超高感度空圧センサFKS-111
従来検知できなかった空気・ガスの微小な圧力変化をとらえることができる超高感度微圧センサ
空圧センサFKS-111は従来検知できなかった空気・ガスの微小な圧力変化を高感度でとらえることができます。 検知範囲は、1つのセンサで幅広い圧力変化をとらえることができ、1Paの微小圧力変化から、100kPa程度の大きな圧力変化もとらえることが出来ます。 また、高圧容器内の微小な圧力変化もとらえることができます。 検知は、従来圧力センサにあります機械式やダイアフラム式・半導体式と異なり、全く新しい検知方法で行います。 圧力変化が起きますと、センサ周辺の空気やガスにごく僅かな温度変化が起きます。この温度変化をとらえることで圧力変化を検知します。 低周波(0.5Hz～10Hz)の圧力変化をとらえますので、音や振動には反応しません。 本センサは圧力値を検知するのではなく、圧力の変化を検知します。よって、圧力変化が起きますとセンサは反応し、圧力変化がなくなると反応しなくなります。 インピーダンス変換用FETを内蔵していますので、圧力変化量を電圧出力で取り出すことができます。 従来のダイアフラム式に比べ、安価・高感度であり、検知素子にセラミックスを使用していますので過大な圧力を受けても壊れません。
- 企業：株式会社富士セラミックス
- 価格：応相談
