【表面処理】耐プラズマ性付与 イットリア溶射
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマ性を付与させます
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマ性付与
- 企業:富士岐工産株式会社
- 価格:応相談
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半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマ性を付与させます
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマ性付与
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、真空蒸着時のシールドからの発塵を抑えることができます
■溶射材料:アルミニウム ■溶射方法:アーク溶射 ■施工効果:真空蒸着時のシールドからの発塵防止
溶射で絶縁・除電皮膜を形成! -表面処理・コーティング技術-
▶表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください! 溶射皮膜で基材の表面に絶縁性・除電性を付与することが可能です。 ご希望の性能に合わせて最適な材料をご提案しますので、お気軽にお問い合わせください。 【特徴】 ・希望の絶縁破壊値に合わせて皮膜厚みを選択可能 ・体積抵抗率や表面抵抗率をコントロール可能 など 【本技術のねらい】 ・各種絶縁ロール ・ベアリング ・電極部材 ・半導体製造装置部品 等 【資料掲載内容】 ●絶縁皮膜と除電皮膜(3種類) ●各種データ ・表面抵抗率 ・体積抵抗率 ・皮膜膜厚と破壊電圧の関係 ●溶射とは? ・溶射の特徴 ・溶射工程
コストパフォーマンスは追求できる
溶射装置メーカー”エアロプラズマ社”と日本セラテック社セラミックス材料技術のコラボレーションにより、超緻密・高耐電圧・耐プラズマ特性等無限の可能性を秘めたセラミックス溶射技術を確立しました。
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溶射とは、様々な材料をエネルギーによって加熱、加速させ、それを基材に吹き付けて体積膜を形成する技術です。 溶射によって得られる機能性 耐摩耗性 耐食性 耐熱性 遮熱性 絶縁性など アイシイエスなら 1、ご要望に応じた材料を選定 2、最適なプロセスでご提案 3、徹底した品質管理 4、高品質膜な溶射コーティングのご提供 致します。
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表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください! 【溶射とは】 溶射は、産業界で幅広く利用されている表面改質技術です。目的に応じてその機能を最大限に発揮できるように調整した 金属やセラミックスなどの溶射材料を、さまざまな熱源により溶融、軟化させた粒子を加工対象物表面に吹き付けます。 吹き付けられた溶融粒子は瞬時に冷却されて固化し皮膜を形成します。 【溶射技術の応用】 トーカロの溶射技術は、鉄基材だけにとどまらずアルミニウムやニッケルなどの非鉄金属や、CFRPなどの非金属にも適用可能です。 しかも溶射材料は、アルミニウムやステンレス、チタン、モリブデンなどの金属や、 各種合金、セラミックス、金属とセラミックスの複合材料であるサーメットなど極めて多岐にわたります。 各種溶射法を組み合わせることにより、物理的・化学的・機械的に性質の全く異なった機能を持つ皮膜を自在に作ることができます。 【ご相談の際は…】 溶射手法、材料成分等の異なる百種類以上のラインナップから、貴社に最適な仕様を選定いたします! 試作も可能ですので、まずはお気軽にご相談ください。