GasShield Sandwich Filter Series
耐腐食性・耐熱性に優れた金属エレメントにより、高温460℃に対応!
『GasShield Sandwich Filter Series』は、設置スペースに制約ある 環境下に適した耐食性に優れた高捕獲性能・低圧損フィルターです。 ガスフィルター業界トップクラスの 0.0015μm(1.5nm) 9LRVの高捕獲性能なほか、 先進プロセスの特殊ガスを始め、液体・固体ソースの気化ラインにも適しています。 耐腐食性・耐熱性に優れた、金属エレメントにより、高温460℃に対応しており、 独自製法により、従来比25%の低圧力損失を実現しております。 【ラインアップ】 ■1.125" C-Seal ・材質:SUS 316L ・Alloy 22 ■1.125" W-Seal ・材質:SUS 316L ・Alloy 22 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:株式会社テクメイション
- 価格:応相談