更新日： 集計期間:2026年03月25日～2026年04月21日
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音波送受信を利用し、液体内の速度や方向を計測
当社で取り扱う「愛知時計 液体用超音波流量計」のご紹介です。 【特徴】 液体用超音波流量計は、液体の流量を非接触で測定する装置です。 音波送受信を利用し、液体内の速度や方向を計測します。 さまざまな液体（水、石油、化学薬品など）に対応可能です。 液体用超音波流量計は、工業プロセス、上下水道、廃水処理、エネルギー生産、製薬、食品産業などで使用され、流体の正確な計測やプロセス制御に貢献します 【取扱品番】 TRA40S ※長谷川機材株式会社が運営するプラント管工機材、住宅設備機器の事業者専用卸し・仕入れサイト「プラントナビ」にて販売中です。
圧力損失ゼロ！クランプオン式なので配管工事不要で、工事コスト大幅軽減！簡単設定で気体・流体の計測ができる超音波流量計
クランプオン式超音波流量計『G601』は、 配管工事を行わずに気体・液体の流量が測定できます。 コリレーション伝搬時間差方式を採用し、 ラム波トランスデューサで外乱に強く幅広いアプリケーションに対応します。 また、2チャンネル仕様のため2ヶ所同時計測が可能です。 【特長】 ■クランプオン方式超音波ガス流量計 ■ガス配管の外側にセンサを取り付けて流量測定 ■配管工事不要／工事コスト大幅軽減 ■圧力損失ゼロ／エネルギーコスト軽減／省エネ対策効果大 ■配管内挿入パーツ無し／メンテナンスコスト軽減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
海外製計測機器を自信をもって選定・お届け！多彩な超音波流量計を多数ラインアップ
当社では、(米)ダイナソニックス社製の『超音波流量計シリーズ』を 多数取扱っています。 小型・軽量の超音波トランジット流量計「TFXシリーズ」をはじめ、 超音波ドップラ流量計「DFXシリーズ」などをラインアップしています。 流体工業は、海外製計測機器を自信をもって選定・お届けしています。 【特長(TFXシリーズ)】 ■パイプの外側から簡単に取付可能 ■稼動部が無く、液体に触れないので破損がない ■キーパット付で小型･軽量の指示部（トランスミッタ） ■電源が選べる（AC、DC選択） ■出力標準装備4～20mADC、パルス出力×2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
手軽さとハイスペックを両立した次世代の超音波流量計！
超音波流量計は、配管の外側に検出器を設置するだけなので、配管の加工を必要としません。その為、工事費用を大幅に削減できるほか、圧力損失が無く、流体非接触なので純水や薬品等の計測にも適しています。 共通特長 ●最新DSPチップ搭載で信頼性が向上 ●自己診断プログラム等のユーザー補助機能も充実 ●正方行・逆方向の表示も可能 ●逆方向マイナス積算も設定可能 ●再現性、直線性に優れています ●気泡混入時の計測が向上しました SL1168P（ポータブルタイプ）特長 ●モニター・キーバッド一体型で持運び楽々 ●2GBのSDカードに計測データを記録できるデータロガー搭載 ●マグネット付きセンサーフレームで楽々設置 ●付属の検出器でφ25〜1200mmの配管口径に対応 ●リチュウムイオンバッテリ搭載で最大16時間の連続稼働が可能 SL1168（定置タイプ）特長 ●対話式キーパッドで設定が簡単 ●超小型・軽量で設置も容易に行える
配管の外側に取り付ける為、設置コスト減、非接液・非接触、ダウンタイム無、圧損無、稼働部品が無く長寿命です。
• 大口径、双方向流量測定 • 最大 8 項目のデータロギング • ModbusRTU または BACnetMS/TP over EIA-485;BACnet/IP デジタル通信対応 • SoloCUE ソフトウェア で USB 経由での設定とトラブルシューティング • レイノルズ数、超音波速度、温度補償 • 大型で見やすいグラフィック表示 • 堅牢なアルミ製のエンクロージャーで過酷な環境にあっても長寿命
直管部がいらず、エルボ管・フレキ管に直結可能。1:50のワイドレンジで各種燃焼機器の流量計測に活躍
超音波流量計『UX25s/32』は、装置周りのエルボ管や フレキシブル管に直結でき、省スペースでの設置が行えます。 流量範囲（実流量）は0.7～35m3/hのワイドレンジで、 ターンダウンの大きいバーナーのガス流量計測にも適しています。 【特長】 ■圧力センサ搭載／非搭載の2種類をラインアップ ■都市ガス、ブタン、プロパン、窒素、アルゴンの測定に対応 ■電池駆動タイプは配管から外さず簡単に電池交換が可能 ■単位パルス、4-20mADC、RS485(AC・DC電源仕様)など出力機能が豊富 ■東京ガス株式会社様との共同開発品 ※「PDFダウンロード」より本製品の情報も掲載したシリーズ製品の カタログをご覧いただけます。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
高精度・高機能と高い信頼性のすべてを兼ね備えたハイスペック 超音波流量計
超音波流量計は、配管の外側に検出器を設置するだけなので、配管の加工を必要としません。 そのため工事費が大幅に削減できるほか、工事に要する時間を大幅に短縮できます。 また、非接触測定ができ、腐食性流体も計測可能。食品などの流体も衛生的です。 主な特長 ●大口径φ3000mmまで1つの検出器で対応可能 ●最新DSPチップを搭載で精度と信頼性が向上 ●自己診断プログラム等のユーザー補助機能も充実 ●対話式キーパッドで設定が簡単 ●小型・軽量で設置も容易に行える ●正方向・逆方向の表示も可能 ●逆方向マイナス積算も設定可能 ●再現性、直線性に優れています ●気泡混入時の計測性能が向上しました ●音速不明流体も計測可能 ■ご使用上の注意 ・配管内が満水であること。 ・流体中に気泡やゴミなどの浮遊物質の混入がないこと。 ライニング管などにご使用の場合はご相談下さい。 ・指示計（変換機）は、直射日光の当たらない場所に設置して下さい。 ・設置場所付近に送電線や鉄道が走っている場合はご相談下さい。 ・落雷が多い場所に設置の場合は、避雷器などをご使用下さい。
超低速1～150rpm軸受診断をオンラインで実現。AE計測値のIoT化やビッグデータの活用に適します
『MK-71』は、新開発の独自信号処理により軸受異常時のAE信号を抽出・ パラメーター化し、診断結果を出力するオンラインAE診断計です。 1～150rpmの低速回転軸受の診断が可能。 低コストで常時監視を実現します。 また、ポータブル低速回転軸受診断器との連携で詳細解析ができます。 【特長】 ■独自信号処理技術でAE信号をパラメーター化 ■算出した診断パラメーター値をDC4～20mAで出力 ■低コストで常時監視を実現 ■AE計測値のIoT化やビッグデータの活用に好適 ■ポータブル低速回転軸受診断器との連携で詳細解析が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
配管の外側から管内の流量を計測でき、配管工事が不要です。
超音波流量計は、配管の外側から管内の流量を計測できます。取付けはセンサを配管外面にクランプオンするだけなので、配管工事が不要です。小型・軽量のポータブルタイプもご用意しましたので、必要な時に、必要な場所で、容易に流量を測定することができます。空調設備・給排水設備の点検に最適です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ict社 挿入型超音波流量計 ULSONA DT(ウルソナDT)
【特徴】 1.設置コスト不要 既存のボール弁に取り付ける場合、断水や工事も全く不要で簡単に設置。 2.調整・校正の容易さ 設置されたULSONA DTの調整・校正は全て自動化されております。面倒な調整や校正作業もユーザーがボタンひとつで解決。 3.最新の超音波テクノロジーで高精度 最新のテクノロジーによりトランジットタイム計測精度は飛躍的に向上。流速分解能が0.003m/secの高分解能で、微小流量まで正確に測定可能。 4.設定 測定に必要なパラメータの設定は指示部のLCD画面を通して対話式で簡単設定。 5.温度測定機能 ULSONA DTは水温測定機能も有しております。±1℃の精度で常時温度監視も可能。 6.充実した出力 パルス：正方向流量パルス、負方向流量パルス、エラー出力 アナログ：流量(4-20mA)、流体温度(DC 0-5A) データ保存：SDカード(csv方式) コンピュータ通信：MODBUS監視室テムに直結可能 7.バックアップ機能 DT2又はDT3の場合、センサに異常があっても残りのセンサで計測を継続可能。
超音波技術を使用して、ガスの速度や流量を正確に計測
当社で取り扱う「愛知時計 エアー用超音波流量計」のご紹介です。 【特徴】 エアー用超音波流量計は、空気（ガス）の流量を非接触で測定するための装置です。 超音波技術を使用して、ガスの速度や流量を正確に計測します。 エアー用超音波流量計は、空気圧縮機、空調システム、ガス供給システム、工業プロセス制御、環境モニタリングなど、さまざまなアプリケーションで使用されます。 非侵襲的で高精度な測定を提供し、エアーの使用量や流量を効果的に管理するのに役立ちます。 【取扱品番】 TRX25B-C/5P TRX25D-C/5P TRX40B-C/5P TRX40D-C/5P TRX50B-C/5P ※長谷川機材株式会社が運営するプラント管工機材、住宅設備機器の事業者専用卸し・仕入れサイト「プラントナビ」にて販売中です。
既設流量計の交換、仮設調査、配水ブロック化など！さまざまな使用例をご紹介
アイシーティーの超音波流量計の使用例をそれぞれご紹介いたします。 既設流量計の交換では、故障している既設流量計で断水できない配管へ 不断水で設置できます。 また、バッテリー（DC9V～DC26V）で動作する為、通常計測していない 消火栓、空気弁などの配管の仮設調査や、配水ブロック化に於ける 流量計の設置など、さまざまな使用方法があります。 【使用例】 ■既設流量計の交換 ■仮設調査 ■配水ブロック化 ■漏水調査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
配管に挟んでネジを締めるだけ！ 配管加工不要。コンパクトサイズの簡易取付け表示器一体型 超音波式流量計
簡易取付け表示器一体型 超音波式流量計「UA102シリーズ」は、超音波式流量計でありながら、低価格、コンパクト設計、簡単取付けを実現しました。 配管の外側に検出器を設置するだけなので、配管の加工を必要としません。 主な特徴 ・取付け所要時間は約1分！ ・最小4mmφ～計測可能！ ・流量計本体の取付け簡単で既設配管への施工が不要 ・表示器一体型のコンパクト設計 ・設置スペースを殆ど必要としない ・清水・海水・油・薬品等にも使用可能 ・非接液のため、メンテナンスフリー ラインナップは4タイプをご用意 1 表示器一体型 UA102シリーズ 2 表示器分離型 UA102-Sシリーズ 3 表示器分離型高温 UA102-HiTシリーズ 4 表示器分離型 UA102-Saniシリーズ 動作原理 超音波が液体中を伝搬する時、流れがある場合は静止状態と比較して伝搬時間が変化します。 超音波信号が移動する液体を介して上下流の検出器／トランスデューサーに送受信される時、上流と下流の通過／伝搬時間に差が生じます。 この生じた時間差から流速／流量を演算し、指示・出力させます。
ユーザーニーズ応じた低消費電力型で測定をより簡単に
従来の超音波流量計に比べ、小型・軽量・安価です。 【特長】 ●多少の反射粒子や気泡混入液でも測定でき、経年変化もほとんどなく定期的な校正も必要ありません。 ●センサ一体型流量計とDTTS型流量計は、専用センサを使用しますので、取付が簡単・安価です。 ●DTTN型流量計は25〜2500Aの配管を同一で計測できまう。 ●出力は4〜20mA、パルス（周波数／TTL）が標準装備です。 ●積算計は正流量・逆流量・ネット流量の3種類から選定できます。 ●設定・校正にはパソコン〜流量計間のコネクタ及びソフトウエアが必要です。適用OSはWindows98、2000、XPです。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログダウンロードしてください。
既存のボール弁に取り付ける場合、工事や断水が全く不要！業界最高レベルの分解能を持ち微小流量まで正確に測定が可能！
独自計測アルゴリズムにより一段と高精度化されたウルソナDTシリーズです！ 【特徴】 ■設置コスト不要！ ■調整・校正の容易さ ■最新の超音波テクノロジーで高精度 ■温度測定機能 ■充実した入出力 ■バックアップ機能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
配管の外から管内の体積流量を測定できる伝播時間差方式の可搬型超音波流量計
当社では、超音波の通る均質な流体であれば、上下水、工業用水、農水、 海水、油などさまざまな測定対象の流量を計測可能なポータブル超音波流量計 『ポーターフローX』を取り扱っております。 配管は、鋼管、ステンレス管、鋳鉄管、塩ビ管、FRP管など数多くの材質に 対応可能です。 【測定対象】 ■流体の種類：上水、下水、工業用水、農水、海水、純水、油など ■濁度：10000度(mg/L)以下 ■流速：±0.3～±32m/s ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
設備の稼働中に手早く測定できる！ハンディタイプの超音波流量計
株式会社アイ・ソーキでは、計測機器のレンタルを行っております。 『Portaflow-C』は、バッテリ駆動でいつでも手軽に測定可能なポータブル形超音波流量計です。配管の外側から検出器を取り付けるクランプオン形なので、測定時に設備の稼働を止める必要はありません。わずか1kgのハンディタイプ。しかも検出器は、ベルトで配管に取り付けられるので、必要な時に必要な箇所をすぐに測定できます。 【特長】 ■バッテリ駆動でいつでも手軽に測定可能 ■携帯できる約1kgのハンディタイプ ■検出器はベルトで簡単に着脱可能 ■消費熱量演算機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
食品、薬品、半導体など微小流量に幅広く対応！ 最新技術を惜しみなく投入したTITANの最新鋭流量計です。
「atrato アトラト」は、内部に突起物や駆動部が無いストレートチューブを用いた流量計です。 製薬、化学、フード＆ドリンク、工業研究室など、幅広い分野に対応することができます。 機能的なデザインＴＩＴＡＮ独創の最新技術とノウハウにより、最適化されたプログラムと緻密な設計により流量範囲全域で安定した計測を実現しました。
外付けできる流量計で蒸気を計測、工場の省エネ対策・エネルギーマネジメントを支援。
化学プラント・工場では、すでに電気エネルギーについては省エネへの取り組みや見える化が進んでおり、これ以上の削減効果が望みにくいのが現状です。 一方で、蒸気エネルギーについては電気と比較して見える化・測定が難しく、省エネへの取り組みが遅れています。 蒸気の熱エネルギーは工場の様々な場面で利用されており、エネルギーロスの削減や、さらなる省エネ対策を実施するためには、熱エネルギーの活用・最適化が重要になります。 クランプオン式蒸気用超音波流量計を導入することで、蒸気の熱エネルギーの測定が簡単になり、見える化、エネルギーマネジメントによる省エネ対策を可能にします。 さらに、エネルギーマネージメントシステムを構築することで化学プラント・工場全体のエネルギー利用の最適化ができるようになり、さらなる省エネ対策やカーボンニュートラルへの取り組みを可能にします。
VersaFlow クランプオン超音波流量計は、プロセス測定ラインを切断することなく流量計測はどこでも可能。
VersaFlow クランプオン超音波流量計は、お客様がプロセス測定ラインを切断してインライン メーターを設置することを望まない、またはできないアプリケーション向けに設計されています。 DN15から DN4000 (1/2 インチから 160 インチ) のパイプライン サイズの構成で利用できるクランプオン設計は、パイプを通る液体の流量を測定するためのコスト効率の高い手段を提供します。200˚C (392˚F) まで耐えられる設計により、この技術は固体またはガス含有量が限られている液体に最適です。 パイプの外側に取り付けるため、測定対象のプロセスとの材料の適合性やパイプライン内の圧力について心配する必要はありません。
蒸気の計測からはじめる食品工場の省エネ対策・エネルギーマネジメント
食品工場では蒸気エネルギーが大量に利用されています。電力は省エネ対策やエネルギーの見える化などの取り組みが進んでいる一方で、蒸気や熱を活用した省エネルギー対策はこれほど進んでいません。 省エネ対策が進まない理由の一つに電力と比較して蒸気は計測が難しく、省エネ効果が把握しにくいことがあげられます。 工場で使用される蒸気は、ボイラで製造された後、配管からの放熱ロスや蒸気漏れ等により損失が生じています。 蒸気用超音波流量計は工事不要で簡単に取付けできるため、流量計増設工事時等の設備停止がなく、今まで導入が難しかった工場や設備における蒸気流量の「見える化」を可能にします。 さらに、エネルギーマネージメントシステムを構築することで食品工場全体の省エネ、エネルギー利用の最適化を実現します
NINJAは補修弁に取り付けられるように設計された直接挿入型超音波流量計です。そのため断水や工事も全く不要で簡単に設置可能！
NINJAは補修弁に取り付けられるように設計された直接挿入型超音波流量計です。センサーブロックに取り付けられた１対の超音波トランスデューサによりトランジットタイム計測方式で中心流速を測定しさらに平均流速を求め流量を算出します。 【特徴】 ■設置コストが不要！ ■調整・校正の容易さ ■最新の超音波テクノロジーで高精度 ■温度測定機能 ■充実した入出力 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
断水や工事も全く不要！簡単に設置可能な挿入型超高精度超音波流量計
『NINJA』は、補修弁(ボール弁)に取り付けられるように設計された 直接挿入型超音波流量計です。 センサーブロックに取り付けられた1対の超音波トランスデューサにより トランジットタイム計測方式で、中心流速を測定しさらに平均流速を求め 流量を算出します。 既存のボール弁に取り付ける場合、断水や工事も全く不要で簡単に 設置できます。 【特長】 ■設置コストがかからない ■調整・校正の容易さ ■超音波テクノロジーで高精度 ■温度測定機能 ■充実した入出力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
温度補正付液体用小型カルマン渦流量計、接液部が"New PFA"の液体用超音波流量計をご紹介！
当社で取り扱うカルマン渦流量計／超音波流量計の『MODEL FML-300 SERIES/FML-500』をご紹介します。 液体用小型カルマン渦流量計「MODEL FML-300 SERIES」は、 温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差を軽減し、 幅広い流量レンジ（0.3～2.5L/minから10～100L/minまで）に対応します。 また、液体用超音波流量計「MODEL FML-500」は、 管内に障害物が無いストレート構造で、対象流体が水・純水となっております。 【標準仕様（一部）】 ＜MODEL FML-300 SERIES＞ ■対象流体：水、純水、薬液 ■精度 ・FML-301/302/303/304：±2％F.S.（25℃） ・FML-305：±3％F.S.（25℃） ■再現性：±0.5％F.S ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2mL/min～15L/minの幅広い流量レンジに対応！食品、薬品、半導体などの微少流量に。
『プロセスアトラトシリーズ』は、幅広い流量レンジに対応した インライン式超音波式流量計です。 プログラムの最適化と緻密な設計により流量範囲全域で安定した計測を実現。 使い易さと拡張性を両立し、化学薬品や半導体などの微少流量の制御や、 実験室のアプリケーションに活躍します。 【特長】 ■本体は耐食性に優れたPEEK材を採用 ■シンプルな構成で機械的トラブルや故障を低減し、安定した性能が持続 ■PCとケーブル接続でき、簡単操作で各種設定を変更可能 ※詳しくはお問い合わせください。 ダウンロードより関連シリーズが掲載された「総合カタログ」をご覧いただけます。
ict社 直接挿入型超音波流量計NINJA ニンジャ
NINJAは補修弁(ボール弁)に取り付けられるように設計された直接挿入型超音波流量計です。 【特徴】 1.設置コスト不要 既存のボール弁に取り付ける場合、断水や工事も全く不要で簡単に設置できるのが最大の特徴。 2.調整・校正の容易さ 設置されたNINJAの調整・校正は全て自動化されております。面倒な調整や校正作業もユーザーがボタンひとつで解決。 3.最新の超音波テクノロジーで高精度 最新のテクノロジーによりトランジットタイム計測精度は飛躍的に向上。流速分解能が0.003m/secの高分解能で、微小流量まで正確に測定可能。 4.設定 測定に必要なパラメータの設定は指示部のLCD画面を通して対話式で簡単設定。 5.温度測定機能 NINJAは水温測定機能も有しております。±1℃の精度で常時温度監視も可能。 6.充実した出力 パルス：正方向流量パルス、負方向流量パルス、エラー出力 アナログ：流量(4-20mA)、流体温度(DC 0-5A) データ保存：SDカード(csv方式) コンピュータ通信：MODBUS監視室テムに直結可能
超音波の通る均一な流体であれば、上下水、工業用水、農水、海水、油などさまざまな測定対象の流量が計測できます。
■ 見やすい大型LCD表示画面 英語、中国語、ドイツ語などの表示も可能 ■ コンパクトなハンディタイプ ■ 消費熱量演算機能付き T1、T2の温度を測定して消費熱量を演算します。 ■ バッテリ駆動連続12時間動作 満充電後、12時間連続動作できます。 ■ SDカードで測定データ保存 瞬時値、積算値、エラー情報を保存します。 ■ PC接続に便利なUSBポート付き 瞬時値、積算値等SDカードへ保存したデータをPCへ伝送します。
ict社 内接挿入式超音波流量計 ULSONA ST(ウルソナST)
【特徴】 1.設置コスト不要 既存のボール弁に取り付ける場合、断水や工事も全く不要で簡単に設置。 2.調整・校正の容易さ 設置されたULSONA STの調整・校正は全て自動化されております。面倒な調整や校正作業もユーザーがボタンひとつで解決。 3.最新の超音波テクノロジーで高精度 最新のテクノロジーによりトランジットタイム計測精度は飛躍的に向上。流速分解能が0.001m/secという業界最高レベルの分解能を持ち微小流量まで正確に測定可能 4.設定 測定に必要なパラメータの設定は指示部のLCD画面を通して対話式で簡単設定。 5.温度測定機能 ULSONA STは水温測定機能も有しております。±1℃の精度で常時温度監視も可能。 6.充実した出力 パルス：正方向流量パルス、負方向流量パルス、エラー出力 アナログ：流量(4-20mA)、流体温度(DC 0-5A) データ保存：SDカード(csv方式) コンピュータ通信：MODBUS監視室テムに直結可能
医療技術、バイオテクノロジー、製薬産業、化学産業、半導体産業などの厳しい衛生基準の要求される分野にピッタリの流量センサ。
SONOFLOW CO.55は、フレキシブルチューブ内の液体の流速を迅速に検出できる非常にコンパクトな超音波流量計です。チューブを簡単にセンサに挟み込み、スムーズな計測を可能にします。その構造により、医療技術、バイオテクノロジー、製薬産業、化学産業、半導体産業などの厳しい衛生基準が要求される分野での使用に適しています。SONOFLOW CO.55は、機械や装置の内蔵部品として機能するように設計されています。制御システムへの電気的組込みも簡単に行えます。センサには、設定可能な電流とパルス出力もあります。インターフェースにより、パラメータ化、キャリブレーション、測定値の読み出しを容易に行えます。この方法は、電圧、スイッチング出力、材料特性など、個々のチューブサイズごとに適用できます。お客様の希望やニーズに合わせたカスタム制作も可能です。
半導体、医療、製薬ライン等幅広く対応！ PFAチューブ接続 Metra Flowシリーズ
「Metra Flow」は、接液／接続にはPFAチューブを採用しているので、シンプルなデザイン、高精度な流量計測に加え、その耐食性の高さも魅力のひとつです。 主に半導体、医療、製薬ライン等に使用されています。 USBポートを介することで、流量計本体のより詳細な設定をすることも可能です。（低流量カットオフや、外部出力の設定等） ■主な特徴 ・コンパクトでシンプルなデザイン ・内部は突起物の無いストレート構造 ・PFAチューブ接続（1/4〞又は1/8〞） ・広い流量レンジ（20～1000cc/min 又は 100～5000cc/min) ・直線性：0.5％F.S. ・再現性：±0.1％ + ±0.02％F.S
