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接ガス部の材質はSUS303、PTFE、FKM！最大流量10SCCM～50SLMのマスフローセンサをご紹介
当社で取り扱う、ローコストマスフローセンサ『MODEL 3810SSERIES』を ご紹介します。 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が対象。最大流量は10SCCM～50SLM、 精度は±3～5％F.S.となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：5～45℃ ■接ガス部材質：SUS303、PTFE、FKM（オプション NBR or CR） ■電気接続：AMP 171826-5（ケーブル側171822-5） ■重量：約250g、約350g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微小ワークの吸着確認！流量センサなら圧力センサより確実な吸着確認が可能
『PFMV5 Series』は、直管部を設ける必要がないため 省スペース設置が可能なフローセンサです。 センサチップ手前の流路をテーパ形状にすることで安定した センシングが可能で、高い繰返し性と小型化を実現。 また、流量の集中管理において遠隔ラインのモニタリングが可能な 3画面デジタルフローモニタ「PFGV301 Series」も取り扱っております。 【特長】 ■繰返し精度：±2%F.S. ■応答速度：5ms以下 ■耐圧：500kPa ■ノングリース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大1ml/minの液体流量センサー！業界を通じて要求に厳しいアプリケーション向け
『SLI-1000』は、フロー制御システムのインテグレーションに好適な 液体フローセンサーです。 水または炭化水素(アルコール、溶剤、油、燃料、接着剤)系液体の 小流量における高精度測定が可能。 液体フローメーターを複数のインターフェースケーブルと組み合わせる ことができる当社のモジュラー方式によって、液体フローメーターを 好適にかつ簡単に流体システムに組み込むことができます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：1ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■フルスケール流量(IPA)：10ml/min ■精度(IPA)：20％ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
最大80µl/minの液体流量センサー！業界を通じて要求に厳しいアプリケーション向け
『SLI-0430』は、応答時間が短く、高精度であるため、高速注入操作などの 高度かつ動的なプロセスを正確に監視できる液体フローセンサーです。 水または炭化水素(アルコール、溶剤、油、燃料、接着剤)系液体の 小流量における高精度測定が可能。 液体フローメーターを複数のインターフェースケーブルと組み合わせる ことができる当社のモジュラー方式によって、液体フローメーターを 適切にかつ簡単に流体システムに組み込むことができます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：80ul/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■フルスケール流量(IPA)：500ul/min ■精度(IPA)：20％ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
応答時間は標準20ms！スタンドアロン型ラボ設定用の多用途/堅牢液体流量センサー
『SLS-1500』は、堅牢な筐体をそなえ、要求の厳しい産業機器や 研究用途などに合わせた多目的なセンシングソリューションを 提供する液体フローセンサーです。 液体フローメーターを複数のインターフェースケーブルと組み合わせる ことができる当社のモジュラー方式によって、液体フローメーターを 好適かつ簡単に流体システムに組み込むことが可能。 0～40ml/minの流量範囲を高速かつ精密に測定可能ですので、これまで以上に 正確なプロセス監視を行えます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：40ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■最高使用圧力：12bar ■流体コネクタポート：1/4-28 フラットボトム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
センサーには、水およびイソプロパノール(IPA)の校正値が格納！
『SLQ-QT500』は、水または炭化水素(アルコール、溶剤、オイル、燃料、 接着剤)系液体に対して最大120ml/minの流量範囲が測定可能で、粒子を 含んだ液体や高粘度の液体の測定に優れた液体フローセンサーです。 SCC1センサーケーブルの1つと組み合わせて半導体業界の要求の厳しい コーティングシステムや、他業界の様々なディスペンシングおよび 液体フローシステムに容易に組み込むことが可能。 当製品の高い感度と測定スピードは、高速ディスペンスプロセスの監視と 制御に新たな付加価値を提供します。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：120ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■フルスケール流量(IPA)：120ml/min ■精度(IPA)：5％ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
nLからL/minまでの広い測定範囲をカバー！新たなレベルの液体フローセンシング
『SLF3S-4000B』は、液体流量最大600ml/minの液体フローセンサーです。 既存のSLF3xフローセンサー製品群と同じルックアンドフィールで使用でき、 またユーザーは、カスタマイズせずに既存のケーブルまたはソフトウェアを 引き続き使用して読み取りを行うことができるため、ソフトウェアの 再プログラミングは不要。 ポートフォリオは様々な用途を網羅しているので、自動化ソリューションと 流体システムを一人のスペシャリストにより運用できるセンサー技術を 採用したいお客様には好適です。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：600ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■フルスケール流量(IPA)：600ml/min ■精度(IPA)：10％ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
