マルチセンサ(成膜) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ CRTSシリーズ

水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。【アルバック／ULVAC】

CRTS シリーズは水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。 様々な蒸着装置に広くご使用いただくために、豊富なラインナップをご用意しております。 CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。 【ラインナップ】 ○蒸着センサ CRTS-4 ○マルチセンサ CRTS-M6 ○マルチセンサ CRTS-12NS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。