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真空チャンバー内の圧力を絶対圧として測定できる！
真空チャンバー内の圧力を 絶対圧として測定する事が可能な、キャパシタンス・マノメータ 【特徴】 ○真空圧を絶対圧として測定可能 ○接ガス部はインコネルで、耐腐食性に優れる ○ガス種に関係なく、トータル圧力が測定可能 ○独自のセンサー構造の採用によりゼロ安定性 信頼性、精度が著しく向上 ○優れた長期再現性 ○2年間保証 ○汎用型タイプと自己加熱型タイプをご用意 ○Device Net、RS485でのデジタル通信が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
汎用型キャパシタンスマノメータ CDLD
真空チャンバー内の圧力を 絶対圧として測定する事が可能な、汎用型キャパシタンスマノメータ 【特徴】 ○真空圧を絶対圧として測定可能 ○接ガス部はインコネルで、耐腐食性に優れる ○ガス種に関係なく、トータル圧力が測定可能 ○独自のセンサー構造の採用によりゼロ安定性 信頼性、精度が著しく向上 ○優れた長期再現性 ○2年間保証 ○Device Net、RS485でのデジタル通信が可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
アナログ出力付き
測定範囲ローレンジ0.000?1.999kPa、 ハイレンジ0.00?19.99kPaのハンディタイプの差圧計
ハンディタイプの小型のデジタルマノメーターです。
ゲージ圧計測、差圧計測に、正圧・負圧・差圧の計測に使用可能な、ハンディタイプの小型のデジタルマノメーターです。用途に合わせて4タイプご用意しています。 ※用途に合わせて下記より一種選択してください。 ・HT-1500NS:-99.9Pa〜+99.9Pa ・HT-1500NL :-29.9hPa〜+29.9hPa ・HT-1500NM :-199.9hPa〜+199.9hPa ・HT-1500NH :-749hPa〜+1499hPa
-34.48 kPa〜+34.48 kPaの範囲で微差圧を測定できます。
微差圧の単位は kPa, mbar, bar, psi, kgc, mmHg, inHg, cmH2O, ftH2O,inH2O, ozin2の11種類で表示できます。DT-8890はゼロ校正機能、最高値・最低値・平均値メモリー、ホールド、変化値表示機能があります。また、セットに付属している解析ソフトとUSBケーブルを使用して、測定中の微差圧データをパソコンにリアルタイムで転送できます。
-3.447 kPa 〜+3.447 kPa の微差圧を測定可能です。
微差圧の単位は kPa, mbar, bar, psi, kgc, mmHg, inHg, cmH2O, ftH2O, inH2O, ozin2の11種類で表示することができます。また、DT-8890Bは、ゼロ校正機能、最高値・最低値・平均値メモリー、ホールド、変化値表示機能付きです。セットに付属している解析ソフトとUSBケーブルを使用して、測定中の微差圧データをパソコンにリアルタイムで転送することができます。
高温動作によりゼロ点シフトを低減、CVD, Etch, ALDに！
「DA03A」は、RoHS対応のデジタル高温タイプBaratron（R）キャパシタンスマノメータです。 高温で動作することによりセンサ内部へのプロセス副生成物の堆積を最小限に抑えます。 これにより副生成物堆積によって生じる出力ドリフトをほぼ無くします。 150℃または160℃の動作温度で使用でき、メタルエッチングや絶縁膜CVDのような半導体製造における最も必要とされかつ環境の厳しい真空プロセスでの使用が可能です。 【特長】 ■150℃、160℃高温動作可能 ■オールlnconelのキャパシタンスセンサ ■コンパクト設計による省スペース ■ガス種によらない安定性能 ■EU用RoHS適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デジタルマノメーター／品番 MF13T-1500NLH
正圧・負圧・差圧の計測が可能な手の平に収まる小型のデジタルマノメーターです。計測単位の切換えや、最大値・最小値の表示、値を止めて見ることのできるHOLD機能など、従来品にはなかった便利な機能を兼ね備えています。
微差圧デジタルマノメータ １３０／１４０ シリーズ
卓上型パネル取付型が用意されています。圧力センサはセトラ社のＭ２３９シリーズの圧力センサを使用し製作されます。全ての圧力レンジを測定精度０．２％ＦＳと高精度で計測できます。センサ部は静電容量方式で迅速なウォームアップ特性で温度影響極はきわめて小さく、微小な圧力変化を高速で高感度で計測する事ができます。一方向、二方向の圧力レンジを用意しています。フルスケールレンジに対応したアナログ信号を使用し各種の製造、検査、自動化装置への組み込みに対応できます。上下限警報接点付や各種オプションにも対応できます。 その他詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロードください。
LCD表示機、ピークホールド、圧力単位切り替えなど各種機能を多数搭載
DMR5シリーズは、ピエゾ圧力センサーを内蔵した気圧用のデジタルマノメータ（デジタル微差圧計）で、LCD表示機や、ピークホールド、圧力単位切り替えなど各種便利な機能を多数搭載し、空気または非可燃性ガスの微圧の正圧、負圧、達成圧、微差圧の安定した計測が可能です。リチュウム電池式とDCもしくはACの電源式の両タイプがあり、電源式は指示機能以外にも、アナログ出力やリレー出力があり、ご要望に応じたカスタマイズなども可能です。比較的コストを抑えた商品ですが、多くの機能とオプション仕様を用意しており、尚且つ信頼性の高い精度を有します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ジャンパーピン設定を変えるだけで1機種で3つのレンジ切替が可能な微差圧計！
DMR３シリーズは、ダイヤフラムと磁気抵抗素子を利用した高精度の気圧用デジタル表示付き微差圧トランスミッターで、LCD表示機能と4-20mAのアナログ電流出力機能を搭載したマルチレンジのデジタル微差圧計です。 空気または非可燃性ガスの微圧の正圧、負圧、連成圧、微差圧の安定した計測が可能。 温度係数が小さいため優れた安定性能を有し、アナログ電流出力はレンジ機種毎に、ジャンパーピン設定を変えることで、３つのレンジ可変が出来る機能が特徴です。 【特徴】 ■センサーに磁気抵抗素子を利用 ■測定レンジは0～25Paから3kPa ■1機種で3つのレンジ切替が可能 ■すぐれた安定性 ■LCD液晶による圧力表示 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ゲージ管（ガラス管）内に、水、水銀などの液体を入れ、液柱（液面）の高さを読みとるものです。
ゲージ管（ガラス管）内は通連管になっており、測定対象物により、差圧、ゲージ圧などの圧力を計測します。
ゲージ管（ガラス管）内に、水、水銀などの液体を入れ、液柱（液面）の高さを読みとるものです。
U字型の片方の径を大きくすることにより液柱差の読取を1本のゲージ管で行なう単管式のマノメータであり検査用として広く利用できます。
