ブロックバルブ(薬液) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

半導体製造における安定したスラリー供給！アプリケーション事例集

安定したスラリー供給を実現！GEMU 半導体製造向けスラリー供給アプリケーション事例

CMPスラリーの供給において、供給ループ内の流れの乱れはスラリーの凝集を引き起こす可能性があります。CMPスラリー内の粒子が均一に分散されるようにするために、CMPツールフィルターは上流側に接続されており、粗い粒子を除去します。GEMÜバルブブロックの流量最適化設計により、媒体の凝集が比較的少なくなります。これにより、フィルターの寿命が延び、交換間隔が長くなり、コスト削減につながります。 GEMÜ PC50 iComLineマルチポートバルブブロックの適合製品群 POU（Point of Use）ボックスの利点は、そのコンパクトさであり、システムの中間階層に組み込むことができます。これによりクリーンルーム内の空間を節約できます。さらに、ブロックの流量最適化設計により媒体の凝集を防ぐことができます。システムの構造に応じて、さまざまなカスタマイズ対応が可能です。