超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』
一次室の流路にフィルターを内蔵！特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます
『S-TORRV50/50SHシリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意。Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施しています。 一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や アウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用 いただいております。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
- 価格：応相談
