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高速・高精度に対応した幅広タイプの汎用形精密位置決めテーブル！
ポジショニングテーブルは、高速・高精度に対応したパルスモータ 駆動方式の汎用形精密位置決めテーブルです。 『NX形』は、ローリング方向のモーメント剛性をアップした幅広タイプ に仕上げました。 【特長】 ■ローリング方向モーメント剛性アップ ■2軸使いの位置決め精度に有効 ■壁掛け使いの剛性アップ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
直動運動＋回転運動の駆動要素を同一平面状に配置した薄型ステージ！
ポジショニングテーブル『NTX形』は同一平面上にXY方向とθ方向の 駆動要素を配置した薄型アライメントステージです。 【特長】 ■直動運動＋回転運動の駆動要素を同一平面状に配置 ■回転中心位置の自由設定が可能 ■サイズやストローク、透過穴等用途に合わせた特殊仕様の対応可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
超高精度のリニアスケールを使用し、最大0.0156μmの分解能まで可能
位置決め精度3μm以下 繰り返し位置決め精度±0.2μmを実現！
