パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93
特殊ガス供給システムのクリーンコントロールに威力を発揮 0.1μmから測定
半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能 国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン計測器
- 企業:リオン株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年04月08日~2026年05月05日
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特殊ガス供給システムのクリーンコントロールに威力を発揮 0.1μmから測定
半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能 国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン計測器
気中パーティクルカウンター センサ多点モニタリングシステムの構築に最適
小型 0.3ミクロン対応 装置にマジックテープで設置可能 国産 リオン製
0.05 μm、超純水の粒子汚染を監視 純水供給ライン直結 インライン型
半導体製造工場 純水プラント送りで粒子数モニタリング プロセスラインの純水を常にクリーンな状態に
薬液中の0.03μm粒子を測定 フッ化水素酸対応 インライン・バッチ対応
●最小可測粒径 0.03 μm 薬液対応の液中パーティクルセンサにおいて世界最小粒径(2014 年2 月当社調べ) ●任意に粒径区分を設定可能 ●0.03 ~ 0.13 μm の範囲で10 段階 ●サファイアセル使用
薬液中の0.02μm粒子を測定 フッ化水素酸対応 インライン・バッチ対応
●最小可測粒径 0.03 μm ●任意に粒径区分を設定可能 ●0.02 ~ 0.08 μm の範囲で2から7段階 (出荷時:0.02 μm以上、0.03 μm以上、0.04 μm以上、0.06 μm以上の4段階) ●サファイアセル使用
光散乱方式
光源 半導体レーザ(波長780nm、定格出力35mW) 定格流量 2.83 L/min
ワイヤレス通信で記録もできる多機能のハンディ型パーティクルカウンターです。
大画面のタッチパネルを採用することにより操作性を向上。 任意の6粒径(MC41HPC-33Mは3粒径)の測定データを表示、記録、ダウンロードが可能です。
0.3 – 25 μm @ 0.1 CFM、長寿命の内部ポンプとバッテリー
Particles Plus 7301リモート粒子カウンターは、0.3~25.0μmまでの粒子を0.1 CFM(2.83 LPM)の流量で測定します。 これらの使いやすい機器は最大6つの選択可能な粒子サイズチャネルと温度および相対湿度の測定を表示します。
高濃度・超高濃度対応のハンドヘルド型光散乱方式微粒子計
●クリーンルームも、大気環境も、モバイル測定も、定点監視も、フィールドワークにも最適のパーティクルカウンタです。 ●最小可測粒径0.3um(0.5um)~最大可測粒径10.0um、粒径区分数3粒径タイプと6粒径タイプがあります。 ●対応最大可測濃度は高濃度タイプ 1,060 個 /CC と、超高度タイプ 2,500個/CCがあり、使用環境·目的に応じてお選びいただけます
見やすい大画面と使いやすさで清浄度管理をもっと便利に。品質と機能を兼ね備えたリーズナブルな新モデルが登場。
<主な機能> ・大きくて使いやすいタッチパネル式4.3インチカラーディスプレイ。 ・付属ソフトウェアでPCからリモート操作、経時変化を簡単にモニタリング。 ・粒径区分の異なる2つのモデルをご用意(3粒径・6粒径)。 ・日本語、英語、中国語、スペイン語の4言語に対応。 ・別売の温湿度プローブを接続可能(3889のみ)。 ・USB(メモリ/ケーブル) で簡単にデータ取り出しが可能。 ・ISO21501-4およびJIS B9921に準拠。
21 CFR Part11及びALCOAガイドライン対応パーティクルカウンター
Beckman Coulter社製 ポータブル型パーティクルカウンター「MET ONE 3400+」は従来のポータブル式に比べ、より高いユーザビリティ、データの堅牢性を有した医薬品製造工程での微粒子測定に最適なモデルです。 豊富なモデル数により測定粒径や流量を選ぶことができ、1㎥を最低10分で測定する事も可能。 以前のモデルより、より軽く・より操作しやすく・より静かになっています。 カスタム可能なSOPマップにより、サンプリングエラーを削減。監査証跡・PDFデータ出力・Microsoft Active Directoryを利用したユーザ管理機能・電子署名により、ALCOAガイドラインに対応。 GMP準拠のクリーンルーム用気中パーティクルカウンターの決定版です。
0.3μm感度、1.0CFM(28.3LPM)サンプル量の25.0μmまでのワイドレンジのパーティクルカウンター
0.3〜25.0μmのワイドダイナミックレンジで6粒径同時計測が可能です。取り外し可能なバッテリー内蔵のため電源がないところでも使用できます。14.47cmカラータッチスクリーンインターフェースを搭載しており、簡単操作でご使用できます。測定データは、データトランスファー・ソフトウエアにより簡単にパソコンへ転送したり、内蔵プリンターへ印刷できます。
0.3μm感度、0.1CFM(2.83LPM)サンプル量の10.0μmまでのワイドレンジのパーティクルカウンター
0.3〜10.0μmのワイドダイナミックレンジで6粒径同時計測が可能です。取り外し可能なバッテリーを内蔵のため電源がないところでも使用できます。14.47cmカラータッチパネルスクリーンインターフェースを搭載しており、簡単操作でご使用できます。測定データは、データトランスファー・ソフトウエアにより簡単にパソコンへ転送したり、内蔵プリンターへ印刷できます。
空気中パーティクルカウンター(粗粒子カウンター)
粗粒子カウンターは、最新技術を駆使して信頼性の高いレーザーパーティクルカウンターです。粗粒子カウンターは5.0μm感度、1.0CFM(28.3LPM)サンプル流量の100.0μmまでのワイドダイナミックレンジのパーティクルカウンターです。使い易い14.47cmカラータッチスクリーンインターフェースを搭載しており、簡単操作でご使用頂けます。粗粒子カウンターは6粒径の測定データと4種類の環境データは即時にパソコンへ転送、内蔵の感熱プリンターへ印刷できます。粗粒子カウンターは、多用途なポータブル・パーティクルカウンターで、清浄度のモニタリングや清浄度管理に最適です。
適した気流速度での衝突サンプリングが可能。付属のソフトでPCへ転送もできます
近藤工業株式会社では『パーティクルカウンター』を取り扱っております。 7インチカラータッチスクリーンを搭載した「Apex Z シリーズ」をはじめ、 ISO14698-1準拠の新モデル「Active Count」や、操作性に優れた ロングセラーモデル「HANDHELD」などを各種ご用意。 ご要望に合わせてお選びいただけます。 【ラインアップ】 ■Apex Z Series ■Active Count ■HANDHELD ■SOLAIR Series ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一台にパーティクルセンサ、温湿度計、CO2センサ、TVOCセンサを内蔵したエアクオリティモニター
■パーティクルカウンター、温湿度計、CO2センサ、TVOCセンサを一体化 ■CEとRoHSに対応 ■6チャンネル粒径可変設定 ■最大定格流量 2.83 LPM ■USBまたはイーサネット出力 ■専用ソフトでデータ収集、リモート操作が容易 ■バッテリータイプ ■ポンプ内蔵 ■長寿命の半導体レーザー
クリーンルームにおける環境モニタリングの自動化を簡単に実現!必要な機能をすべて搭載
『MET ONE 3400+シリーズ』は、自動化されたSOPとサンプリングマップを 統合できるポータブル型気中パーティクルカウンターです。 多くのトレーニングの必要なく、サンプリングエラーを削減します。 シンプルで安全なデータ管理により監査を簡単に。 クリーンルームのモニタリングデータを正確に管理することができます。 【特長】 ■カスタム可能な電子SOPマップ ■対話的なトラッキング ■SOPのバージョン管理を自動化 ■Webブラウザを介してレビューと承認 ■安全な電子記録 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
個数濃度とPM濃度表示!広い粒径範囲で高濃度対応の光散乱方式微粒子計
『8000シリーズ』は、0.3μm以上(8506、8506Proは0.5μm以上)の粒子径と個数を測定し、 設定された6粒径(8303は3粒径)以上の微粒子個数データおよび、設定粒径以下の換算質量データ、 温湿度データ(オプション)を表示する光散乱方式微粒子計です。 リアルタイムメータモードは、1秒ごとの微粒子検出数をパーティクルカウンタの画面に 直接グラフ表示します。一過性・突発性の発塵、擾乱を見逃しません。 【特長】 ■リアルタイムメータで1秒毎の粒子カウントをグラフ表示 ■広い粒径範囲で高濃度対応 ■ユーザーによる粒径可変設定 ■使いやすい大きなタッチパネルとアイコン ■IMSにより遠隔コントロール・グラフ描写 ■質量濃度換算 ■ロングライフフレーザー長寿命光学系 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
作業環境、現場での大粒子パーティクルの管理システム構築のための技術資料です
『パーティクルカウンター』は、コンタミネーションコントロール 分野の製品を取扱っている、株式会社エアリーテクノロジーの 光散乱方式微粒子計です。 運用モデルでは、OPC単独での作業の局所・動的管理や、 蒸着機などのシステムと連動運用で、チャンバーオープンから 次ロットの基板投入までの工程管理を行っています。 当資料では、これらパーティクルカウンターの概念や改善ポイント、 近年光学膜に要求される欠陥サイズの大きさなど、大粒子パーティクルの 管理システム構築に関する様々な内容を、図表を用いてご紹介しています。 【掲載内容】 ■蒸着業界での現在までのパーティクルカウンター(OPC)の概念 ■近年光学膜に要求される欠陥サイズの大きさ ■薄膜膜中のコンタミサイズの表面への影響 ■要求レベルから算出した基板上のコンタミサイズ ■薄膜コーティングにおいて管理すべきコンタミのサイズ など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大粒子の測定!パーティクルカウンタを生産現場でより有効に活用するための技術資料です
「生産現場におけるパーティクルカウンタの用途について」は、 ”パーティクルカウンタとは何?””どんな市場で使われているの?”という 入門編から、大粒子測定に関する結論などを解説した技術資料です。 そのほか、大粒子測定に関する結論について、何故そうなるのかという ことを、疑問の提起と説明と言う形で述べています。 【掲載内容】 ■パーティクルカウンタの種類 ■気中パーティクルカウンタ(OPC) ■OPCの構造と光学系 ■OPC検出粒径、流量、タイプと粒径による粒子の振る舞い ■空気清浄度クラスによる測定粒径と上限濃度 ほか ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
《3粒子径の同時測定が可能》小型・静音・軽量ボディと3.5インチの液晶搭載!
エアリーテクノロジー社製ハンドヘルドパーティクルカウンタ 「P311」は、3粒子径の同時測定ができ、小さく、静音、軽量ボディと3.5インチの液晶搭載。 コストパフォーマンスを追及した、ユーザーフレンドリー性の高い、パーティクルカウンタです。 【特徴】 ○測定粒径 0.3μm から 5.0μm(設定可変) ○吸引量 2.83リットル/分 ○最軽量570gの耐衝撃プラスティックボディ ○3粒子径の同時測定 ○シンプルで扱いやすい操作性 ○ISO21501-4/JIS B 9921準拠 ○クリーンルーム外の室内環境等でも測定可能 →コインシデンスロスは、5、000、000/cfで10%以内 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
環境測定に新たなソリューションを!静かで、小さいパーティクルカウンタ
エアリーテクノロジー社製ハンドヘルドパーティクルカウンタ 「モデルP611」は、10000回の計測記録を保存する事ができ、その記録を表示画面もしくはUSBケーブルを使用してコンピューター上で確認する事ができます。 モデルP611はISO 21501-4に準拠しており、2年間の保証が付いてきます。最高の品質かつ信頼できるパフォーマンスのP611は、ISOクリーンルーム(クラス5から9)や、室内空気環境調査に最適です。 【特徴】 ○測定粒径 0.3μm から 10.0μm ○サンプル流量 2.83リットル/分 ○6粒径同時測定 ○軽量570gの耐衝撃プラスティックボディ ○ISO21501-4/JIS B 9921準拠 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ビーカー/バイアル瓶で清浄度測定を行う微粒子測定装置です!
米国スペクトレックス社で開発されたパーティクルカウンターは、サンプリングした洗浄水をビーカーに入れた状態で清浄度測定ができる微粒子測定器です。洗浄後のエレクトロニクスパーツに付着したコンタミの検証にも最適です。 1ミクロンから100ミクロンまでの粒径分布も付属のソフトウェアで簡単に測定結果を印刷することが可能です。また1回の測定時間も20秒以内と短いので、精度を上げるためのリピート測定もストレスなく実施可能です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
ISO/NAS/SAEでの測定表示。 簡単PC接続。作動油・潤滑油・タービン油の清浄度測定のお役にたてます!
「ポータブル油中パーティクルカウンター FS9V2」は、堅牢な耐衝撃・防水防塵ケース(IP66)を採用することにより、様々な現場での油のクリーン度オフライン測定を実現しました。標準付属のWindows専用ソフトウェアを使うことでCSVデータをパソコンに簡単保存。詳しくお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
AIデジタル解析で油中の気泡・水滴を自動検出!
FS9V3デジタルイメージング パーティクルカウンターは、長年のAI解析研究が粒子の幅広い波長分布計測を実現し、混入物の形状を認識して気泡や水滴を測定数値より排除する革新的な新しいコンセプトのセンサーが完成しました。 ※最上位機種のモデル:FS9V3-OLU デモ機貸し出し中
風力発電 減速機ギアボックス(ギアオイル)用 オンライン型 オイルパーティクルカウンター
リモート遠隔地の事務所から、清浄度レベルだけではなくオイル内の画像を取得し、リアルタイム常時監視できる非常に便利な最新式のオイルパーティクルカウンターが登場しました。 イーサネットを使用してModbus TCP/IPにてPLCに測定値ISOコードとコンタミ画像も取り込む事が可能で、風力発電をローカルとして、イーサネットユニットを使用することにより、最大128台(マスター+ローカル)をPLCに組み込む事ができ、マスター(事務所)にて全てのオイル清浄度管理が一括して行えることになります。 風力発電システムには、既存ネットワークが既に組まれていると思われますので、そのネットワークに接続設置し、リモートにて測定データを簡単に取得することが可能です。
クリーンルームのモニター用
風速・温度・湿度の同時計測もでき トータル管理ができる多機能型の、パーティクルカウンタ
タッチパネル式で操作性を向上させました。
クリーンルームの清浄度計測に必要な粒子計測に特化したシンプルで使いやすいモデルです。 筐体を流線型にしたことで、試料空気の流れを妨げずに確実な測定結果を得ることが可能になりました。付属のSDカードとプリンターにて、データの記録が可能です。