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バリアチューブ(梱包) - 企業1社の製品一覧

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ジュンフロン ハイバリアチューブ

半導体や太陽電池の洗浄装置等で使用される酸やアルカリの透過を抑制し、周辺環境や設備への悪影響を低減します!

バリア性に優れるふっ素ポリマーチューブです。 内層にはふっ素ポリマーPFAを、外層にはバリア性ふっ素ポリマーを使用し、潤工社の精密多層成型技術により信頼性の高い2層構造のチューブに仕上げました。 接液部の内層は半導体用PFAを使用し、半導体配管用途での高い基本特性(純粋性・耐薬品性・非粘着性・耐熱性)を備えています。 バリア性ふっ素ポリマーは酸(塩酸・硝酸等)・アンモニアのバリア性に優れ、半導体製造プロセスにおいて特に問題となりやすい塩酸ラインにおいて、従来のPFAチューブ配管に比べ酸の透過を抑え、周辺設備への悪影響を低減します。また長期に渡り粒体の透視性を維持できます。 機械特性は従来のPFAチューブと同等です。 原料投入から成形・梱包まで一貫して管理されたクリーン環境で製造しています。

  • 半導体検査/試験装置
  • チューブ

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