マスフロー制御ユニット『MSU101』
最大で6台まで同時に制御可能!お望みの混合ガスを手軽に生成できます
『MSU101』は、1台の制御ユニットで複数のデジタル型マスフロー コントローラをプログラムコントロールできます。 堀場エステック社製マスフローコントローラ(MFC)をコントロールし、 最大で6台まで同時に制御することが可能。 電源内蔵なので別電源を用意する必要がありません。 また、デジタルタイプとアナログ/デジタル共用タイプの2種類の 制御ユニットがあります。 【特長】 ■1台の制御ユニットで複数のデジタル型マスフローコントローラを プログラムコントロールできる ■お望みの混合ガスを手軽に生成できる ■最大で6台まで同時に制御可能 ■電源内蔵なので別電源を用意する必要がない ■デジタルタイプとアナログ/デジタル共用タイプの2種類の制御ユニットをご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社エスワン
- 価格:応相談