1～6 件を表示 ／ 全 6 件
1～200 NL/min定格流量の空気圧サーボ弁。高応答性、高精度に小型構造。ロボット、半導体製造、アニマトロニクスに最適！
『空圧サーボ弁 J814シリーズ』は、3方弁もしくは4方弁に対応した高トルク、高応答、高精度な小型空気圧サーボ弁です。 指令信号対制御圧力の再現性が良いので、圧力、力、位置や振動の制御に適しています。真空状態を作り出すこともできます。 代表的なアプリケーションはロボット、半導体製造装置、アニマトロニクス、アクティブ除振装置、荷重試験機、内圧制御装置、押し付け力制御装置などです。 【特長】 ■トルクモータを用いた1段型ノズルフラッパ弁 ■高分解能と低ヒステリシス ■小型で軽量、高応答性 ■摺動部がなく頑強で長寿命設計 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
高速応答（400Hz以上）！摺動部分がなく長寿命な空気圧サーボ弁
『AS110シリーズ』は、電気－機械変換部にトルクモータを用いた ノズルフラッパ型3方弁です。 トルクモータの可動部であるアマチュアはフラッパと一体構造となっており フレキシブル管に支持されています。コイルに電流を印可すると、 上下磁極との磁気的関係により電流の極性と大きさに応じたトルクが発生し アマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化する ことによって空気圧を制御しています。 【特長】 ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
摺動部分がなく長寿命！当社が取り扱っている空気圧サーボ弁をご紹介
『AS100シリーズ』は、電気－機械変換部にトルクモータを用いた ノズルフラッパ型サーボ弁です。 コイルに電流を印可すると、上下磁極との磁気的関係により電流の 極性と大きさに応じたトルクが発生し、アマチュアを傾けます。 また、ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化することに よって空気圧を制御しています。 【特長】 ■高速応答 ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■摺動部分がなく長寿命 ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
装置の小型化にも貢献！
電気-機械変換部にトルクモータを用いた『ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁』の超小型3方弁のご紹介です。 通常のノズルフラッパ型空気圧サーボ弁と駆動原理は同様次の通りです。 コイルに電流を印可すると、上下磁極との磁気的関係により電流の極性と 大きさに応じたトルクが発生し、アマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化することによって空気圧を制御しています。 弁を小さくすることで、搭載する装置全体の小型化にも貢献でき、 また小型のロボット等アニマトロニクス向けにも適していると考えます。 【特長】 ■高速応答(400Hz 以上) ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■摺動部分がなく長寿命 ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ムービングコイル駆動による精密制御！軽量案内弁による高速応答を実現
当社で取り扱う『VCM駆動（直動型）空気圧サーボ弁』をご紹介します。 電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。（精密位置決めステージ等） 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸受による低誤差、長寿命 ■少ない内部リーク ■軽量案内弁による高速応答を実現 ■デジタルセンサまたはアナログセンサによる位置制御(流量制御弁) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヒステリシス0.1％以下と高精度を実現！母機の再現性を大幅に向上させることが可能
『LSV(H)G-EHシリーズ』は、「高精度・簡単・便利」を直動形で 実現したアンプ搭載形リニアサーボ弁です。 直流24V電源を供給し、かつ指令信号を入力するだけで油圧制御システムの 高精度化が実現可能。 その他に、2種類のパイロット弁が選択可能な「汎用型」や、スプールと スリーブにマッチング加工を施している「高性能型」もご用意しております。 【特長】 ■高精度 ■高応答 ■簡単 ■便利 ■優れた耐コンタミ性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
