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チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現
『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。 新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGの ねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、 反応室を汚染しにくい構造です。 シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を 実現しました。 【特長】 ■バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能 ■低真空から高真空まで圧力調整が可能 ■新開発のシートリング機構を採用 ■高耐久：全開・全閉動作 300万回 ■独自ヒーティングによる内部副生成物の低減 ■副生成物の多いプロセスへ優れた適応性を発揮 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
異なる流体の混合を防止！絶対に混ぜたくない、または高い衛生・安全性を求める工程でご使用いただけます。
『漏れ検知バタフライバルブ』は、異なる流体の混合を防止できるほか、 クロスコンタミネーションの防止、またメンテナンスの負担やコストを 削減する二重シートバタフライ弁です。 従来のバタフライバルブは1枚のディスクにて開閉がコントロール されていましたが、こちらは2重シートとその中間にあるチャンバーとの 一体型(ダブルブロック＆ブリード)設計により、シャットオフと 漏れ検出が容易になりました。 絶対に混ぜたくない、または高い衛生・安全性を求める工程で使用でき、 CIPシステムでお使いいただけます。 【特長】 ■交差汚染を防止 ■衛生管理を強化し、メンテナンスの負担を軽減、稼働時間を最大化 ■エネルギー、運用、メンテナンスコストを削減 ■信頼性、効率、性能を向上 ■厳しい使用条件にも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
