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マイクロコイル真空計(真空ポンプ) - 企業1社の製品一覧

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真空計測機器 マイクロコイル真空計

ピラニ真空計よりも扱いやすく広範囲測定が可能! 測定値の安定性、センサ部の耐環境性も抜群です!

マイクロコイル真空計は、気体の熱伝導を利用した熱伝導方式の真空計です。一般的に熱伝導方式の真空計ではピラニ真空計が有名で、他の方式の真空計より、比較的安価で、取扱いも容易のため幅広く利用されています。しかし、測定領域は狭く、使用環境によっては計測値に影響を受けたり、振動、衝撃などにより断線するなど、耐環境性が高くありません。 マイクロコイル真空計は、ピラニ真空計と同じ熱伝導方式ですが、従来のピラニ真空計より広領域測定可能で、測定値の安定性、センサ部の耐環境性、取扱いの利便性を高める機能を有した真空計です。

  • 真空機器

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