フラットパネル露光装置＜超大型縦型露光＞
大型パネルのマスクの撓みを大幅に削減！！
<特徴> 大型パネルのマスクの撓みを最小限に抑えたマスク縦型の露光装置です。 多面取、大型パネルをXステップで露光。高い継ぎ精度で露光します。 マスクとパネルの精密温度制御を行い、トータルピッチを抑えた装置になっています。
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
露光装置(温度制御) - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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中型タッチパネル/OLED露光装置
独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供！！！
<特徴> 2G～3.5Gまでの水平形露光装置をラインアップしています。 搬送は、高速シャトル搬送または、ロボット搬送にて、ハイスループットで生産に寄与します。 また、見えづらいITOマーク、メタルの被ったマークに対しても、独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供します。 マスクとワークの温度制御にて、トータルピッチ±3-5μｍ
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
UV露光装置 UVL-3
超高圧水銀ランプを光源に使用した簡易的な露光装置です
『UVL-3』は、卓上型のUV露光器です。 主にガラス基板等を使用するフォトリソグラフィ工程において、 露光焼付けを手軽に行うことが可能。 カラー液晶と十字キーを装備し 照射時間を正確にコントロールします。 【特長】 ■フォトリソグラフィ工程における簡易露光焼付装置 ■卓上型・一体型のため省スペース ■マイコン搭載により、照射時間を正確に制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：壺坂電機株式会社
- 価格：応相談
