更新日： 集計期間:2026年09月16日～2026年10月13日
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既存のトライアック壁面調光システムをそのままLEDに置き換え！
AKLシリーズ絶縁型LEDドライバ・モジュールは、既存のトライアック調光システムをそのままに、白熱球/ハロゲン球をLEDに置き換えるソリューションです。汎用のLEDドライバを使った場合にはフルレンジ調光ができない、ちらつきが生じるといった問題が発生することがあります。AKLシリーズはこれらの問題を解決し、既存の調光システムをそのまま利用できる画期的なLEDドライバ・モジュールです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により､照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています｡ オペレータはフォトマスクとウエハをセットし､あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで､ウエハ搬送からフォトマスクとの位置合わせ､露光までをオートで行うことから､オペレータや使用経験に依存しない､安定した精度での露光が可能です｡
