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ベストソリューションを提供！独自技術を中心としたソリューション
独自のCVD-SiC技術を中心に、 分析力・解析力・設計力を掛け合わせ、構想の初期段階から参画し、 ベストソリューションを提供いたします。 【提案例】 ○超高温アニール装置用大型部材開発（ボート、ホルダ、ノズル） ○狭ピッチ膜単カセットボート開発 ○超高純度SiCパウダー原料 ○次世代ウェハ対応部材 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
超小型・超低価格・超高性能！物性評価に適した単結晶育成装置『NEV−SP30型』をご紹介
高周波誘導加熱式による超小型の単結晶育成装置です。 小型コンパクト設計により、どこにでも簡単に設置できます。 【特徴】 ■超低価格を実現 ■5kw高周波電源内蔵 トランジスターインバーター方式マイッチングボックス内蔵 出力：5kw 周波数：200kHz ■物性評価用に好適 ※ご要望により各種カスタマイズが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
物性評価に最適！
【超小型単結晶引上装置】 高周波誘導加熱式による超小型の単結晶育成装置です。 〈特徴〉 ・超低価格を実現！ ・超小型コンパクト設計により、どこにでも簡単に設置！ ・5KＷ高周波電源が本体部に内蔵 ・物性評価材料育成に最適 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
太陽電池用 シリコン単結晶引上装置
均一な直径のシリコンインゴットを製造 長時間でも安定的に駆動可能な、シリコン単結晶引上装置 【特徴】 ○真空炉内（高温・低圧）の石英るつぼでシリコン原料を溶解後 単結晶の核となる種結晶をシリコン融液に浸漬し その種結晶を回転させながら引き上げることで単結晶インゴットを製造 ○種結晶を引き上げるプルヘッドは垂直方向への結晶引き上げを保証。 均一な直径のシリコンインゴットが製造可能 ○長時間でも安定して駆動 ○引き上げプロセスは、工程管理用の操作パネルとオペレーターが 状況に応じて適宜装置を動作させられるタッチ式ハンディコントローラで管理 ○オペレータの使いやすさに配慮した 視認性に優れ、直感的な操作が可能なGUI
引上げ駆動部とステンレスチャンバーを一体化することで軽量化！大学の研究室で好評を得ております
『TCA4-6C』は、安価なテトラアーク炉とのご要望を受け「TCA4-6型」の 各機能と特許“アーク電流制御”はそのままに、ゲッター機能を省いて コストダウンとコンパクト化を実現したテトラアーク式単結晶引上装置です。 引上げ駆動部とステンレスチャンバーを一体化することで軽量化。 試料の出し入れも簡単にできます。 尚、装置は炉体・制御部、電源部、手元操作ボックスより構成しております。 【特長】 ■コンパクト型 ■テトラアーク式による安定した溶解結晶育成が可能 ■アーク電流の精密制御 ■クリーンな高真空用に溶接ベローの採用 ■コンパクト型・省スペース設計で、清掃が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
