【半導体製造向け】低圧損で配管内の流量・流速測定多孔式ピトー管
クリーン度維持に貢献する、低圧損の流量・流速測定センサー
半導体製造業界やクリーン度維持が求められる用途では、プラントの安定稼働と品質管理のために、配管内の流体流量や流速を正確に把握することが重要です。特に、微細な汚染物質の混入を防ぎ、製造プロセスの信頼性を維持するためには、計測機器の選定が不可欠となります。当社の多孔式ピトー管「バーフローチューブ」は、従来の絞り機構と比較して永久圧力損失が低く、省エネルギーに貢献しながら、配管内の平均流速を安定して検出します。これにより、プロセスの安定化と品質維持をサポートします。 【活用シーン】 ・半導体製造ラインにおける各種流体の流量・流速管理 ・クリーンルーム内のエアフロー測定 ・精密なプロセス制御が必要な環境での流体計測 【導入の効果】 ・低圧損による省エネルギー効果 ・安定した流量検出によるプロセス管理の向上 ・配管内平均流速の測定による信頼性の高いデータ取得
- 企業:株式会社ジェイエムエス
- 価格:10万円 ~ 50万円