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ガラスエッチング加工
フォトファブリケーションを中心的技術として、 マイクロエレクトロニクス製品や光学製品をはじめとする様々な分野での 試作・開発に貢献するフォトプレシジョン社 『ガラスエッチング加工』のご案内です。 ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で腐食させ 溝や段彫り加工などを施す技術 ■□■特徴■□■ ■基板材として、石英や、BK7などのホウ珪酸ガラスが使用される ■フォトリソなどでパターニングされたメタル薄膜をマスクとして 使用するので、高精度のパターン形成ができる ■深さ方向の寸法制御も可能 ■薬品による腐食作用なので、表面は比較的滑らかに仕上がる ■その他詳細については、カタログダウンロード もしくはお問い合わせ下さい。
深さ最小0.1μ単位の加工精度。溝加工、色入れ、蒸着パターンなど、 各種ガラスの加工実績があります。
ウェットエッチングによりガラスに微細な溝加工を行い、高精度のパターンを形成します。 パッド印刷の原版となるガラス凹版や、レチクル、最近ではマイクロ流路や光学センサー部品等、様々な用途でご採用いただいております。 弊社の強みは、ガラスにおいて様々な素材に対応した加工ができること、そして独自のノウハウで深さ10μ以上の溝加工を比較的安価にご提供できることです。 μ単位の高精度のウェットエッチングを得意としています。 また、蒸着設備を保有しているため、ガラスに蒸着した金属のパターンエッチングも行っております。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
