4軸ステージ(xy軸) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

ガントリ型　4軸ステージ

ガントリ型　4軸ステージ

石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 　300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 　高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 　低く抑えることができ、高速での移動でも 　テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。