保つ軸(測定) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

0.1nm分解能ピエゾステージ｜長距離位置決めの再現性を保つX軸

最大1800µmストロークと実位置直接計測により、干渉計・光学アライメントの位置ズレを低減

PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。