MSS膜型表面応力センサチップ
ターゲットとしているガスや匂い分子の存在を検出！磁気トルク検出実験も可能
『膜型表面応力センサチップ』は、シリコンメンブレンとピエゾ抵抗を持つ 梁で構成されるMEMSセンサーです。 外部の力により発生するわずかなメンブレン変形を、ピエゾ抵抗を使って検出。 [人工臭覚への応用] コーティング膜がVOCを吸収すると、受容体層は表面応力を生じ、膜を変形させ ピエゾ抵抗体の抵抗変化を引き起こし、この変化をモニタすることで、 ターゲットとしているガスや匂い分子の存在を検出します。 [磁気トルク検出への応用] 有機導電体や超伝導体の直流磁界やパルス磁界における磁気トルク検出実験が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社NanoAndMoreジャパン 本社
- 価格：10万円 ~ 50万円
