スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）
より真実味のある入力データでスパッタリング解析をおこなうことが可能です！
『スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）』は、 PIC-MCCMの計算結果（ターゲットへの入射イオンのフラックス、エネルギー、 入射角）を参照し、SASAMALを用いて、スパッタリング粒子の放出フラックス や角度分布、エネルギーを計算するモジュールです。 粒子法を取り入れたプラズマ解析をおこなうPIC-MCCMで計算できる入射 イオンのデータを入力データとして用いることができ、より真実味のある 入力データでスパッタリング解析をおこなうことが可能。 また、入力方法もデータフォルダーの指定をするだけで簡単に取り込めます。 【特長】 ■スパッタリング粒子の放出フラックスや角度分布、エネルギーを計算する ■粒子法を取り入れたプラズマ解析をおこなうPIC-MCCMで計算できる 入射イオンのデータを入力データとして用いることができる ■より真実味のある入力データでスパッタリング解析をおこなうことが可能 ■入力方法もデータフォルダーの指定をするだけで簡単に取り込める ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ペガサスソフトウェア株式会社
- 価格：応相談
