チップ移載装置『ACT-1000』
把持ピックアップ方式による新型チップソーター!
『ACT-1000』は、マニピュレータハンドによる微細チップ用オート マチックソーターです。 把持ピックアップ方式と吸着ピックアップ方式に対応しており、 表面非接触ピックアップ機構により微小チップ(100μm以下)や ウェハー to トレー、トレー to トレー、ウェハー to GEL Pack等の チップ移載にも対応しています。 化合物半導体等の脆弱チップのハンドリングに最適な製品です。 【特長】 ■把持ピックアップ方式と吸着ピックアップ方式に対応 ■表面非接触ピックアップ機構により微小チップ(100μm以下)にも 対応可能 ■ウェハー to トレー、トレー to トレー、ウェハー to GEL Pack等の チップ移載に対応 ■化合物半導体等の脆弱チップのハンドリングに最適 ■8インチウェハー対応で巾600mmの超コンパクト設計 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:アクテス京三株式会社 技術センター
- 価格:応相談