更新日： 集計期間:2026年01月14日～2026年02月10日
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ウェハZ軸位置決めや、ウェハ厚み測定などの改善事例をご紹介！
当資料は、半導体業界における測定器・変位センサの改善事例集です。 ウェハダイシング深さ測定やBGAバンプの形状測定、スパッタリング ターゲットの磨耗量測定、真空チャンバ内アーム曲がり測定、モールド 前のチップの高さ測定など、様々な事例を掲載。 その他にも、当社で取り扱う、測定器・変位センサもご紹介しており、 製品選定の際に参考になる一冊となっております。 【掲載事例(一部)】 ■ウェハZ軸位置決め ■ウェハ厚み測定 ■ウェハダイシング深さ測定 ■BGAバンプの形状測定 ■ワイヤボンディング高さ測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
誘導型 位置センサー LVITは、コンタクトレス動作のセンサーです。 低コスト、頑丈な構造で、優れたストローク対長さ比率です。
誘導型 位置センサー LVITは、コンタクトレス動作のセンサーです。 低コスト、頑丈な構造で、優れたストローク対長さ比率です。 測定範囲: 25～200 mm 出力: 10 Vあるいは、4-20 mA LDI-119シリーズ: 直径11mm ハウジングコンパクトタイプ LDI-127シリーズ: 直径27mm ハウジング 特に頑丈なタイプ
ナノオーダーの高精度位置決めと、1ピコメートルのセンサ分解能による変位測定で、高品質の半導体製造を実現
当社は、attocube社製の半導体製造装置向け『ナノ位置決めステージ』や 『レーザ干渉式変位センサ』を取り扱っています。 高精度の位置決めを実現でき、数kgの荷重量に対応したステージなど 様々なニーズに応えられる製品をラインアップ。 クローズドループ制御に対応しており、精密な制御を実現可能です。 非常にコンパクトで、装置への組み込みも容易に行えます。 【製品ラインアップ】 『ナノ位置決めステージ』 ■高真空・超真空対応 ■過酷な環境下でも高精度・高分解能での位置決め ■最大6軸までのステージを構築可能 『レーザ干渉式変位センサ IDS3010』 ■ピコメートルオーダーの高精度・高分解能 ■10MHzの超高速動作、最大5mの作動距離 ■様々な材質、超高真空・高磁場などの環境に対応 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５ｍ作動距離。幅広い材質に対応。
attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な品質管理（QC）や品質保証（QA）の達成に貢献します。 【特長】 ■ピコオーダー分解能 ■広い作動距離範囲：数ミリメートルから最大5メートル ■高磁場、超高真空対応可能 ■モジュール式セットアップ ■超コンパクトなセンサヘッド ■3軸（X,Y, Z）構成可能 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDFダウンロードからご覧ください。
高い精度とラインナップであらゆる形状の段差を測定！お客様のお困りごとから開発したダンチノギス
「ZENSEI ダンチノギス」は、小型のハイトゲージで標準面から高さを測定し、アーム部の測定子の位置を調整することで標準から離れた箇所も測定が可能です。 お客様の測定方法に応じて、アナログ／デジタル、受け面が平面／３点受け等、様々な用途に対応可能です。 【全晴のダンチノギスは「ここ」が違う！】 ■お客様オリジナルが製作可能 ■豊富なラインナップで幅広く対応 ■デジタル、アナログ両対応 ※「ダンチノギス」の詳細はお問い合わせください。
20mまでの長尺を測定可能
地盤モニタリングでは、安全性に関してポジションセンサが特に重要です。難しいのは、測定長と、それにもかかわらずコンポーネントを取り付けるためのスペースの不足です。 当社のRFセンサモデルは、このようなアプリケーション向けに設計されています。この磁歪式Temposonicsセンサの特別な機能は、最大20メートルの長さの測定ストロークに起因します。さらに、センサロッドは柔軟性があるので、スペースが限られている場合でも簡単に設置でき、また、この変位センサをコンパクトなサイズに収納できるため、低コストの輸送が可能です。 この用途の広いセンサには、最大20ヶ所の位置を同時に正確に測定できるモジュラープロファイルも用意されています。非常に頑丈なプロファイルは、基本的なプロファイルセクションと、組み立てたときに目的の長さを実現するいくつかの延長部品で構成されています。
コンパクトで軽量！狭い場所でも設置可能。量産やOEM、高い加速度がかかる用途に最適。変位、距離、位置の測定に利用できます。
optoNCDT1320は、変位、距離、位置の測定に利用でき、コンパクトな形状のため、狭いスペースに設置可能で簡単に設置作業が行えます。 高い測定精度、測定レートは最大2 kHzまで設定可能。 センサの多機能ボタンで試運転でき、ウェブインターフェースから追加センサの設定を行うことができます。
ヘルスケア業界で使用される機器には、正確な位置決めに高度な技術が求められます！
当社では、『医療機器向けポジションセンサ』を取り扱っております。 コンパクトな「TILTIX傾斜計」は、正確な測定を提供し機器の寿命まで 使用できるよう設計。「LINARIXリニアセンサ」は、検査テーブルの 位置検出に好適なソリューションを提供します。 また、透視撮影台やX線撮影台、手術用Cアームなど、複数の部品が 組み合わされて位置決めを必要とする複雑なアプリケーションには、 「IXARCアブソリュートロータリーエンコーダ」が好適です。 【特長】 ■スキャナの角度位置決めや患者テーブルの正確な位置決めに好適 ■手術用ロボット、外骨格、人工呼吸器、 ラボラトリーオートメーション機器などにも好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
湿度を高精度で測定・制御できる！見やすい表示＆コンパクト設計のデジタル湿度調節計＼乾湿球センサまたは高分子センサから選べます！／
『デジマック3000huシリーズ』は、3位置制御（加湿/除湿）または2出力の独立制御（2位置＋2位置）、警報の出力が可能です。 伝送出力（オプション）の機種では記録計などへ出力することができます。 10Aを入切できるリレーを搭載しているため、超音波加湿器「霧風シリーズ」と連動することができます。きのこ栽培室の環境制御などにおすすめです。 【特長】 ■見やすい数字表示器 ■乾湿球センサまたは高分子センサから選択可能 ■屋内にスペースがとれない施設でも設置可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
0.005%FS以下(最高1μm)の高分解能、0.025％FS以下の非線形性。見積用FAX用紙付
磁歪式リニア変位センサModel GYシリーズは、Wiedemann効果による磁歪現象を応用した工業用変位センサです。センサプローブに沿って無接触で移動するマグネットによって磁歪線の上にねじり歪を発生させ、その歪みの伝播速度を測定することによって位置を知るアブソリュート方式の高精度変位センサです。
超小型変位センサＤＳ２００１シリーズの新ラインナップ
ワイヤレス変位センサ（DS-1ch-ＷＬ）は超小型変位センサＤＳ２００１シリーズの新しいラインナップです。
ワイヤー式 変位センサー のご紹介です
ポテンショメータにワイヤーを巻きつけてある 変位センサーです。ワイヤーが引き出されることにより移動距離が計測できるセンサーです。溝付きドラムのため再現性に優れています。
拡散炉での温度変化測定など実績アプリケーション例についてご紹介！
当資料は、半導体・FPD業界における実績アプリケーション例集です。 ビューポート越し、ウエハの姿勢確認やウエハの厚み測定、画像処理 装置のピント調整、サセプタの振れ測定、ワイヤーロールの熱膨張 測定、ダイシング溝の深さ測定など、様々な事例を掲載。 その他、当社で取り扱う、測定器・変位センサもご紹介しており、 製品選定の際に参考になる一冊となっております。 【掲載事例(一部)】 ■ビューポート越し、ウエハの姿勢確認 ■ウエハの厚み測定 ■画像処理装置のピント調整 ■サセプタの振れ測定 ■ワイヤーロールの熱膨張測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
初心者でも操作可能、高速の処理スピード、測定箇所・任意設定！
「マスクテンション自動測定装置」は、スクリーンマスクの任意の場所のテンションを自動測定する装置です。 テンション測定子（3種類）自動切り替え機構で、対象マスクのバーコードを読み込むことで、測定子を自動で切り替えることができます。 タッチパネルにて各設定、ロボットのティーチングができ、測定点・測定位置のプリセットが可能です。 測定子の自動ゼロリセット機能を搭載しています。 トレーサビリティシステムを搭載しており、測定データの蓄積検索が可能です。 マスクに打こんが付きにくい形状の測定子です。 【特長】 ○誰でも同じ値 ○初心者でも操作可能 ○高速の処理スピード ○測定箇所、任意設定 ○測定データの自動保存 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
15mmの範囲を非接触でリニアに測長 アブソリュート出力 電圧１－５V 位置決めの微調整などにも
15mmストロークを、8mm離れた位置から非接触検出 非磁性の障害物の影響を受けない 保護等級「IP67」に対応した防水・防塵性能を実現 小型・コンパクトな省サイズ設計。設置や取り付け時の自由度が高い 使用磁石 MG-620 MG-620-1 （特注にて形状変更可能です） 有効長 100ｍｍ～ のＭＰー６２０シリーズもございます リニア ポテンショメーター（ポテンショメータ） 変位測定・計測
耐環境性にも優れ、振動衝撃・高温環境下でも使用可能なアブソリュート方式のリニア変位センサ。
「GYシリーズ」はプレス機器の位置決めや高精度液面計として使用できるアブソユート方式の直線変位センサです。 <特徴> ○アブソリュート方式 非常停止や停電の際、原点復帰が不要です。 ○高精度 最小1μmの高分解能、±0.025%FS以下の線形性を有します。 ○豊富なラインナップ コントローラ一体型、小型、防爆型等の豊富なラインナップをご用意しております。 ○優れた耐環境性 標準で耐圧35MPa、保護規格はIP67を有します。 オプションにより高温度対応200℃、保護規格IP68、耐衝撃800Gに対応できます。 ○非接触検出 ポテンショメータと異なり、機械的な摩耗がありません。
リニアエンコーダー 磁気式インクリメンタルスケールシステム 最大クリアランス ２６ｍｍ 完全非接触！ 有効長 無限大
スケールとヘッドとの距離を大きく取れる非接触型のインクリメンタルスケールシステムです 磁気検出のため埃、ゴミ等に影響されずに測定ができます 【特長】 ■スケールとヘッドとの距離を大きく取れる非接触型のインクリメンタルスケールシステムです ■磁気検出のため埃、ゴミ等に影響されずに測定ができます ■検出距離と分解能によりシステムを用意 ※サンプル貸出可能 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDF資料をダウンロードしてください マコメスケールとしてもお馴染み
好評頂いております MP-620に待望の電流出力タイプがラインナップされます 非接触なので摩擦による屑等が発生しません
『MP-621』リニア変位センサー （電流出力タイプ） 独自開発技術の可飽和コイルを使用し、磁石の位置を非接触でリニアに検出します。 センサー部と検出マグネットは非接触で８mm離せます 油圧シリンダー・エアーシリンダーなどに内蔵される磁石の絶対位置検出にも適しています ※既存のマグネットを検出する場合は調整が必要となることがございます ロボットアームの変位量測定などにも好適 リニア ポテンショメーター（ポテンショメータ） 【主な特長】 ■電源電圧DC+2４V（出力４－２０ｍA） ■従来のリニア変位センサーと比べ様々な磁石を検出可能 ■弊社スリーブセンサーと比べデッドスペースが非常に小さくコンパクト 外形や検出範囲・距離等はご相談ください！ ※詳しくはお問い合わせください
Honeywell 独自の異方性磁気抵抗効果素子を組み合わせることにより、高精度かつ信頼性の高い位置検出センサ
HoneywellのSMARTポジションセンサ、SPSシリーズは、業界で最も高い耐久性、適用性、軽量を特徴とする絶対ポジションセンサです。 非接触型の設計が、アプリケーションへの統合し易さを助長し、最も過酷な環境での性能を高めます。 SMARTポジションセンサ、SPSシリーズの３つの構成 ■線形 ■アーク ■ロータリー
青色レーザー技術を使用！表面に浸入せずシャープな像を映し出し、高い分解能と信号安定性で測定が可能。
変位、距離、及び、位置を高速に測定。 ブルーダイオードを使用しているため、赤熱したターゲットや、有機物の変位計測に最適。 計測レンジも20 mm ～1000 mmと幅広いラインナップで提供可能。 高性能レンズ、レーザー制御、評価アルゴリズムにより様々な物質における正確な測定が可能。
ワンセットアップで高精度レーザー測定！同時に複数の機械軸の調整作業が可能
『トリプルスキャンレーザー』は、工作機械の平面度・真直度・直角度を ワンセットアップで高精度に測定できるレーザーアライメントシステムです。 3つの自動回転レーザー平面を利用し、ライブデータを見ながら同時に 複数の機械軸の調整作業が可能。 これまで困難だったロール設備の水平度および垂直度測定・調整作業も 簡単におこなうことができます。 【特長】 ■ガラス基板例 ・FPD用ガラス基板搬送ステージなどの平面度調整に好適 ・3m以上あるステージの平面度測定を素早く正確に行うことが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高温下や爆発性危険区域での使用も可能！
タービン、コンプレッサ、ポンプ等の軸振動/軸位置/偏芯を渦電流方式により非接触で計測します。 高温下や爆発性危険区域での使用も可能とし、高い信頼性で長期間の機械保護・監視を可能とします。
振動・衝撃波などの影響を受けにくい、非接触リニア変位センサー エアーシリンダーなど直動装置の位置検出に好適！
『MP-620シリーズ』リニア変位センサー 独自開発の検出素子「可飽和コイル」を複数使用し、検出体（磁石）との相対位置を非接触で検出しリニア出力（電圧・電流）します 個々の検出素子が検出体（磁石）の位置変化を捉えていますので振動や衝撃による出力の乱れがほぼ発生しません センサー部と検出体は完全に分離（8ｍｍ±２ｍｍ）されており、接触による摩耗粉等が発生しません 油空圧シリンダーなどに内蔵される磁石の絶対位置検出にも適しています。（アブソリュート） ロボットアームの変位量測定などにも好適 【主な特長】 ■電源電圧DC+2４V ■出力MP-620（電圧出力1-5V）MP-621（電流出力4‐20ｍA） ■有効長100ｍｍ～800ｍｍ ※800ｍｍ以上ご相談ください（最大1600ｍｍ対応可能） ■繰り返し精度0.1ｍｍ以下 ■従来の弊社リニア変位センサーと比べ様々な磁石を検出可能 ※調整が必要となることがございます。 ■弊社スリーブセンサーと比べデッドスペースが非常に小さくコンパクト ※15ｍｍストローク 小型タイプのMP‐4731もございます
非接触タイプと接触タイプの2種類のラインアップ！リニア（位置）センサをご紹介
『リニア（位置）センサ』は、ドイツのリニアセンサ及びロータリーセンサの 専門メーカーである、novotechnik社の製品です。 当社はnovotechnik社製品の代理店です。 非接触で長さや角度を測定するので機械的寿命がなく、密閉構造で作れるため 保護構造IP67で水や粉塵が多くかかるような悪環境でも安心して使用可能な （一部製品除く）「非接触タイプ：リニアトランスデューサ」と 「接触タイプ：リニアポテンショメータ」をラインアップしております。 【特長（非接触タイプ：リニアトランスデューサ）】 ■原点復帰が不要なアブソリュートタイプ ■最大16KHｚの高速サンプリングレート ■4250mmまでの長距離測長に対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
高い信頼性があり、長期間の機械保護・監視が可能となります。
タービン、コンプレッサ、ポンプ等の軸振動/軸位置/偏芯を渦電流方式により非接触で計測します。 高温下や爆発性危険区域での使用も可能とし、高い信頼性で長期間の機械保護・監視を可能とします。
安全で効率的
サハラ砂漠のほこりが終わり、印象的な夕方の空が残りました。しかし、残念ながら、窓も汚れています。特に高層ビルでは、大きな窓ガラスを掃除することが大きな課題になります。すべてのガラス張りのエリアに到達するには、移動式リフト機の使用が必須です。主な焦点は、労働者の安全と動きの正確さにあります。Temposonics センサによる信頼性の高い位置測定により、制御された効率的で安全な動きが可能になります。 Temposonics変位センサは、高所作業車の法的要件をサポートし、そのような高所作業車を移動するときに発生する衝撃や振動に耐性があります。
アトラクションの強い衝撃や振動に
ファンパークでどんな息をのむようなシナリオが提供されても、プラットフォームはシリンダによって制御され、シミュレーションを可能な限りリアルにします。このようなアトラクションのコンポーネントは、絶え間ない動きによる強い衝撃や振動にさらされています。何よりも、すべてのコンポーネントは、どのような気象条件でも安全かつ確実に、長時間動作する必要があります。 Temposonics 変位センサは、このようなメカニズムに位置フィードバックを提供するための理想的なソリューションです。 Temposonicsセンサは堅牢で信頼性が高く、非接触測定のため、メンテナンスフリーで耐久性があります。多くの大規模な遊園地では、楽しさ、そして何よりも安全性を保証するために、すでに 当社のセンサソリューションを使用しています。 当社のアプリケーション エンジニアは常に新しい挑戦を楽しみにしており、喜んでサポートいたします。
ボタン一つで感度調整・出力変換可能
・精度0.1%FS (分解能0.001%FS) ・アンプ側のボタン操作で即校正可能。 ・8種類のセンサを接続可能 ・磁性体/非磁性体、どちらも測定可
数週間を要していたアライメント作業を迅速かつ高精度に！生産性の向上にも貢献
TACC株式会社が取り扱う、レーザーアライメントシステム 『トリプルスキャンレーザー』を工作機械に活用した事例をご紹介します。 従来の測定方式（レーザー干渉計、スコヤ、直定規、レベル等）では、 数日もしくは数週間を必要とした工作機械のアライメント作業において、 最大70％の時間短縮を実現することが可能です。 また、ワンセットアップで迅速かつ高精度なレーザーアライメントにより、 人件費とダウンタイムの削減を実現。 さらに、工作機械の品質を向上させることによりスクラップ率が低下し、 生産性の向上にも貢献します。 【特長】 ■数週間を要していたアライメント作業を迅速かつ高精度に ■レーザー本体の位置を変えずに、工作機械の平面度、真直度、直角度の測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
車両検査機等に多数実績あり。運転シミュレータや位置決めなどに適しています
LP-50Fシリーズのモデルチェンジしました。 ・本体アルミダイキャスト化、黒色アルマイト処理 ・スライダーをケースで受ける構造にして刷子の接地を安定化 ・抵抗・コレクタエレメントを共通化(端子片側配置)し,部品削減によるC/D ・機械的仕様及び電気的仕様は従来と同等 ・抵抗値10kΩの対応 ・取付互換性あり ・端子位置片側統合配置 ■LP-50F 50mmのストローク検出 ■LP-50FB 軸リターンスプリング付き 【よく使用される業種】 自動車、産業機械、アミューズメント 【アプリ―ケーション】 車輛検査機、板金加工機、射出成型機、運転シミュレータなど 【用途】 測定/ホイールアライメント 制御/材料の位置決め エジェクタ―ストローク・ペダルストローク 詳しくはカタログをダウンロードまたはお問い合わせ下さい。
