低温冷凍機(冷媒ガス) - 企業1社の製品一覧

HFC混合冷媒二元式超低温冷凍機『マック・クライオ』

真空ポンプとして開発！冷凍機吐出ガスの高温+50℃を利用して瞬時に+25℃のパネルに加熱が可能

『マック・クライオ』は、真空補助ポンプとして必需なHFC混合冷媒二元式超低温冷凍機です。一元式混合冷媒冷凍機システムを利用して-70℃の冷却器を内蔵。独立した冷凍回路を持つ二元目の冷凍機は、一元式混合冷媒冷凍機の冷却能力によって自由に起動が可能で、-125℃の超低温クライオパネルを瞬時に発揮できます。（コールドトラップによる排気作用）【特長】 ■生産性を30％向上 ■高品質の成膜を保証 ■高温成膜装置に好適 ■液体窒素トラップは不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。