耗されていて修理が頻繁に起こり困っておられます。 セラミック溶射でそのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 圧延ロールの装着部が摩耗が早く、ロールの修理が頻繁で困っていた ■提案 メッキ処理からセラミック溶射に置き換えて圧延ロールの延命を提案した ■効果 メッキ処理だと約半年~1年で修理が必要だったが、 セラミック溶射に変えたことで2年以上の寿命が延び 修理費用が抑えられて大変喜ばれた
溶射・表面処理のことなら倉敷ボーリング機工株式会社へお任せください!
倉敷ボーリング機工では、溶射だけでなく前後処理(ブラスト処理、切削、研削、等)までを一貫体制で行い、短納期、高品質を実現しています。 【倉敷ボーリング機工 溶射の特長】 ■溶射だけでなく前後処理まで一貫体制 ■短納期、高品質を実現 ■13,000mm、重量50tまでの大型部材や複雑形状品も加工可能 ■研究開発スタッフによる特殊機能性を目的とした新規溶射皮膜設計 ■ISO9001に基づき、品質管理を徹底し、信頼性の高い溶射皮膜を提供 <溶射とは> 「溶かして射つ」 コーティングに用いる材料を加熱・溶融し、対象とする部材の表面に吹き付けてコーティング層(=皮膜)を形成する表面処理技術です。 産業用各種ロール、ガスタービン、エンジン部品、半導体製造装置への機能性溶射皮膜の形成など 現代社会において必要不可欠な技術です。 ※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
施工前の約3倍の寿命が延びてメンテナンスフリー化に貢献できた事例をご紹介!
化学プラントには、送液、攪拌、濃縮などで色々な回転機器や 圧縮機器が過酷な条件の中で使用され、耐食耐摩耗の対策でお困りになってます。 セラミック溶射でそのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 オイルシール部とメタニカルシール部が使用しているうちに摩耗して シール部分が削れて送液する液体が漏れて困っていた ■提案 シャフトの摩耗した部分を一度削り取り、 その部分にセラミック溶射をコーティングして シャフトの再生を提案した ■効果 施工前の約3倍の寿命が延びてメンテナンスフリー化に貢献できた 取り換え頻度が少なく費用面でも喜んでいただけた
溶射、いいかも?と思ったらまずはトーカロに!目的に応じた機能を最大限に発揮できるように調整提案いたします!
表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください! 【溶射とは】 溶射は、産業界で幅広く利用されている表面改質技術です。目的に応じてその機能を最大限に発揮できるように調整した 金属やセラミックスなどの溶射材料を、さまざまな熱源により溶融、軟化させた粒子を加工対象物表面に吹き付けます。 吹き付けられた溶融粒子は瞬時に冷却されて固化し皮膜を形成します。 【ご相談の際は…】 溶射手法、材料成分等の異なる百種類以上のラインナップから、貴社に最適な仕様を選定いたします! 試作も可能ですので、まずはお気軽にご相談ください。 【会社紹介資料ダウンロード】 https://tocalo-download.satori.site/tts001-00?source=ipros 資料は本サイトには掲載しておりません。 お手数ですが、上記のページからダウンロードをお願いいたします。
ロール表面の傷によるフィルムへの転写をなくし、耐摩耗性の向上を図り長く使用したいという課題をコーティングで解決した事例を紹介!
フィルムシートの延伸工程では、ロール表面の少しの傷も許されません。 よって延伸ロールの表面の「みがき」は、とても重要になり、 傷が付きにくい高い硬度が求められます。 耐摩耗性を向上させ、ロール表面のキズによるフィルムへの転写を少なくし、 離型性の向上もできる弊社のセラミック溶射でそのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 ロール表面の傷によるフィルムへの転写をなくし、 更に耐摩耗性の向上を図り長く使用したい ■提案 セラミック溶射の高硬度な皮膜で耐摩耗性の向上、 NCI独自の仕上げ技術による表面粗度(亜鏡面~超鏡面迄)「みがき」の提供、 また使用後再コーティングが可能なので、 再現性のある表面粗さに何度でも仕上げて提供できると提案した ■効果 寿命が延び修理のサイクルが長くなり、メンテナンス費用が大幅に削減でき、 生産性の向上に寄与できたので大変喜ばれた
半導体製造における高純度環境での部品保護に
半導体製造業界では、高純度環境を維持するために、部品の腐食や摩耗を防ぐことが重要です。特に、微細な粒子や異物の混入は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。アモルファス溶射は、耐食性と耐摩耗性に優れた皮膜を提供し、これらの課題に対応します。臼井国際産業株式会社のアモルファス溶射は、半導体製造における高純度環境を維持し、部品の長寿命化に貢献します。 【活用シーン】 ・高純度環境下で使用される部品 ・腐食や摩耗が問題となる部品 【導入の効果】 ・部品の耐久性向上 ・交換頻度の削減 ・製品の品質維持
高純度リン化亜鉛の世界市場:リン化亜鉛粉末、リン化亜鉛インゴット、リン化亜鉛ウエハース、その他、半導体、殺鼠剤、燻蒸剤、その他
本調査レポート(Global High Purity Zinc Phosphide Market)は、高純度リン化亜鉛のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の高純度リン化亜鉛市場概要、主要企業の動向(売上、販売価格、市場シェア)、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。 高純度リン化亜鉛市場の種類別(By Type)のセグメントは、リン化亜鉛粉末、リン化亜鉛インゴット、リン化亜鉛ウエハース、その他を対象にしており、用途別(By Application)のセグメントは、半導体、殺鼠剤、燻蒸剤、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、高純度リン化亜鉛の市場規模を算出しました。 主要企業の高純度リン化亜鉛市場シェア、製品・事業概要、販売実績なども掲載しています。