【事例紹介】成膜装置のプレヒート
【事例紹介】成膜装置のプレヒート
統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
- 企業:ウシオ電機株式会社
- 価格:応相談
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【事例紹介】成膜装置のプレヒート
統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
株式会社シンワバネスより「ランプヒーター」のご案内です。
ランプヒーターはハロゲンランプの赤外域の光を効率よく取り出し、加熱源とした製品です。
直管型『ハロゲンランプヒーター』の小ロット生産、カスタム生産を承ります。
■入力電圧 ■電力 ■全長 ■発熱長 ■口金 ■電線(種類、長さ、端子などご相談できます。) ■形状(直線型、サークル型、コの字型など様々な形状) ■点灯方向(標準仕様は水平。垂直仕様もあります。) ■白反射膜などの膜付け塗装 など、お客様のご要望に合わせたハロゲンランプヒーター生産を承ります。
U字型『ハロゲンランプヒーター』の小ロット生産、カスタム生産を承ります。
■入力電圧 ■電力 ■全長 ■発熱長 ■口金 ■電線(種類、長さ、端子などご相談できます。) ■形状(直線型、サークル型、コの字型など様々な形状) ■点灯方向(標準仕様は水平。垂直仕様もあります。) ■白反射膜などの膜付け塗装 など、お客様のご要望に合わせたハロゲンランプヒーター生産を承ります。
半円型『ハロゲンランプヒーター』の小ロット生産、カスタム生産を承ります。
■入力電圧 ■電力 ■全長 ■発熱長 ■口金 ■電線(種類、長さ、端子などご相談できます。) ■形状(直線型、サークル型、コの字型など様々な形状) ■点灯方向(標準仕様は水平。垂直仕様もあります。) ■白反射膜などの膜付け塗装 など、お客様のご要望に合わせたハロゲンランプヒーター生産を承ります。
ハロゲンランプが放射する光を熱として利用したのがハロゲンヒーターです
ハロゲンヒーターから放出される光のほとんどは目に見えない赤外線(熱)であり、熱源として非常に高効率なエネルギー源です。 『お客様のご要望・仕様に合わせて設計・製作致しますので、一度お問い合わせください。』
国内工場にて1本からお客様ご希望の仕様でカスタム生産が可能です。お困りのランプや試作品を作ってみたいなど、先ずはご相談下さい。
■入力電圧 ■電力 ■全長 ■発熱長 ■口金仕様 ■電線仕様 ■形状(直線型、サークル型、コの字型など様々な形状) など、お客様のご要望に合わせたハロゲンランプヒーター生産を承ります。
コの字型『ハロゲンランプヒーター』の小ロット生産、カスタム生産を承ります。
■入力電圧 ■電力 ■全長 ■発熱長 ■口金 ■電線(種類、長さ、端子などご相談できます。) ■形状(直線型、サークル型、コの字型など様々な形状) ■点灯方向(標準仕様は水平。垂直仕様もあります。) ■白反射膜などの膜付け塗装 など、お客様のご要望に合わせたハロゲンランプヒーター生産を承ります。
半円L型『ハロゲンランプヒーター』の小ロット生産、カスタム生産を承ります。
■入力電圧 ■電力 ■全長 ■発熱長 ■口金 ■電線(種類、長さ、端子などご相談できます。) ■形状(直線型、サークル型、コの字型など様々な形状) ■点灯方向(標準仕様は水平。垂直仕様もあります。) ■白反射膜などの膜付け塗装 など、お客様のご要望に合わせたハロゲンランプヒーター生産を承ります。
サークルシームレス型『ハロゲンランプヒーター』の小ロット生産、カスタム生産を承ります。
■入力電圧 ■電力 ■全長 ■発熱長 ■口金 ■電線(種類、長さ、端子などご相談できます。) ■形状(直線型、サークル型、コの字型など様々な形状) ■点灯方向(標準仕様は水平。垂直仕様もあります。) ■白反射膜などの膜付け塗装 など、お客様のご要望に合わせたハロゲンランプヒーター生産を承ります。
2重管型『ハロゲンランプヒーター』の小ロット生産、カスタム生産を承ります。
■入力電圧 ■電力 ■全長 ■発熱長 ■口金 ■電線(種類、長さ、端子などご相談できます。) ■形状(直線型、サークル型、コの字型など様々な形状) ■点灯方向(標準仕様は水平。垂直仕様もあります。) ■白反射膜などの膜付け塗装 など、お客様のご要望に合わせたハロゲンランプヒーター生産を承ります。
弊社関連自社工場にて国内生産しております。小ロット生産、異形タイプの生産などお客様のご要望に合わせたカスタム生産を承ります。
■入力電圧 ■電力 ■全長 ■発熱長 ■口金 ■電線(種類、長さ、端子などご相談できます。) ■形状(直線型、サークル型、コの字型など様々な形状) ■点灯方向(標準仕様は水平。垂直仕様もあります。) ■白反射膜などの膜付け塗装 など、お客様のご要望に合わせたハロゲンランプヒーター生産を承ります。
サークルシームレスL型『ハロゲンランプヒーター』の小ロット生産、カスタム生産を承ります。
■入力電圧 ■電力 ■全長 ■発熱長 ■口金 ■電線(種類、長さ、端子などご相談できます。) ■形状(直線型、サークル型、コの字型など様々な形状) ■点灯方向(標準仕様は水平。垂直仕様もあります。) ■白反射膜などの膜付け塗装 など、お客様のご要望に合わせたハロゲンランプヒーター生産を承ります。
ハロゲンヒーターでお困りごとがあれば、先ずはご相談ください。
ハロゲンランプヒーターは、関連自社工場にて国内生産しております。 1本からお客様ご希望の仕様でカスタム生産が可能です。 入手困難でお困りのランプや新規で試作品を作ってみたいなど、お問合せ・ご相談ください。 経験豊富な専任スタッフが対応させて頂きます。
近赤外ランプヒーターでお困りごとがあれば、先ずはご相談ください。
近赤外線を主に放射するハロゲンランプヒーターは、関連自社工場にて国内生産しております。 1本からお客様ご希望の仕様でカスタム生産が可能です。 入手困難でお困りのランプや新規で試作品を作ってみたいなど、お問合せ・ご相談ください。 経験豊富な専任スタッフが対応させて頂きます。
【展示会出展】非接触で短時間・高精度の加熱を実現。独自のランプ設計と高いコントロール性で、幅広い加熱工程の課題を解決します。
赤外線放射による非接触加熱で、短時間・高精度な加熱を実現するハロゲンランプヒータです。 優れた昇温・降温性能と、ランプ形状・フィラメント設計による加熱分布の最適化により、半導体製造装置をはじめとする幅広い加熱工程に対応します。 軽量・小型で装置への組み込みが容易であり、面内温度±5℃の精密加熱や、アルミニウムを約10秒で300℃まで昇温する高速加熱にも対応します。 【特長】 ■ 投入電力の65%以上が赤外線に変換され放射される高効率な熱源 ■ スイッチのON/OFFとほぼ同時に応答する優れた昇温・降温性能 ■ レンズやミラーを用いた光学的制御による高いコントロール性 ■ ランプ形状やフィラメント設計を変えることで自在な配熱パターンに対応 ■ 非接触加熱のため対象物を汚染せず、大気中から真空中まで様々な環境に設置可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。