エリアスキャナのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
イプロスは、 製造業 BtoB における情報を集めた国内最大級の技術データベースサイトです。

エリアスキャナ(検査) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

1~2 件を表示 / 全 2 件

表示件数

光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」

振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管理、ウエハ検査用途に。

『Flying Spot Scanner』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲(~φ80)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表面の欠陥検査ができます。また、入射・反射が同軸光学系のため、光沢面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】  ■広範囲のエリアスキャン ~φ80mm  ■高分解能 XY6.5um~ Z 1nm~    最小ビームスポット径13um 分光干渉方式による高Z分解能  ■XYステージ不要でステージ振動無し    ガルバノミラーによるエリアスキャン  ■開発コスト低減、開発納期短縮    装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)あり  ■用途    FPD LCD用ガラス基板の厚み測定、ウエハのワープ(歪み)測定、レンズ形状検査、    PCBボード形状検査、小型精密部品の高さ測定など ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • 光学測定器
  • その他検査機器・装置

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録

光学式エリアスキャナFlying Spot Scanner310

12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響無しで高速測定。オンライン、オフライン、ウエハ検査用途に。

Flying Spot Scanner310は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲(~φ310)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表面の欠陥検査ができます。また、入射・反射が同軸光学系のため、光沢面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】  ■広範囲のエリアスキャン φ310mm  ■高分解能 XY20um    ビームスポット径40um 分光干渉方式による高Z分解能  ■XYステージ不要でステージ振動無し    ガルバノミラーによるエリアスキャン  ■開発コスト低減、開発納期短縮    装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)あり  ■用途    12インチウエハのウエハ全面厚み測定、貼り合わせウエハ厚み測定、ボイド検査 ※詳しくは資料をご覧ください。

  • 膜厚計
  • 三次元測定器

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録