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ステップ応答 1.5msecと約2倍！高速サーボ弁の導入、油圧サーボシステムの構築、コンタミ対策に好適
直動型 高速サーボ弁『DAシリーズ』は、 デュアル・ハルバッハ・マグネット・アレーによる強磁界を得て、 その環状空間に差動型ボイスコイルを配置することで従来の倍以上の推力を実現。 応答性・耐コンタミ性に優れており、 安定した油空圧の流量制御が行えます。 高速サーボ弁の導入や、油圧サーボシステムの構築、 そしてコンタミ対策を行いたい方に好適な製品です。 【特長】 ■日・米にて特許取得、ドイツにて特許申請中 ■作業油汚染度「NAS1638 10級」まで使用可能 ■ステップ応答：1.5msec ■周波数応答（ゲイン－3dB）：900Hz ■定格流量：10・20・40・60L/min ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ムービングコイル駆動による精密制御！軽量案内弁による高速応答を実現
当社で取り扱う『VCM駆動（直動型）空気圧サーボ弁』をご紹介します。 電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。（精密位置決めステージ等） 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸受による低誤差、長寿命 ■少ない内部リーク ■軽量案内弁による高速応答を実現 ■デジタルセンサまたはアナログセンサによる位置制御(流量制御弁) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヒステリシス0.1％以下と高精度を実現！母機の再現性を大幅に向上させることが可能
『LSV(H)G-EHシリーズ』は、「高精度・簡単・便利」を直動形で 実現したアンプ搭載形リニアサーボ弁です。 直流24V電源を供給し、かつ指令信号を入力するだけで油圧制御システムの 高精度化が実現可能。 その他に、2種類のパイロット弁が選択可能な「汎用型」や、スプールと スリーブにマッチング加工を施している「高性能型」もご用意しております。 【特長】 ■高精度 ■高応答 ■簡単 ■便利 ■優れた耐コンタミ性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シンプルな構造により、抜群の耐振性！耐コンタミ性についても大変優れています
『LSVGシリーズ』は、ムービングコイルとスプールおよび位置センサを 一列に結合した極めてシンプルな構造の直動形高速リニアサーボ弁です。 使用油の汚染度管理がNAS1638 10級まで使用可能なため、作動油管理に 要する費用を大幅に削減することが可能。 その他に、大流量サーボ弁の「2段形高速リニアサーボ弁」や、当製品を 駆動するために使用する「リニアサーボアンプ」もご用意しております。 【特長】 ■高精度 ■高応答 ■抜群の耐振性 ■優れた耐コンタミ性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
