更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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環状鉄心入りソレノイドの自己インダクタンスを求め、理論値と比較しました。
電流分布(実部・虚部)及び自己インダクタンスの解析結果をご紹介します。 メッシュ規模は、要素数11,200、節点数15,088。 磁場解析モジュール「PHOTO-EDDYTMjω」を用いると空気メッシュが不要で、 導体のみのメッシュで解析可能です。 【事例概要】 ■使用ソフトウェア：PHOTO-EDDYTMjω ■解析条件 ・電流値：1[A] ・周波数：1000[Hz] ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヒステリシスループを表現する方法として、(1)メジャーループ利用(2)双曲線関数近似があります。本解析では双曲線関数近似を採用。
ヒステリシス解析機能を使用し、高い保磁力を有する磁石の着磁解析を 行いました。 円柱状の磁石をコイルで着磁。電流は0[A]から増加させ、最大値に到達したら、 0[A]に戻します。その時の空間の磁場を解析しました。 ヒステリシス解析機能はヒステリシスループを表現する方法として、 当事例では「双曲線関数近似」を使用。 双曲線関数近似は、保磁力、残留磁化及び飽和磁化が入力値となり、これらの 数値と双曲線関数でヒステリシスループを決定します。 【事例概要】 ■使用ソフトウェア：PHOTO-MAG ■解析タイプ：3次元非線形磁界解析（形状の対称性より1／4モデル） ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
鉄コアと1次・2次巻線で構成される変圧器を解析。自己インダクタンス、相互インダクタンスを求め理論値と比較。
1次巻線、2次巻線と磁気回路(鉄コア)で構成される変圧器を励磁したときの 磁束密度分布および自己インダクタンス、相互インダクタンスを周波数応答 解析した事例をご紹介します。 ソフトウェア「PHOTO-EDDYTMjω」を使用。1次・2次巻線に1A、周波数1000Hzの 電流を流します。 また節点数は18,118、要素数は13,648で、形状は3次元のフルモデルとしました。 【事例概要】 ■使用ソフトウェア：PHOTO-EDDYTMjω ■解析条件 ・鉄コアと1次・2次巻線のモデルを使用 ・1次巻線、2次巻線に1A、1000Hzの節点電流を与えた ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
誘導電動機の解析。回転するロータとステータの間はスライドインタフェースを利用。磁束密度、渦電流の刻々と変化する様子がわかります。
電磁誘導を利用した誘導機は家電・エスカレータ・電車などで利用されており、 誘導機では渦電流が流れますので、動磁場解析が必要です。 対象はかご形三相誘導電動機とし、ロータの回転を考慮し、定常運転時の トルク波形を解析。 解析モデルは電気学会調査専門員会の誘導電動機のベンチマークモデル(Kモデル) を参考に致しました。 【事例概要】 ■解析タイプ：2次元非線形過渡磁界解析 ■解析モジュール：PHOTO-EDDY ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高い精度で製品の挙動を予測する強連成マルチフィジックス解析ソフトウェア
『OOFELIE』は、FEM/BEMモデルにて、熱・構造・音響・電場・磁場・流体などの 物理現象を解析するOpen Engineering社製の強連成マルチフィジックス解析ソフトウェアです。 外部デバイスとの相互作用も考慮した上で、高い精度で製品の挙動を予測します。 また、光学設計ソフトZemaxと自動的にデータ交換を行い、ヒューマンエラーや データの取り間違えのリスクを減らし設計効率を向上させます。 【特長】 ■単一ソルバの強連成解析で高速・高精度 ■FEM／BEM のカップリングに対応 ■EDAと連携、モデル縮約機能を搭載 ■パラメトリックモデリングによる設計 ■設計プロセスのカスタマイズに対応 ■流体は内部 FEM ソルバ又は外部ソルバで対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コイルの下に金属板を配置し、コイルに電流を流すと磁場が発生し、金属板に渦電流が流れる。渦電流に働くローレンツ力をプロット
渦電流に働く電磁力(ローレンツ力)の解析事例をご紹介いたします。 ソフトウェア「PHOTO-EDDY」を使用。形状の対称性から、1/4モデル としました。 結果、1.5[μsec]で入力電流は0となりますが、ローレンツ力が1.5[μsec] 以降にも生じていることが確認できました。 【事例概要】 ■使用ソフトウェア：PHOTO-EDDY ■解析結果 ・表皮効果により、表面に磁束密度が集中していることが確認できた ・1.5[μsec]で入力電流は0となるが、ローレンツ力が1.5[μsec]以降にも 生じていることが確認できた ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電磁気現象、Maxwell方程式、有限要素法から解析例まで！イラストや図を用いて解説
当資料では、電磁気現象、Maxwell方程式、有限要素法から解析例まで、 電磁気シミュレーションの世界をご紹介しています。 μ-EXCELの解析ノウハウ動画サイトである「解析ノウハウ.com」から抜粋。 イラストやグラフを用いてわかりやすく解説しています。 ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■電磁場の現象 ■Maxwell方程式 ■ベクトル演算 ■数値計算 ■有限要素法 ■モータ解析 ■その他の解析 【解析ノウハウ.com (https://mu-excel.com)を開設しました！】 ・「ホーム」メニューで、ノウハウ集の一覧を ・「詳細を見る」ボタンで、ノウハウポイントと動画を ・「カテゴリー」メニューで、ジャンルとシリーズから絞込み ・「キーワードで検索」で関連動画をさらに絞込み ・「ブログ」で、更新動画を都度ご紹介します ★下記よりサンプルソフトをダウンロード頂けます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
誘導加熱の連成解析を行いました。
誘導加熱の解析は、切り欠きを有する金属管の周りに、電力値が500kWの周波数800kHzの交流電流が通電されたコイルがあるときの金属管の渦電流及び温度場解析（誘導加熱解析）の例を示します。解析モデルは、解析対象と、その周りの空気部分を含むよう作成されています。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
200種類を超える豊富な材料物性モデルを保有！さまざまな材料を設定することが可能
『Ansys LS-DYNA』は衝突・落下問題、塑性加工問題、熱および流体との連成問題 などの非線形現象を精度よく解析する汎用構造解析ソフトウェアです。 製品設計や強度評価のための実用的な機能を数多く装備。幅広い産業分野、 目的に応じた汎用性を有しています。 開発・設計・試作・製造など生産現場のさまざまなフェーズで期間短縮、 コスト削減、品質保証に役立てられています。 【特長】 ■世界中の多くの企業や研究機関において導入・使用実績がある ■構造解析から熱・流体との連成解析までをひとつのソフトウェアでカバー ■スケーラブルな領域分割型並列計算機能（SMP/MPP）を搭載 ■専用のプリポストプロセッサ（LS-PREPOST）が標準でバンドルされている ■主要なプリボストプロセッサがLS-DYNAの入出力データをサポート ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヘルムホルツコイルやコイルと磁性体、渦電流の絶縁と導通など、図を用いて操作を説明！
当資料は、積分要素法に基づいた磁場解析（磁界解析）ソフトウェア 『ELF/MAGIC』の操作ガイドです。 ヘルムホルツコイルをはじめ、コイルと磁性体、渦電流の絶縁と導通、 コイルの鎖交磁束などを掲載。 取り上げる例題は操作説明のため、要素数は50個以下です。 要素数が少ないので精度は低いですが、定性的な理解に活用してください。 【掲載内容（抜粋）】 ■ヘルムホルツコイル ■U字型磁石 ■ハルバッハ磁石 ■磁石に作用する力 ■コイルと磁性体 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヒステリシスモデルの実現方法について。メジャーループの点列からマイナーループを表現でき、異方性も考慮可能。
当社が開発した「自由エネルギーを用いたヒステリシスモデル」は熱力学的 考察によって得られた磁性体の自由エネルギーと磁壁の移動を摩擦モデルとして、 取り込んだ手法で、数学的モデルではなく、物理学に即したものです。 ICCG法やニュートランラフソン法がそのまま利用でき、マイナーループを 含めたヒステリシス曲線の表現力向上、ベクトル化(磁気異方性)に対応可能。 本手法を利用した計算例では、数式で表現できるヒステリシス曲線を シミュレーションで再現できるかどうか確認します。一成分に着目して 解析を行いました。 ヒステリシスを考慮した磁場解析にご興味ある方、是非お問い合わせください。 【事例概要】 ■使用ソフトウェア：PHOTO-MAG ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
面倒な巻線の設定が不要！計算には有限要素法を使用しているため高精度な解析が可能！
『Simcenter MotorSolve』は、MAGNETの開発元Siemens社で開発された 各種モータ専用の解析ソフトです。 モータ形状をテンプレート及びDXFデータのインポートによって作成。 熱解析オプション（3次元）ではハウジング形状までも含めた高度な 熱解析が簡単に実施できます。 各種発熱熱や表面力密度の結果（3次元）を.UNV形式で出力可能なため、 振動解析や熱流体解析との連携が容易です。 【特長】 ■解析未経験者でも安心の自動メッシュ作成 ■自動巻線レイアウト機能により、面倒な巻線の設定が不要 ■計算には有限要素法を使用しているため高精度な解析が可能 ■モータ形状をテンプレート及びDXFデータのインポートによって作成 ■サイジング機能により、要求仕様に対する適正な形状の提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
陰解法と陽解法を統合。熱、電気、磁場、流体など多岐に渡る現象解明に。
非線形構造解析では、材料・幾何学・境界条件の三つの非線形性がキーとなります。近年の設計現場では、複雑な材料モデルを使用したアセンブリ部品での接触を考慮した製品設計を余儀なくされています。Abaqusは、古典的な金属材料の構成則はもちろんのこと、速度依存による破壊モデルやゴム・樹脂などの高分子材料のモデル化を的確に行えます。また、革新的なサーフェス/サーフェスの接触の定式化は、他の構造解析ツールに比べて、よりロバストな収束性と高い解析精度を実現します。一般接触機能では、ユーザーによる設定がほとんど必要ないため、自動車、航空機、家電製品、携帯電子機器などで見られる複雑なアセンブリで接触を定義する時間を大幅に短縮します。
電子部品向け寄生パラメータ抽出ソフトウェアです。
Ansys Q3D Extractorは、電子部品の形状から寄生パラメータ（RLCG）を抽出し、SPICE/IBISモデルを生成するソフトウェアです。 バスバー、パワーモジュール、半導体パッケージ、コネクタなどの3 次元形状、基板の配線パターンやケーブルなどの断面形状、それぞれに最適化された2D/3D 解析エンジンにより、表皮効果、損失、表面粗さなどを考慮した高精度な電磁界解析を行います。 【特徴】 ○準静電磁界解析により効率良く抽出可能 ○最適化された解析技術（3D） ○2Dシートを薄い導体に設定可能（Thin Conductor Boundary） ＜Ansysの個人情報の取り扱いについて＞ 登録することにより、この プライバシー通知 (https://www.ansys.com/ja-jp/legal/terms-and-conditions) に準拠して、この事象/資産および関連するコミュニケーションを提供する目的で、これらの 条件 (https://www.ansys.com/ja-jp/legal/privacy-notice)および個人データの処理に同意したことになります。
本格的な電磁場解析も安価に実現！電磁波、モータ、コイル、磁石の解析に対応しています。
PHOTO-Seriesは、電磁場解析・電磁界解析・電磁波解析のためのCAEソフトウェアです。モータ、トランス、コイル、磁石、RFID、アンテナなどの設計開発に対応し、熱解析や応力解析との連成解析も可能です。 対象分野毎に、解析テーマに応じて最も適したシミュレーション手法を用いた解析ソルバーをご用意しています。一つの解析ソルバーで全ての現象を取り扱う他社製パッケージソフトとは異なり、目的に最適な解析ソルバーを用いますから、解析精度が高く、ニーズにもきめ細かく対応できます。 また問題に適した必要なモジュールだけを選択できるため、導入コストも経済的に抑えることができます。 モジュールの追加による機能拡張も簡単に行なうことができますし、組み合わせることによって、渦電流による発熱、電磁力による応力や変形等の連成解析を扱うことが可能です。 弊社の電磁場/電磁界解析ソフトウェア PHOTO-Seriesを用いての解析事例は、お客様(大手メーカー、研究機関、大学)からの依頼による受託解析も含めると多数に上ります。弊社のほうで実施した解析事例はイプロスのホームページに多数上げておりますのでごらんください。
2次元/3次元電磁界解析ソフトウェア
Ansys Maxwellはモータやアクチュエータ、インダクタ、トランス、磁気センサをはじめとする各種エレクトロメカニカル製品開発のための電磁界解析ツールです。解析対象の電磁場の振る舞い視覚的に判断でき、発生する電磁力、トルクやインダクタ、キャパシタンスといった設計パラメータの自動計算機能を有しており、実験結果との数値評価も簡単な操作で可能です。 洗練された使いやすいGUI、高精度な解析を行う高性能なAdaptive Auto MeshとSolverが実装されており、初心者の方でも有限要素解析のエキスパートの方と同じように高精度な解析結果を簡単な操作で得られます。 ＜Ansysの個人情報の取り扱いについて＞ 登録することにより、この プライバシー通知 (https://www.ansys.com/ja-jp/legal/terms-and-conditions) に準拠して、この事象/資産および関連するコミュニケーションを提供する目的で、これらの 条件 (https://www.ansys.com/ja-jp/legal/privacy-notice)および個人データの処理に同意したことになります。
アンテナ、導波管設計、EMI対策向け3次元電磁波解析ソフトWAVEjω
PHOTO-WAVEjωは有限要素法(FEM)による3次元高周波電磁界解析ソフトです。 アンテナ、導波管、共振器、RFIDの電磁波シミュレーションに対応し、Sパラメータやインピーダンス解析を効率よく実施できます。 【特徴】 ・PHOTOシリーズ専用プリ・ポストと一体型となっているため、データ作成から解析、そして結果処理が一連の操作として行える ・他のPHOTOシリーズモジュールと一体化しているので、たとえば、電磁場解析（電磁界解析）によって求まった発熱から、温度分布を求めるような連成解析が簡単にできる ・エッジエレメント法及び ICCG 法の併用により画期的な高速化が達成されています。従って、3次元電磁波解析（高周波解析）がパソコンで可能となる ・有限要素法を使っているので、閉領域とくに多媒質を扱う解析に適している ・熱伝導解析ソフト PHOTO-THERMO と連成すれば、誘電体内の発熱から温度分布の計算をすることが可能
物質中の電子、光子、陽電子の粒子輸送の2次元および3次元モンテカルロシミュレーション
『GamBet』は、物質中の粒子輸送の2次元及び3次元モンテカルロシミュレーションの 革新的なソフトウェアです。 当製品は単独で使用することもでき、また荷電粒子解析コードTrakおよびOmniTrakの 拡張として使用することもできます。 X線発生用ターゲット、電子ビームによる加熱、X線イメージング、陽電子物理、 放射線治療の研究、放射線防護などの計算に応用できます。 【特長】 ■傾斜部や曲線部を持つ構造も共形メッシュによって高精度に定義できる ■新しいPenelopeパッケージによって材質の相互作用を計算 ■すぐに実行可能な例題と詳しい取り扱い説明書 ■短時間での計算を可能にする最適化されたサーチルーチン ■粒子の分割/減少および相互作用促進機能を含む、先進の変動低減機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シミュレーション事例
CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解析」3Dシミュレーション事例
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)などのシミュレーションに適したプラズマ解析ソフトウエアです。
Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算はもちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。
『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 information@wavefront.co.jp
『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 information@wavefront.co.jp
『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 sales@wavefront.co.jp
粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、マグネトロンスパッタ装置内の原子の挙動をシミュレーション
Particle-PLUS は希薄気体中に発生する非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。 マグネトロンスパッタ、PVD、プラズマCVD、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。 各種モジュール（下段の製品説明参照）のうち、スパッタ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を求めることができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価可能です。解析手順としては、プラズマモジュールで求まったプラズマの粒子、エネルギー束を用いてスパッタ粒子の発生分布、発生量を求め、テスト粒子法と呼ばれる粒子法で運動を追跡します。
Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」シミュレーション事例
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンスパッタリング解析」シミュレーション事例
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CCP）の３次元解析 "シミュレーション事例
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動 など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」シミュレーション事例
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解析)」シミュレーション事例
基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
