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炉(ハロゲンヒーター) - メーカー・企業と製品の一覧

炉の製品一覧

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小型ハロゲン対応炉_ハロゲンガス×高温プロセス対応

ハロゲンをプロセスガスに使いたい方、試料から出て困っている方へ

ハロゲンガス(Cl、F、Br など)を伴うプロセスでは、一般的な電気炉に以下のような問題が起こりがちです。 ■ ヒーターや断熱材がハロゲンにより急速に腐食 ■ パッキンや配管材質が合わず、リークや安全面への不安 その結果、新しい材料プロセスの検討自体を諦めるといった状況が生じています。 Thermonik ENGの“小型ハロゲン対応炉”は、 1.プロセスガスとしてハロゲンを積極的に流したい場合 2.サンプルからハロゲンが揮発して炉を汚してしまう場合 この2つのケースを想定し、「ハロゲンだからできない」を「ハロゲンでもテストできる」に変えるための専用炉です。 [特長] ■ 高耐食材料採用:サーモニック独自の技術により高耐食性を実現 ■ 腐食ガスモニタ対応:漏洩検知センサーとの連動運転が可能 ■ スケール適応性:数g〜数100gまでの試料処理に対応 ■ 常に負圧での運転:大気圧よりも低い圧力で運転することによりプロセスガスの漏洩リスクを低減

  • 電気炉

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バッチ式高温焼成炉(大気雰囲気)エレベーター昇降タイプ

炉床板が回転することにより、均熱性に優れています

当社では、セラミック基板の焼成処理などの~1600℃の高温で ご利用いただける『バッチ式高温焼成炉(大気雰囲気)』 (エレベーター昇降タイプ)を取り扱っております。 エレベーター方式により、省スペースが実現。 また、ワークを台車にセットした状態で、容易に炉に投入することができます。 【標準仕様】 ■温度条件:常用温度/1550℃±5℃ 最高温度/1600℃ ■雰囲気:クリーンエアー ■加熱方式:ハロゲンヒーター/IRヒーター 選択可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 工業炉

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真空熱処理炉

既成品からオーダーまで対応!プレス付真空熱処理炉や超高温熱処理炉をご紹介

当社で取り扱う真空熱処理炉をご紹介いたします。 加熱温度が常用600℃の「プレス付真空熱処理炉」をはじめ、 ハロゲンランプ等の電極の充填、脱ガス等、真空熱処理を行う 「超高真空脱ガス炉」などをラインアップ。 製品知識の高いスタッフが万全の修理体制をとっており、既成品から オーダーまで対応をします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■プレス付真空熱処理炉 ■超高温熱処理炉 ■超高真空脱ガス炉 ■多目的高温炉 ■金属線材連続熱処理炉 ■金属試料2段温度熱処理炉 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 真空機器
  • 加熱装置

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アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar)

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により3種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター:Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター:Max1000℃(真空中、不活性ガスのみ) ・SiCコーティングヒーター:Max1000℃(真空、不活性ガス、O2)

  • アニール炉
  • 加熱装置
  • 電気炉

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