UFシリーズヒーター
漏洩の可能性を削減する二重構造液路!高速応答を実現する薬液ヒーターをご紹介
『UFシリーズヒーター』は、応答時間が速く、高精度のプロセス制御を 実現する超純度フレキシブル薬液ヒーターです。 特許取得済みのフレキシブル加熱技術により、限られたスペースにも 設置することが可能。 また、既存のPFA薬液路をフレキシブルなインラインシステムへと進化させた ことにより、使用場所を選ばず、既存の薬液供給装置に容易に組み込むことが できます。 【特長】 ■特許取得済加熱技術 ■トップレベルの応答時間 ■高純度液路 ■窒素パージ不要 ■液気対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:株式会社ヒロテック 東京営業所
- 価格:応相談