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ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体で、高強度、耐摩耗性、化学的安定性などに応えます！
ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体です。 【特徴】 ・各種産業用構造部品として幅広く利用 ・吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体 ・優れた電気絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性 ・半導体やFPD製造用部材としての用途が拡がっている ・酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有する 【ADSの用途】 ・エッチング、アッシング装置用部品 ・CVD装置用部品 ・ウェーハ研磨用ラッププレート ・ウェーハ搬送用アーム ・各種大型製品や複雑形状品の対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせください
インシュレーターパーツに欠かせない高温下における絶縁破壊電圧を他社に先駆けて圧倒的に高めた緻密質アルミナのご紹介です。
アルミナセラミックスは、絶縁体であってもその電圧耐力には当然 限界がある中で、西村陶業社が誇るアルミナセラミックス N－9H N－999S は、0.3mmという薄さで6000V以上でも絶縁破壊が起きない 高絶縁耐力を誇る超緻密質アルミナセラミックスです。 また、体積抵抗率も常温下のみならず100℃を超す高温化でも その高い低効率を保持しております。 プロセスの高温化により使用している母材の耐性に限界がある、 高温化での絶縁破壊に耐えうるセラミックス、 電圧が高くより安全かつ高純度な絶縁体が必要、といった 高負荷環境に非常に適しております。 通常のアルミナセラミックスでは粒子構造が焼結助剤であったりボイドがあったりと粒子間同志が決して緻密体では無い事に対し、この高絶縁耐力アルミナセラミックスは粒子構造が超緻密質である事からアルミナセラミックス本来の特性を最大限に活かしている事が特徴です。 まずはお気軽にお問い合わせください。
F系プラズマ雰囲気下、過酷な条件に耐える強者！
サファイアに近い特性を持った多結晶アルミナです。 高純度であると同時に気孔がほとんど無い緻密な焼結体です。 また、結晶粒径の揃った均一な組織構造を持つため、プラズマ雰囲気の過酷な環境に耐える事が出来ます。 【特徴】 ・高純度（Al2O3 ; 99.97%） ・ハロゲンプラズマへの高耐食性 ・アルミナの理論密度（3.99g/cm3） ・デポ膜が剥がれにくい ※詳しくはお問い合わせください
