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ドライ洗浄サービス(洗浄サービス) - 企業1社の製品一覧

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ドライ洗浄サービス

お客様のコスト削減に大きく貢献!MOCVD装置の構成部品をドライ洗浄することで再利用可能

株式会社エム・エー・シーテクノロジーの洗浄再生事業部では、 『ドライ洗浄サービス』を行っております。 市場が高まるGaNパワーデバイス・LED製造装置に使用している 構成パーツを、母材を傷めることのないサービスを展開。 MOCVD装置の構成部品をドライ洗浄することで再利用することが 可能になり、お客様のコスト削減に大きく貢献しています。 【対象材質品目】 ■石英 ■SiCコートカーボン ■SiC ■サファイア ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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