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「高気密・高耐久」高純度流体への使用に最適なバルブです。
外部シールに金属製ダイヤフラムを使用した、いわゆるパックレス形 (グランドパッキンの代わりにベローズ若しくはダイヤフラム又は その他の方法を用いて流体の漏れを完全に阻止する グランド部のシール形式。)バルブで、従来のパックレス形バルブの 特長である高気密性に加え、 高耐久性とデッドスペースフリーを付加しており 高純度流体への使用に最適なバルブです。
「気密性」「メンテナンス性」に優れたバルブです。
ダイヤフラムを駆動部で引き上げ、もしくは弁座に押し付けることにより 流体を制御するバルブで、ダイヤフラムが弾性体のためシール性に優れ、 また、流体通路部にポケット部が無く、流線形であるため 本体と駆動部を締結しているボルト・ナット取り外すだけで ダイヤフラムが交換できるメンテナス性に優れたダイヤフラムバルブは、 医薬・食品・化学等のサニタリー性が求められる幅広い分野で、 ご使用されています。
独自のアクチュエータ構造を採用することにより、1台で4方向のまでの制御が可能なダイヤフラムバルブです。ステンレス製ボディ採用
Type2036 ロボラックスは、多方向ダイヤフラム弁です。１台のバルブで、最大4方向までの制御が可能です。複数台のバルブを１台に集約することにより、バルブ間のコンタミの減少による、プロセス液のロスを最小限にすることが可能です。また、省スペース化も同時に実現できます。 ステンレス製ボディを採用しているため、焼き付け塗装の様な経年劣化による錆の心配はありません。
ステンレスアクチュエータ仕様のダイヤフラムバルブです。
ご好評いただいておりますステンレス製アングルシートバルブ”Type 2000 INOX”のダイヤフラムバルブ機種”Type 2031 INOX”をライナップいたしました。 従来のビュルケルト株式会社ダイヤフラム製品で培ってきました優れた流量特性とゼロデットボリュームをそのままに、コンパクトなフルステンレス製品を実現しました。 本製品は、単作動（スプリングリターン）専用の型式となっております。 【特徴】 ○コンパクトなデザイン ○オールステンレス製（アクチュエータ，バルブ本体） ○ゼロデットボリューム ○FDA/USP品質認証 (Quality certifications) 取得 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ 弊社日本語版データシートは、弊社最新のデータシート（英語版）と、 完全に対応していないこともございます。詳細な仕様確認やご選定の際には、 以下のフォームより弊社にお問い合わせ頂ければ幸甚です。 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－
ダイヤフラムバルブ
■材質 接液部がSUS316L、PTFEですので、溶出や腐食の心配がありません。さらに、アクチュエータにもステンレス材を採用していますので、外部の悪雰囲気や結露による腐食の心配はありません。 ■シール 流路のシールは、ステムに取り付けられたPTFE製シーリングをSUSボディー側弁座に押し付けることにより、確実に行われます。 ステム側とアクチュエーターはダイヤフラムにて遮断されているので、摺動部の接液が原因のコンタミネーションや外部雰囲気の混入による汚染の心配がありません。 ■無滞留 液溜りがほとんどありません。特にボールバルブ等に比べて、タンクの製品を効率良く取り出すことができます。 ■洗浄 残留物が少なく、摺動部が接液していないので、洗浄時間が短縮でき、洗浄水を節約できます。定置洗浄（CIP）対応です。 ■滅菌 高温対応の材質を使用しておりますので、定置滅菌（SIP）に対応しています。 ■メンテナンス ステムがアクチュエーター側に抜ける構造になっていますので、ボディーを配管ラインからはずすことなく、メンテナンスが簡単に行えます。
ダイヤフラムバルブ
■材質 接液部がSUS316L、PTFEですので、溶出や腐食の心配がありません。さらに、アクチュエータにもステンレス材を採用していますので、外部の悪雰囲気や結露による腐食の心配はありません。 ■シール 流路のシールは、ステムに取り付けられたPTFE製シーリングをSUSボディー側弁座に押し付けることにより、確実に行われます。 ステム側とアクチュエーターはダイヤフラムにて遮断されているので、摺動部の接液が原因のコンタミネーションや外部雰囲気の混入による汚染の心配がありません。 ■無滞留 液溜りがほとんどありません。特にボールバルブ等に比べて、タンクの製品を効率良く取り出すことができます。 ■洗浄 残留物が少なく、摺動部が接液していないので、洗浄時間が短縮でき、洗浄水を節約できます。定置洗浄（CIP）対応です。 ■滅菌 高温対応の材質を使用しておりますので、定置滅菌（SIP）に対応しています。 ■メンテナンス ステムがアクチュエーター側に抜ける構造になっていますので、ボディーを配管ラインからはずすことなく、メンテナンスが簡単に行えます。
スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブ
DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の 溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用する CMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に 抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの 完全性、長いサイクル・ライフを促進します。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸が透過する可能性を最小に低減しています。同製品は、高い耐化学薬品性と純度を実現するために、接液・接ガス部に、次世代フッ素樹脂、デュポン(R)テフロン(R)を採用しております。さらに、「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合しています。
ラジアル・ダイヤフラム・バルブ DR シリーズを使用すると、滅菌フローの管理を清浄かつコンパクトに行うことができます。
接液・接ガス部の材質：316L ステンレス鋼および次世代PTFE／コンパクトで、さまざまなタイプのマルチバルブ／マルチポート・ボディ／エンド・コネクション：サニタリー・クランプ継手、突き合わせ溶接など／アクチュエーター（空気式、手動式）の材質：プラスチック、アルミニウム／サイズ：1/2 インチ、3/4 インチ、1 インチ、1 1/2 インチ、2 インチ
高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に対応
スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、 半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。 【特長】 ○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン ○高速の開閉機能 ○高温下でも安定した流量を実現 ○シール性能に優れ、膨潤やコンタミネーションへの耐性にも優れたシート 常識を覆すパフォーマンス「ALD 7 」 半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上に欠かせない一貫性と耐久性のニーズに対応すべく、超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD 7」 を製品ラインアップに追加しました。
耐圧部材はすべて金属
DL シリーズ/ DS シリーズ ◆特徴 ■パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属 ■使用圧力範囲:真空から 24.1 MPa まで ■使用温度範囲:273°C から 121°C まで
超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ
ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を 最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、 原子層蒸着（ALD）用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。
半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルトラクリーンダイヤフラムバルブ『UCVシリーズ』。
本カタログには下記アイテムが記載されております。 ・3Lシリーズ（オールメタルシール） ・2Lシリーズ（ソフトシール） ・EVZSシリーズ（かしめシート） ・2LEシリーズ（コンパクト型） 用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。 耐圧：1Mpa、16MPa、21MPa 温度：250℃（オールメタルシール3LT） 2L、3Lシリーズではダブルメルト材ボディを使用しバルブからのパーティクル発生を極力抑えます。 半導体装置に要求されるクリーン度を高いレベルで実現し、製造ラインでの歩留まりを改善します。 また、高純度ラインで使用可能は流量調整弁2LMシリーズもご用意しております。 海外仕様のダイヤフラムバルブ、モノブロックバルブ、面実装対応のバルブをお探しの方はお問い合わせフォームよりリクエスト下さい。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現！基本性能は「KDシリーズ」を全て受け継いだハイスペックバルブ
『KCDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして更なるコンパクト化を 図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。 耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■KDシリーズの内容積1.2cm3に対し、0.97cm3まで小さくする事に成功 ■品種を1/4" サイズに限定しKDシリーズと同じデザインを持ちながら 外観サイズを約20%縮小、重量も軽量化 ■耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現 ■多くの半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 ＃空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造プロセス用高純度ガスに対応！高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求
『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる 品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により 優れたガス置換特性を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■内容積を1.36cm3まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現 ■高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求 ■厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による 加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現 ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 ＃空圧 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
