SiCインラインヒーター ACCUHEAT
SiCインラインヒーター ACCUHEAT
HF/KOH/溶剤等の昇温に最適 SiCインラインヒーター 【特徴】 ○IMTEC社製 ○フッ酸・アルカリ液（KOH、TMAH）対応 ○SiCチューブを使用 ○ヒーターを直接貼ることにより、 最適な効率で高精度な温度制御を可能 ○接液部は、SiCおよびPFAのため従来のヒーターと比べ コンタミの発生を防ぐ ○ランプ交換・CDAは不要でメンテナンスフリー ○コンパクトサイズ ○縦置き・横置き設置が可能 ○省スペースを実現 ○循環・シングルパスプロセス共に対応可 ○4.5kw-18kwまで多彩なラインナップ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- Company：株式会社ヒロテック 東京営業所
- Price：応相談
