メタルシール採用事例:半導体製造用化学物質キャニスター
樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報!メタルシールを採用しヘリウムリークタイトを実現
当社の「HELICOFLEX デルタシール」が化学会社のキャニスター用 シールに採用された事例をご紹介いたします。 化学会社のキャニスター用シールの仕様は、真空と正圧の両方を ヘリウムリークタイトできる信頼性と、耐久性に優れることなので、 樹脂製やエラストマー性の採用はできませんでした。 採用後は、ヘリウムリークタイトを実現し、通常よりも設計締付圧力が 低いことによりボルト荷重が下がり、スペースが限定されるキャニスター カバーのボルト数低減につながりました。 【事例概要】 ■課題 ・化学物質をヘリウムリークタイトで繰り返し輸送したい ■結果 ・ヘリウムリークタイトを実現 ・設計締付圧力が低いことによりホルト荷重が下がり、 キャニスターカバーのボルト数を低減 ・PFAS対策の一案としても ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company:テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社
- Price:応相談