Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ
【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ
光学式リニアエンコーダを内蔵した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
