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炉床板が回転することにより、均熱性に優れています
当社では、セラミック基板の焼成処理などの～1600℃の高温で ご利用いただける『バッチ式高温焼成炉（大気雰囲気）』 （エレベーター昇降タイプ）を取り扱っております。 エレベーター方式により、省スペースが実現。 また、ワークを台車にセットした状態で、容易に炉に投入することができます。 【標準仕様】 ■温度条件：常用温度／1550℃±5℃ 最高温度／1600℃ ■雰囲気：クリーンエアー ■加熱方式：ハロゲンヒーター/IRヒーター 選択可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
選択塩素化・治具洗浄・腐食性ガス評価に対応する小型ハロゲン炉
「小型塩素炉」は、Cl2、HClなどのハロゲンガス雰囲気に対応した小型試験炉です。 金属不純物のドライ除去、選択塩素化、腐食性ガス雰囲気での材料評価、反応制御、治具洗浄などに適用できます。 棚板ヒーターによる均一加熱により、サンプル内部までCl2ガスを拡散させやすく、粉末・多孔質体・セラミックス・カーボン材などの小スケール条件検討に適しています。 また、生成した塩化物の沸点を利用することで、より低温での処理条件を検討できます。Cl2、HCl、減圧運転を考慮した安全設計により、腐食性ガスを扱う試験環境を構築できます。 【特長】 ■ Cl2、HClなどのハロゲンガスに対応 ■ 金属不純物のドライ除去・選択塩素化に適用 ■ 棚板ヒーターによりサンプルを均一加熱 ■ 粉末・多孔質体の内部までガスを拡散させやすい構造 ■ 排気・除害・ガス検知・インターロックとの連携が可能 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
既成品からオーダーまで対応！プレス付真空熱処理炉や超高温熱処理炉をご紹介
当社で取り扱う真空熱処理炉をご紹介いたします。 加熱温度が常用600℃の「プレス付真空熱処理炉」をはじめ、 ハロゲンランプ等の電極の充填、脱ガス等、真空熱処理を行う 「超高真空脱ガス炉」などをラインアップ。 製品知識の高いスタッフが万全の修理体制をとっており、既成品から オーダーまで対応をします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■プレス付真空熱処理炉 ■超高温熱処理炉 ■超高真空脱ガス炉 ■多目的高温炉 ■金属線材連続熱処理炉 ■金属試料2段温度熱処理炉 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar）
高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により３種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター：Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター：Max1000℃（真空中、不活性ガスのみ） ・SiCコーティングヒーター：Max1000℃（真空、不活性ガス、O2）
