XP Power 半導体製造装置規格 4.5kW AC/DC電源
半導体製造装置に求められる、瞬時入力電圧低下保護に対応した、4.5kW AC/DC電源【HPD4K5シリーズ】
XP Power HPD4K5シリーズは、半導体製造装置規格対応(SEMI-F47)の3相入力 4.5kW出力 AC / DC電源です。 外部信号(0~5VDC)により、出力電圧を10~100%の範囲でプログラム可能。また、リモートON/OFF、電流モニター、障害レポート、電源OK信号も備えています。 これら機能を、高密度(サイズ:15.0”x 4.25”x 6.5”)ユニットに納め、半導体製造装置をはじめ、バーンイン、レーザー、モーターコントローラー、試験装置など、幅広い用途に最適です。 ※詳細は資料をダウンロードして下さい。
- 企業:株式会社ジェムコ
- 価格:応相談