ホットプレートユニット
精密温調、クリーンルーム製造。次世代半導体を支えるヒーター。
マイカヒーターをアルミプレートで挟み込んだ構造のヒーターです。 クラス10、000のクリーンルーム内で製造されており、均一な温度分布を実現しています。 主に半導体製造装置内でのウエハレジスト塗布・乾燥工程に使用されています。 【材質規格】 ■材質:AL ■材質:SUS ■材質:SIC ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社サカエ 鬼石工場
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年08月20日~2025年09月16日
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精密温調、クリーンルーム製造。次世代半導体を支えるヒーター。
マイカヒーターをアルミプレートで挟み込んだ構造のヒーターです。 クラス10、000のクリーンルーム内で製造されており、均一な温度分布を実現しています。 主に半導体製造装置内でのウエハレジスト塗布・乾燥工程に使用されています。 【材質規格】 ■材質:AL ■材質:SUS ■材質:SIC ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マイカヒーターの採用でレンジ0.2℃以内の温度均一性を実現!
洗浄装置、塗布・現像装置、熱処理装置、その他半導体製造前工程の 補助的・特殊処理装置を取り扱う半導体製造装置メーカー様の ホットプレートユニットに「マイカヒーター」を導入した事例を ご紹介いたします。 同社ではホットプレート上のウエハにおける温度差を極限まで抑える ことを求められていました。従来の加熱方式では、微小な温度ムラが 製品の歩留まり低下の原因となることがあり、さらなる均熱性の向上が 課題でした。 導入後は150℃の動作環境において、ウエハ上の温度分布はレンジ0.2℃以下 を達成。これは業界でも極めて高いレベルの均熱性であり、製作工程における 安定性と再現性を大きく向上させる結果につながりました。 【事例概要】 ■背景:温度ムラ解消のために、均熱性に優れた加熱ソリューションが 求められていた ■解決方法:均熱性と耐熱性に優れたマイカヒーターを採用し、 パターン設計から最適化を図った ■効果:温度分布レンジ0.2℃以下を達成し、プロセスの安全性と 装置全体の信頼性が向上 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
生化学分析装置における構造最適化と性能向上!ヒーターからの熱伝達が改善
分析装置を手掛ける医療機器の企業様の試薬加温ユニット部品に 重力鋳造でアルミ鋳物に金属配管を鋳込み、一体化の提案を行った 事例をご紹介いたします。 同社ではアルミ加工品内部に配管を低融点合金で埋設する製品があり、 外部から加熱するヒーターを組み付けています。過熱時に低融点合金が 溶融していしまい、破損するリスクがありました。 低融点合金からアルミ鋳物に変更したことにより、過熱時に溶融する ことはなく、製品が保護されました。 【事例概要】 ■背景:熱暴走時に製品破損のリスクがある ■解決方法:アルミ加工+金属配管+低融点合金を鋳込み工法で一体化 ■効果:一体化により、破損リスク解消、温度性能UP ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
電気自動車/EVの寒冷地における充電容量の低下を抑制。車室暖房への熱供給、曇り・凍結対策用パーツの開発にも対応
電気自動車(EV)はエンジンの廃熱が利用できず、 寒冷地における駆動用バッテリーの容量低下・消費量増加が課題になっております。 弊社は電熱ヒーターの開発・製造を行ってきたノウハウを活かし、 高効率の『クーラントヒーター』を提供することで、 航続距離の延長と乗員の快適性に貢献します。 【特長】 ■バッテリーの加温による熱制御の最適化で、 航続距離の延長を実現や快適性アップに貢献 ■寒冷地における充電容量の低下を抑制 ■車室暖房への熱供給 ■曇り・凍結対策用パーツの開発にも対応 ※PDFダウンロードより、用途例を紹介した資料をご覧いただけます。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
EVの寒冷地でのパフォーマンスを向上。航続距離の延長や充電容量の維持に貢献【人とくるまのテクノロジー展2025出展】
電気自動車(EV)はエンジンの廃熱が利用できず、 寒冷地における駆動用バッテリーの容量低下・消費量増加が課題になっております。 弊社は電熱ヒーターの開発・製造を行ってきたノウハウを活かし、 高効率の『クーラントヒーター』を提供することで、 航続距離の延長と乗員の快適性に貢献します。 また、トポロジー最適化シミュレーションを用いた圧力損失最小化設計により、 圧力損失30%軽減を達成しております。 【特長】 ■バッテリーの加温による熱制御の最適化で、 航続距離の延長を実現や快適性アップに貢献 ■寒冷地における充電容量の低下を抑制 ■曇り・凍結対策用パーツの開発にも対応 ※PDFダウンロードより、用途例を紹介した資料をご覧いただけます。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
テクヒーターの自己出力による発熱で、タンクや配管の凍結、内容物の凝固を防止します。
『テクヒーター』は、PTCセラミックスを発熱体とした自己出力制御・並列回路型ヒーターです。 融雪や凍結防止、温度管理等の用途で使用されています。 【特徴】 1.省電力 PTCセラミックスの働きにより、環境温度変化に応じて出力を自己制御しますので、無駄がなく省エネルギーです。 2.安全性 自己出力制御のため、オーバーヒートの心配がありません。 サーモスタットを使用しなくても異常過熱や焼き切れを起こしません。 ヒーター同士が接触しても異常過熱せず、重ね巻きも可能です。 3.高い柔軟性と長さの自在性 並列回路ヒーターのため、ヒーターは自由な長さに切って使用することができます。また、分岐や継ぎ足し延長も可能です。 非常に柔らく、段差や複雑な配管・継手への施工も容易です。 ヒーティングケーブルをパネル内に格納したパネルヒーターのラインアップもございます。 個別ニーズに応じるためのオーダーメイド開発も可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
新熱社内常設の実験室で、過熱水蒸気を使ったサンプル試験や効果確認ができます。
過熱水蒸気の効果を試すことのできる専用実験室を設けました。 過熱水蒸気発生器(アクアスチームヒーター)を搭載したテスト装置を用意しております。 お客様からのサンプル提供またはお立ち会いのもと、過熱水蒸気の効果確認テストを実施します。 テスト結果を元に最適な使用方法や処理装置のご提案を致します。 過熱水蒸気による処理効果を試したい方はお気軽にお問い合わせ下さい。