マイクロ波顕微鏡(形状測定) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

【分析事例】半導体中キャリアの直流電圧依存性評価

半導体中のキャリアの挙動を可視化できます！

弊団では、半導体中キャリアの直流電圧依存性評価を承っております。 SMM計測は半導体中のキャリア濃度の大小をマッピングできる手法です。 また、SMM計測時に試料に直流電圧を印加してキャリアを誘起させながら 計測することが可能です。 各測定点で印加電圧条件ごとにSMM信号を取得しながらマッピング測定を行い、 データキューブを構築。全データ収集後に印加電圧条件ごとにSMM信号を 解析することで、印加電圧に対するキャリアの振る舞いを可視化することができます。 【測定法・加工法】 ■[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。