【分析事例】パワートランジスタ(DMOSFET)の拡散層評価
ゲート・ソース層・ボディ層の位置関係がわかります
市販パワートランジスタ(DMOSFET) について、ポリSi ゲートとn型ソース層およびp型ボディ層の形状・位置関係を調べました。 AFM像と重ねることでゲートとの位置関係も知ることができます。
- 企業:一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年09月02日~2026年09月29日
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ゲート・ソース層・ボディ層の位置関係がわかります
市販パワートランジスタ(DMOSFET) について、ポリSi ゲートとn型ソース層およびp型ボディ層の形状・位置関係を調べました。 AFM像と重ねることでゲートとの位置関係も知ることができます。
上下(前後)に離れた2点間のマークに個別のピント合わせができ、あたかも同一面にあるように観察できる光学ユニット!
2点間が接近しているもの、離れているものでも、ご要望に応じて製作できます。デジタルマイクロメーター利用によるXY軸測定・ワーク上下両面の観察機能の組み込み等、さまざまな応用が利用できます。
PLマッピングで検出した結晶欠陥の高分解能TEM観察
PL(フォトルミネッセンス)マッピングでは、発光箇所から結晶欠陥位置の特定が可能です。 更に同一箇所を高分解能STEM観察(HAADF-STEM像)を行うことで積層欠陥を捉えることができます。 本事例では、市販のSiCパワーデバイスについてPLマッピングとSTEMを用いて調査を行いました。 PLマッピングにより積層欠陥位置を特定後、欠陥端部分についてμサンプリングを行い、断面STEM観察を実施しました。
産業用や、それ以外に精密な拡大像を必要とする人にも適した製品です。
LFM LEDは、オールメタル構造、LED照明とフレキシブルなセルフバランス型のアームを持ったLuxo伝統の軽量型拡大鏡です。 アームは長いリーチと、垂直と水平方向の最大動作を提供し、レンズ部は左右にスイングするため、位置決めの自由度が高く、ふらつくことなく、常に正しい位置に静止することができます。 ランプヘッドとアーム間のジョイントにより、照明とレンズがアーム端に対し、上下、左右、軸回転することにより、正確な位置決めを容易にしています。 【特徴】 ○産業用や、それ以外に精密な拡大像を必要とする人にも適している ○軽量のため移動が容易 ○取り外し可能なテーブルクランプで設置が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
LED illuminated magnifier
WAVE LEDは、産業用途の照明拡大鏡です。 レンズに対し左右2方向から照明するシャドーフリー拡大と、左または右の一方向からの方位照明により、対象物の立体感が強調された拡大像を得ることができます。 アームは長いリーチと、垂直と水平方向の最大の動作を提供し、レンズ部は左右にスイングするため、位置決めの自由度が高く、ふらつくことなく、常に正しい位置に静止することができます。 ランプヘッドとアーム間のジョイントにより、照明とレンズがアーム端に対し上下、左右、軸回転することにより、正確な位置決めを容易にしています。 【特徴】 ○3ステップ調光機能を備えている ○消し忘れ防止のために 4または9時間後の自動電源オフの設定をすることが出来る 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
活物質の粒径・結晶方位評価、原子レベル観察が可能
リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入などで電極活物質に成分や結晶構造の変 化が生じます。正極活物質として用いられるLi(NiCoMn)O2(NCM)の構造評価として、EBSDにより一次粒子の粒径や配向性を評価しました。更に、方位を確認した一次粒子について高分解能STEM観察を行 い、軽元素(Li、O)の原子位置をABF-STEM像で、遷移金属(Ni、Co、Mn)の原子位置をHAADF-STEM像で可視化した事例を紹介いたします。 測定法:SEM・EBSD・TEM 製品分野:二次電池 分析目的:形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
フリーハンド作業には欠かせないスタンドタイプルーペです。
スタンド型シリーズは、ルーペを持たずにフリーハンドで対象物を観測できます。 ホビー、読書等の日常使用から、諸検査、精密部品の組立、修理等のプロフェッショナル迄、様々なニーズに幅広い対応ができる様、倍率・レンズ径を各種取り揃えております。 コンパクトで普及型、ガラスレンズ使用の高倍率の「スタンド式ルーペ」や、ハッキリと鮮明な像を捕えることができ、色収差、歪曲収差が補正され、視野が広く明るくとても見やすい「ロングアイポイント」、安定性に優れた鋳物ベースで自由自在になる「フレキシブルルーペ」などがあります。 【特徴】 [フレックスルーペ] ○好きな位置、角度を保持して視ることができる [ロングアイポイント] ○ハッキリと鮮明な像を捕えることができる ○色収差、歪曲収差が補正され、視野が広く明るく見やすい [スタンド式ルーペ] ○前後、高さレンズ角度調整可能 ○ネジで位置を固定できる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
pn判定を含む拡散層の構造を明瞭に観察可能
市販LSI内のNPNバイポーラトランジスタについて全景からエミッタ部の拡大まで詳細に観察が可能です。 エミッタ電極の中心を通る断面を露出させ、AFM観察、SCM測定を行った事例です。 AFM像と重ねることで、配線との位置関係がはっきりします。
製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング
代表的なメモリであるDRAMについて製品レベルからTEM観察による素子微細構造解析まで一貫して分析します。 外観観察からレイヤー解析、Slice&Viewを行うことで構造の全体像を把握し、FIB加工位置をナノレベルで制御し薄片形成後にメモリ部の微細構造をTEM像観察しました。
標準規格品として全品1個から販売。完全在庫販売のため、短納期で供給致します。
6Xの高い倍率ながら、作動距離が長く、広くてフラットな視野が得られることで好評の拡大鏡です。 この互いに相反するファクターの両立は難しく、市場に流通する同種製品ではなかなか見つけることができません。 無色透明のアクリル製ベース部は、周囲からの光を取り込み、試料を明るく照らすことを可能にします。 またこのベース部は、220°にまで広げられた作業用開口スペースにより、拡大鏡下に置いた試料の微妙な位置調整を容易にします。 これらの特長により、本製品はグラフィックアートの分野における拡大鏡のスタンダードになっています。 標準規格品の製品ラインナップとその仕様、販売価格に関しては、エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社の公式サイト内の対象製品ページをご覧ください (上記リンクの製品ホームページよりお入りいただけます)。 ※下記より、こちらの製品が掲載されているエドモンド・オプティクス・ジャパンのカタログがダウンロードできます。
Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察
ABF-STEM像(走査透過環状明視野像)により軽元素の原子位置を直接観察することができます。 HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。 本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。 測定法:TEM・EDX 製品分野:LSI・メモリ 分析目的:形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
FFTM法による格子像解析
Fast Fourier Transform Mapping法は、高分解能TEM像をフーリエ変換し、FFTパターンのスポット位置から結晶の微小な格子歪みを解析、可視化する方法です。FFTM解析により、(1)画像のx、 y方向の格子歪みの解析、(2)結晶面方向の格子歪みの解析、(3)結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、(4)データ分布のヒストグラム表示、(5)空間分解能5nmで0.5%の歪の検出、が可能です。 化合物ヘテロ接合多層膜試料に適用した例を示します。
両手がふさがらない首にかける拡大鏡。ストラップ部分の形を変えてスタンドルーペにも。部品組み立てや、ライン作業に役立ちます。
『3R-SMOLIA-FREE』は部品の組み立てや細かな製品検査など、品質管理や製造工程にに便利な拡大鏡。 首にかけて見やすい位置に固定するだけで、楽な姿勢で拡大することができます。 ルーペはスタンド式や、手で持って拡大するものなどがありますが、Smolia Freeはスタンド、手持ちに限らず形を変えて使用できる自由自在な拡大鏡です。 ≪製品特長≫ 1.細かな作業や検品に両手がふさがらない 2.首掛け/スタンド/手持ちの1台3役で使える 3.シリコンゴム素材のストラップで首の負担を軽減
A4サイズの紙面が視野に入る!本格ワイドレンズ採用のスタンド型拡大鏡。倍率1.8倍。
アームとネック部分が動くので、レンズ面の位置と向きを見やすい角度に調整できます。レンズサイズ:140×193mm
大型検査LED照明拡大鏡(ドイツ製)反射防止レンズ/ 品番 M1521TS-659MG
目に優しいレンズ付き検査照明 研究開発室、電子基盤の組み立て、検査、金属加工の仕上げ面検査、時計、精密機器の組み立て、フットケア、まつげのエクステンション等で威力を発揮します。 スマートで優雅なデザインに秘めた、その高いパフォーマンス。 高品質を保つためのレンズ付き検査ライト。
Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です
パワーデバイス・光デバイスとして実用化されているGaNは六方晶ウルツ鉱構造をとり、c軸方向に結晶学的な非対称性(Ga極性とN極性)が存在します。Ga極性とN極性ではエピタキシャル膜の成長プロセスが異なるほか、結晶の表面物性・化学反応性も異なります。 本資料では、GaNの極性を環状明視野(ABF)-STEM観察により評価しました。その結果、Gaサイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にGa極性、N極性の様子を明らかにすることができました。 測定法:TEM 製品分野:パワーデバイス・光デバイス 分析目的:形状評価・構造評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
カーブミラー設置前の調査業務の時間短縮! お手持ちのスタッフを使って地上から確認可能!
今までは、古いカーブミラーや脚立を利用していた設置前の調査業務を、お手持ちの測量用スタッフを使い、高い場所に上らなくても行えます。 軽量で取り回しが良い為、調査業務以外にもお使いいただけます。 【特徴』 ・アクリルの鏡面のみなので軽量 ・ロープを引っ張って角度調整も可能 ・裏面に推奨基礎寸法表を記載 ・お手持ちのスタッフの長さを変えると、もっと高い位置の調査も行えます。 ※詳細に関しましては、お問合せまたは、下記よりカタログをダウンロードしてご覧下さい。
ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測
AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 ・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能 ・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試料ダメージを最小限に抑えることが可能
高倍率観察(30万倍程度まで)が可能
SEMは、電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。 ・簡単な操作で高倍率観察(50万倍程度まで)が可能 ・二次電子(Secondary Electron;SE)像、反射電子(BackScattered Electron;BSE)像、透過電子(Transmitted Electron;TE)像の観察が可能 ・加速電圧0.1~30kVの範囲で観察が可能 ・最大6インチまで装置に搬入可能(装置による) ・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能 EDX検出器による元素分析が可能 電子線誘起電流(EBIC)を測定し、半導体の接合位置・形状を評価 電子後方散乱回折(EBSD)法により、結晶情報を取得可能 FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能(Slice & View) 冷却観察・雰囲気制御観察
FS検査用LEDグリーンライト照明拡大鏡
現場の声をもとに新たに製品化しました。 グラビアシリンダーの版キズ検査やサンプル検査の見逃し防止に貢献します。