紫外線照射装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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紫外線照射装置 - メーカー・企業41社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年06月10日~2026年07月07日
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紫外線照射装置のメーカー・企業ランキング

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  1. エクセリタスノーブルライトジャパン株式会社 東京都/産業用電気機器
  2. コスモ技研株式会社 埼玉県/その他製造
  3. サンエナジー株式会社 大阪府/産業用電気機器
  4. 4 岩崎電気株式会社 アイグラフィックス社 産業機器営業部 大阪府/産業用電気機器
  5. 4 株式会社大興製作所 事業統括本部 京都府/製造・加工受託

紫外線照射装置の製品ランキング

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  1. 高出力無電極紫外線(UV)照射装置 エクセリタスノーブルライトジャパン株式会社
  2. アイLED色評価照明システム 岩崎電気株式会社 アイグラフィックス社 産業機器営業部
  3. 小型紫外線照射器『コスモハンディ』 軽量で便利なキャスター付UV コスモ技研株式会社
  4. TSラボ株式会社 会社案内 TSラボ株式会社
  5. 4 SPOT光源(高出力UV-LED照射モジュール) 株式会社大興製作所 事業統括本部

紫外線照射装置の製品一覧

31~60 件を表示 / 全 80 件

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【医療関連施設用】紫外線照射装置『ムーンビーム3』

細菌・ウイルスは3分、芽胞菌は10分で菌を減らす!遠隔操作で、作業者の安全を確保

『ムーンビーム3』は、紫外線C(UV-C)により、高頻度接触面を 短時間で狙い撃ちし、菌を減らす紫外線照射装置です。 3本のアームをフレキシブルに調整することで、紫外線C(UV-C)を 広範囲に効率的に照射。 遠隔操作で、作業者の安全を確保し、モーションセンサーで、 患者や作業者等の立ち入り時に自動停止します。 【特長】 ■遠隔操作で、作業者の安全を確保 ■モーションセンサーで、患者や作業者等の立ち入り時に自動停止 ■細菌・ウイルスは3分、芽胞菌は10分で菌を減らす ■重量は約18kgと軽く、病室間の移動と設置が簡単 ■少ない工程で操作が簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【ウィルス対策】紫外線照射装置『さっきん太郎』

50m2の空間を10分で除菌!人の入れ替わりが多く、換気のしにくい施設に適しています

『さっきん太郎』は、紫外線により様々なウィルスを99.9%除菌する 紫外線照射装置です。 “254nm UVCランプ”6本を搭載し、消費電力は216W。飛沫による 付着ウィルスも除菌でき、50m2の空間を10分で除菌します。 また、消費電力72Wの「さっきん次郎」もラインアップ。 飲食店をはじめ、カラオケルームやビジネスホテル、エステサロンなど 人の入れ替わりが多く、換気のしにくい施設に適しています。 【特長】 ■紫外線により様々なウィルスを99.9%除菌 ■飛沫による付着ウィルスも除菌 ■最大50坪対応可能 ■50m2の空間を10分で除菌 ■72W/216Wの2機種をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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UV光源/LED式UV照射システム-スポット照射

光源LEDのための長寿命

自由自在のLED式UVスポット照射制御です。

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UVGI紫外線照射装置『AERO SHIELD(R)』

日本の空気環境対策をリードするUVGI紫外線照射装置

『AERO SHIELD(R)』(エアロシールド)は、特殊なルーバー(仕切り板)構造による紫外線の水平照射を実現するUVGI紫外線照射装置です。 天井付近に紫外線ゾーンを形成し、人が生活する空間に影響を 及ぼすことなく24時間使用できます。 空調や人の出入りなど屋内で起こる空気の自然対流を利用し、 空間全体にアプローチ致します。 【特長】 ■ランプ交換が6か月に一度程度 ■日常の保守点検不要 ■24時間運用の特殊構造 ■安全と信頼性 ■特殊なルーバー構造で人体に配慮 など 【導入事例】 ■東京ドーム(選手ロッカー、監督室、客席トイレ等) ■野村不動産株式会社(シェアオフィス) ■三井不動産株式会社(シェアオフィス) ■株式会社ニッポン放送(スタジオ) ■JR東日本・JR西日本(指令所等) ■NTT西日本(コールセンター) ■パナソニック エイジフリー株式会社(介護施設) ■東京大学(研究室) ■東北医科薬科大学病院(CT室、リハビリ室等) ■大分空港(ターミナル)  (敬称略) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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  • 空気清浄機
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ウイルス対策 紫外線照射装置『RaySmart レイスマート』

室内空間の浮遊菌を除菌 ウイルス対策に紫外線照射装置レイスマート!

『RaySmart』は、室内空間の浮遊するウイルスや細菌・真菌(カビ)を除去する紫外線照射装置です。 210cm以上の壁面に設置するため日常の生活領域に影響を与えず安全です。 室内の空気は自然対流によって天井付近に形成される紫外線照射領域へと 運ばれます。 レイスマートは波長253.7nmの紫外線(UV-C)を採用しており浮遊菌を除菌します。 企業のオフィスや食堂および医療施設でウイルス対策として導入されています。 【特長】 ■室内空間の除菌効果としては1時間に10~25回の換気と同じ効果 ■空気の自然対流を利用して室内全体を除菌 ■設置時の点検、1年ごとの保守点検で安心 ■210cm以上の壁面に設置するため日常の生活領域に影響を与えない ■フィルターレスでお手入れ不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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空気清浄機の代替えに!ウイルス対策に貢献『紫外線照射装置』

保育園やオフィス、ホテル等に導入実績あり!室内に浮遊するエアロゾルやウイルス、細菌等を除去!フィルターレスでお手入れも不要です。

『RaySmart』は、室内空間に浮遊するエアロゾルやウイルス、細菌などを除去する紫外線照射装置です。 フィルターレスでお手入れ不要のため、設置時の点検、1年ごとの保守点検で安心にご利用いただけます。 保育園や幼稚園、学校、店舗、ホテル、レストラン、オフィス等で利用実績があり、壁面に設置するため日常の生活領域に影響を与えず安全です。 室内の空気は自然対流によって天井付近に形成される紫外線照射領域へと運ばれます。 室内空間の除菌効果としては1時間に10~25回の換気と同じ効果があります。 ≪エアロゾルとは≫ 飛沫より、微細な粒子が浮遊する状態をエアロゾルといいます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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TSラボ株式会社 会社案内

LOTに合わせた好適設計、工法設計を実現!海外からの部品調達もお任せください

TSラボ株式会社は、2021年01月に設立された紫外線照射装置や 除菌脱臭装置などの特殊照明や電子機器の設計を得意とする会社です。 3Dプリンターやレーザー加工機を用いて、プロトタイプでの事前評価、 検証等を行う事も可能。お客様のご要望に満足できることを確認した後、 安心して量産に移行することができます。 紫外線から可視光まで問わず、特殊照明、カスタム照射装置、電子機器の 設計/制作はお任せください。 【主な事業領域】 ■紫外線照射装置 ■特殊照明 ■除菌脱臭機能付き製品 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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  • その他 脱臭
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紫外線照射装置ラボキットUVL-LK-115

紫外線照射が簡単にできます!

キットになっているので、カンタンに紫外線を照射できます。 アンプ内蔵型なので点灯操作が簡単です。 殺菌効果の高い253.7nmを8Wの大出力で照射します。 手動昇降台で、簡単に照射距離や範囲の変更調節ができます。

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紫外線◆照射装置◆接着剤◆硬化 

接着剤の硬化、塗装等のコーティング等多方面にわたり使用可能な紫外線照射装置

価格・納期には絶対の自信あり。

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UV印刷への応用

コーディングおよび標識などの素材へ印刷に活躍!UV硬化の応用例

UV 硬化処理は既に30年以上にわたって印刷業界で使用されています。 経済性、システム性能、そして環境への負荷が少ないことを理由に従来の 技術が UVプリンタ用のLED硬化技術へ急速に置き換わっています。 フォセオン社の UV LED 硬化技術は、デジタルインクジェット印刷、 スクリーン印刷、フレキソ印刷、その他の印刷処理におけるインクの UV硬化に理想的です。 【UV印刷への応用】 ■デジタルインクジェット印刷 ■スクリーン印刷 ■フレキソ印刷 ■その他の印刷処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • LEDモジュール
  • 印刷機械
  • 印刷/出版
  • 紫外線照射装置

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高出力紫外線照射装置 UVフラッシャー ストレート型TX2100

UV原料を瞬時に硬化させる高出力紫外線照射装置!電源投入後、直ちに稼動できるので待ち時間が要りません!

『UVフラッシャー ストレート型TX2100』は、電源投入後、直ちに稼動できるので待ち時間が要らない高出力紫外線照射装置。従来の水銀/メタルハライドランプのように常時点灯しておかなくて済むため、大幅な消費電力の低減に貢献します。また、キセノンガスを使用しているので、環境負荷が少なく、発光電圧、発光パルス数などを目的に合わせて容易に設定変更が可能。専用ソフトが標準で付属されているので、導入後直ちに使用できます。 【特長】 ■電源投入後、待ち時間が不要 ■電気料の大幅節約 ■環境負荷が少ない ■導入後直ちに使用が可能 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

  • 滅菌器
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  • コーター
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紫外線照射装置(太陽電池モジュールUV試験用恒温槽)

大面積にも対応!高精度・低価格の紫外線照射装置!

協和株式会社で取り扱う、『紫外線照射装置』をご紹介いたします。 紫外線照射装置(太陽電池モジュールUV試験用恒温槽)は、太陽電池のモジュールを2枚セット可能で、 太陽光の5倍のUVエネルギーを照射可能です。 また、シーケンサを搭載し、周辺機器とのインターフェースが自由に カスタマイズできます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■高精度 ■低価格 ■シーケンサを搭載 ■周辺機器とのインターフェースが自由にカスタマイズできる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他検査機器・装置
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紫外線照射装置 UVB-300

紫外線照射装置 UVB-300

【概要】 紫外線照射装置 UVB-300は、紫外線照射強度365mmを主波長とした紫外域に高い輝線スペクトルを保つ超高圧水銀ランプと、紫外域において80%以上の反射率を持つ楕円反射鏡とを組み込んだものです。 紫外線硬化に有用な紫外域が強く、熱発生の原因となる可視域、赤外域がほとんどないスペクトルが得られます。 また可視域、赤外域をカットし熱発生を抑えるフィルターをご用意しております。 【特長】 ●リモート機能 シャッター、光量コントロール、ランプON/OFF操作が外部よりコントロール可能 ●光量コントロール 絞り板の内蔵により連続的に光量コントロール可能 ●プリセットランプ方式採用(※UVB-300のみ) ランプ交換時の位置調整が不要なため、メンテナンスランプ交換作業が簡単に行えます。 ●高効率集光光学系採用 姉妹機850W、1800Wともにワンランク上の高照度を実現 ★詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい★

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紫外線照射装置 UVB-300/850/1800

紫外線照射装置 UVB-300/850/1800

熱発生の原因となる、可視域・赤外域が ほとんどないスペクトルが得られる、紫外線照射装置 【特徴】 ○紫外線照射強度365mmを主波長とした  紫外域に高い輝線スペクトルを保つ超高圧水銀ランプと  紫外域において80%以上の反射率を持つ楕円反射鏡とを組み込み ○リモート機能  シャッター、光量コントロール  ランプON/OFF操作が外部よりコントロール可能 ○光量コントロール  絞り板の内蔵により連続的に光量コントロール可能 ○プリセットランプ方式採用(UVB-300のみ)  ランプ交換時の位置調整が不要なため  メンテナンスランプ交換作業が簡単に行える ○高効率集光光学系採用  姉妹機850W、1800Wともにワンランク上の高照度を実現 ○可視域、赤外域をカットし熱発生を抑えるフィルターをご用意 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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SPOT光源(高出力UV-LED照射モジュール)

SPOT光源は少量のLEDで高い放射照度とコストを両立した、当社UV-LEDモジュールのエントリーモデルとなります。

当社のレンズ設計技術と製造技術を組み合わせ、少量のLEDで高い放射照度を実現しました。 深紫外(UV-C)領域から近紫外(UV-A)領域まで幅広い波長をご用意しており、分析計測分野をはじめとする幅広い用途や研究開発においてご利用いただけます。 シンプルな構造のため、紫外線の照射装置を初めて試してみたい方にも手軽にご利用いただける製品となっています。 【主な用途】分析計測分野・殺菌用途・農作物の病害虫防除・接着/硬化など… 【特徴】効率良く高い放射照度を実現     光に指向性を持たせることで、距離を離した場合でも照度低下が少ない     14種類の波長からお選びいただけます(波長265~405nm)

  • LEDモジュール
  • 紫外線照射装置

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紫外線照射装置 J-cure 1500 シリーズSeries

UV硬化実験に最適な小型軽量のUV照射装置!

J-cure1500シリーズは、メタルハライドランプまたは水銀ランプを使用し、250~420nmの波長の紫外線を効率よく照射するよう設計された紫外線照射装置です。 小型コンベア一体型と照射BOX型の2タイプがあり、目的に合わせて機種を選択していただけます。接着剤硬化や絶縁ワニス樹脂の硬化、塗料の前処理の為の硬化等幅の広いアプリケーションに対応いたします。

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ハンディタイプUV照射装置ハンディキュアラブ【セン特殊光源社製】

最も小型で低価格の紫外線硬化装置【セン特殊光源社製】

従来の熱乾燥などと比較すると、硬化・乾燥までに至る時間が圧倒的に短く、溶剤等の使用量が飛躍的に削減され、「省エネ」「省スペース」や、「環境改善」 に於いてもその特性を発揮し、更に近年UV硬化樹脂の性能が著しく進歩した事で、その用途と市場が飛躍的に拡がっています。

  • その他表面処理装置
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UV洗浄表面改質装置 ASM401N

ASM1101Nの弟分です。照射エリアを50mm角に絞り、低価格化を実現しました。

高出力・長寿命ランプを採用 特殊形状の低圧水銀ランプを採用することで、高出力・高均斉を可能にしました。 コンパクト&ローコスト 設置が簡単な卓上型の実験装置。省スペース、低価格を実現。 簡単操作 ランプの点灯、照射時間設定、オゾン排気までボタンを押すだけで誰でも簡単に操作できます。また、10mm刻みで照射距離が調節できる為、正確なデータ取りが可能。 安全対策 オゾン漏れや紫外線漏れの心配がなく、扉開時にはランプが消灯する安全設計。

  • その他工作機械
  • 3Dプリンタ
  • 有機EL
  • 紫外線照射装置

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硬化装置『ASM2501』

選べる3タイプをラインアップ!

『ASM2501』は、ランプから放出される紫外線の照射を行う事に より、UV硬化性の樹脂・接着剤・塗料・レジスト等が瞬時に光重合 反応をおこすハンディタイプのUV硬化装置です。 瞬間硬化で作業時間が短縮され、小型・軽量設計で作業の効率化を はかります。 選べる3タイプのランプをラインアップしており、硬化目的に合った ランプをお選びいただけます。 【特長】 ■瞬間硬化 ■作業時間短縮 ■小型 ■軽量設計 ■省スペース ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光ファイバーイルミネーション『光ファイバー水上花』

風や水面に揺れる幻想的なイルミネーション。省エネで尚且つ熱を持たないため、植栽にも安心してご利用いただけます。

『光ファイバー水上花』は、美しく咲くサガリバナが水面をただよう様子をイメージしたイルミネーションです。 【特徴】 ■風や水面に揺れる幻想的なイルミネーション ■光が水面に乱反射し、幻想的な雰囲気を演出 ■一般的なイルミネーションより省エネ ■植栽にも安心して利用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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『竹の和風イルミネーション演出』

狭い場所から広い場所まで!和をテーマにデザインしたイルミネーション

『竹の和風イルミネーション演出』は、湯気・波・泡・花をテーマに デザインした竹のイルミネーションです。 和の趣を感じるイルミネーションでお客様をおもてなします。 狭い場所から広い場所まで用途に合わせて自由に配置できるほか、 消費電力が少なく光源の寿命が長いLEDを使用しているため経済的です。 【特長】 ■湯気・波・泡・花をテーマにデザインした竹のイルミネーション ■和の趣を感じる ■狭い場所から広い場所まで用途に合わせて自由に配置可能 ■情緒あふれる ■消費電力が少なく光源の寿命が長いLEDを使用 ■経済的 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例】投影系演出:外観ライトアップイルミネーション

不思議な光景に人々の足を止め興味を誘う!アイキャッチ用 サイン照明の事例

人々が行き交う路面上にゴボ照射器でマークや花束などを象徴的に あしらった光のイメージ模様を投影、ブライダルの投影系演出の 事例をご紹介いたします。 この光のイメージ模様は、回転したり前後左右に移動します。 その不思議な光景に人々の足を止め興味を誘います。 【事例】 ■アイキャッチ用 サイン照明 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光ファイバーを使った花の光空間

繊細な光がしとやかに輝く!光ファイバーを使ったイルミネーションのご紹介

株式会社ミューでは、ライトアップ演出、イルミネーションをはじめ、光や音、 映像を使用した演出をご提供しております。 水上花をイメージして水に浮かべた、光ファイバーイルミネーションのご紹介です。 花びらのように放射状に広がった光が水面へ鏡面反射し、風や水流により ゆらゆら揺れながら光ります。 光が2色ずつ変化していき、水上全体をフルカラーに彩ります。華やかな雰囲気や 幻想的な雰囲気など、色味による表情の変化をつけた演出が可能です。 【事例】 ■施設:店舗・商業施設 ■水面に咲いたさがり花と云う花をイメージしたイルミネーション ■水面に反射しながらゆっくりと色変化 ■ゆらゆら揺れる神秘的なかがやきを放つ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ファイバー草原

風に揺れ煌めくファイバー草原!光ファイバーを使ったイルミネーションの事例をご紹介

やわらかな光が風にそよぐ草原を演出した「ファイバー草原」は、約13,000本の 小さく控えめな光が植栽とともに風にゆれ、あたり一面に広がります。 光ファイバーを使った草原は、黄から碧へ、碧から白へと ゆっくり変化していき 見る人を飽きさせないイルミネーションです。 また、光ファイバー自体は熱を持たないため植栽を傷めません。半透明で目立たない ファイバーは、昼間は植栽の自然な姿をそのまま楽しむことができます。 防水・耐熱性に優れたBOXを使用し、光源器を設置します。 【事例】 ■施設:店舗・商業施設 ■ゆっくり変わるグラデーションカラー ■風に揺れ儚く煌めくファイバー草原 ■見る人を飽きさせないイルミネーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【空間演出事例】光ファイバーイルミネーション【噴水水中照明】

光ファイバーイルミネーションを用いた空間演出の事例をご紹介!噴水などの水の近くでも使える照明器具

株式会社ミューは、ライトアップ演出、イルミネーションをはじめ、 光や音、映像を使用した演出をご提供しております。 店舗・商業施設での空間演出の事例をご紹介します。 水に適した光ファイバーでデザインした新しいイルミネーションは、螺旋状に 垂れる特殊にカールした光ファイバーが美しい輝きを放ち、ランダムに混ぜた クリスタルビーズが乱反射して氷のような幻想的な光を表現します。 【事例】 ■施設:店舗・商業施設 ■噴水の水辺に適した光ファイバーイルミネーション ■特殊な技法でカール状にした光ファイバー ■ランダムにクリスタルピースを混ぜた螺旋状のオブジェ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社ナウデータ 事業紹介

“おもろい発想”と“ド・エライひらめき”を原点に光学装置を創る!

株式会社ナウデータは、主に光学機器の開発・製造・販売を行っている会社です。 当社のキャッチフレーズは「光と装置の創造空間」。「各種光源装置、 光照射装置開発」というビジネスを通して、各産業へのお手伝いとお客様 のご要望にお応えします。 光学装置のことなら株式会社ナウデータへお任せ下さい。 【事業内容】 ■各種光源装置、光照射装置の開発・製造・販売 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光度センサー
  • 紫外・可視分光光度計
  • 近赤外分光光度計
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実験・研究用 コンパクトUV硬光装置「デモ機あり」

用途に応じた照射長域の選択が可能!マルチな波長対応で実験、研究用に活躍

『UV-1500MT』は、1500Wメタハラ、水銀ランプとも交換共用ができ、 マルチな波長対応で実験、研究用に適したUV簡易露光装置です。 ハイパワー・コンパクト化を実現した独自の光学設計。高安定・長寿命・ オゾンレスランプの使用で、用途に応じた照射長域の選択が可能です。 自動化ラインに対応する豊富なリモート機能や万全なノイズ防止対策など、多彩な機能を備えています。 【特長】 ■ハイパワー・コンパクト化を実現した独自の光学設計 ■高安定・長寿命・オゾンレスランプの使用 ■用途に応じた照射長域の選択が可能 ■70~100%まで強度調整が可能 ■自動化ラインに対応する豊富なリモート機能 ■万全なノイズ防止対策 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社クォークテクノロジー 事業紹介

未来ストーリーを創造するクォークテクノロジー。

株式会社クォークテクノロジーは最先端の光応用技術を利用した各種産業用設備機器の製造販売を行っております。 真空紫外及びUV-LED光源の開発により、半導体製造技術を始め、液晶、PDPからフィルム、ELなどの新規ディスプレイ、各種電子材料及び電子機器の製造技術に導入させていただいております。 そのほか、医療や社会的課題であります廃棄物・環境対策機器の需要に対しても研究開発を計画しております。 あらゆる物質は原子、核子そして「クォーク」から成り立っております。 私たちクォークテクノロジーは、光を研究し産業応用技術へのチャレンジを続けてまいります。 【事業内容】 ○紫外線照射装置製造販売 ○UV-LED照射装置製造販売 ○半導体製造装置製造販売 ○その他、各種石英、セラミック商品取扱 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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株式会社クォークテクノロジー 製品カタログ

光応用技術を利用した各種産業用設備機器を掲載!

当カタログは、主に紫外線照射装置製造販売・露光装置製造販売・その他、 各種石英、セラミック商品の取扱いを行う株式会社クォークテクノロジーの 製品カタログです。 半導体製造装置などの各種フィルム表面改質装置などに利用される「エキシマ 照射装置」をはじめ、「UV-LED照射装置」や各種測定器を掲載しています。 お客様の用途に応じて様々な製品をお選び頂けます。 【掲載内容】 ■会社概要 ■UVスペクトルと用途 ■技術原理 ■エキシマ光の効果 ■エキシマ照射装置 ■UV-LED照射装置 ■各種測定器 ■製品ラインアップ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • LED
  • 半導体・IC
  • その他 計測・測定機器
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【技術資料】湿式プロセスによるTiO2ゲル膜に対する光照射効果

薄膜形成プロセスの低温化に寄与!分解過程と結晶構造の変化について比較検討

耐熱温度の低いプラスチックなどの上に強固で緻密な膜を得るためには、 薄膜形成におけるプロセスの低温化が必要となります。 真空紫外(VUV)光を用いた光量子(フォトン)プロセスは、1光子あたりの エネルギーが、ほとんどの物質における原子の結合エネルギーよりも大きく なります。 また、照射による熱過程をともなわずに光子の作用のみで原子の結合を開裂 できるため、薄膜形成プロセスの低温化に寄与するものと期待できます。 本研究では、工業的に多用されているTiO2について、ゲル膜を熱処理した ときおよび、エキシマランプによるVUV光照射と熱処理を併用したときの 分解過程と結晶構造の変化について比較検討しました。 【掲載内容】 ■はじめに ■実験方法 ■結果と考察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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