高純度薬液用、オールPTFE脂製チャッキバルブ
薬液や純水ラインでの逆流防止に!接液部が全てPTFEなので様々な腐食性流体に対応しております。
半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁(チャックバルブ)です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。
- 企業:ゲミュージャパン株式会社
- 価格:応相談
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薬液や純水ラインでの逆流防止に!接液部が全てPTFEなので様々な腐食性流体に対応しております。
半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁(チャックバルブ)です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。
軽量・薄型で、流れ方向を制御できるスグレモノ。全面テフロン(PFA)ライニング仕様。チャッキ弁 フッ素樹脂 バルブ
短面間で機械的な開閉ができるウェハー式スイングチャッキバルブ。 本体内面の材質をすべてPFAにすることで、圧損をさらに減らした上で、耐久性と清浄性を 大きく高めました。 フェルールでの取付ご希望の場合にはSF-LFAにて変換してご使用ください。 【特長】 ■全面接液テフロン(PFA)ライニング ■確かな耐久性+耐薬品性 ■技術力を結集した成型加工 【付属品】 ■PTFE抑えフランジ(~100Aまで標準) 仕様 接液部材質 : PFA 外装材質:SCPH2/SCS 主な適合流体:超純水・純薬品・薬液排水・高温水・海水など