光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」
振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管理、ウエハ検査用途に。
『Flying Spot Scanner』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲(~φ80)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表面の欠陥検査ができます。また、入射・反射が同軸光学系のため、光沢面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■広範囲のエリアスキャン ~φ80mm ■高分解能 XY6.5um~ Z 1nm~ 最小ビームスポット径13um 分光干渉方式による高Z分解能 ■XYステージ不要でステージ振動無し ガルバノミラーによるエリアスキャン ■開発コスト低減、開発納期短縮 装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)あり ■用途 FPD LCD用ガラス基板の厚み測定、ウエハのワープ(歪み)測定、レンズ形状検査、 PCBボード形状検査、小型精密部品の高さ測定など ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業:プレシテック・ジャパン株式会社
- 価格:応相談