蒸着モニター / コントローラー （膜厚計）
精密で安定な蒸着をお手伝いいたします
最新テクノロジーによる水晶膜厚モニタをベースに、レートや膜厚の監視、コントロール、蒸着シーケンスの制御を行います。高分解能で高速な計測による精密で安定な蒸着が可能です。拡張性、汎用性に優れた設計で、様々な用途に対応可能です。
- 企業：VISTA株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
モニターコントローラ(自動制御) - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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CO2・温度・湿度モニター/コントローラー（RS232C）
CO2濃度が見える 室内のCO2濃度を測定し表示 適正な換気制御による省エネルギー 作業の効率化、眠気・健康被害の防止
●高精度NDIR(非分散型赤外線吸収方式)デュアルビームセンサを使用 ●CO2濃度に応じた換気機器の自動制御が可能 ●アナログ出力(4～20mA・0～10V)が可能 ●植物工場・温室におけるCO2制御にも使用可 ●取り付け・交換・メンテナンス・キャリブレーション(校正)が簡単 ●デジタル出力 RS-232CまたはRS-485 Modbus対応 ●ダクト取り付けキットあり ●データロガー内蔵型あり
- 企業：株式会社シロ産業
- 価格：応相談
