HAXPESによるオージェピークの重複を回避した評価
Ga線（HAXPES）およびAl線・Mg線（XPS）測定によるスペクトル比較
HAXPESでは励起光に硬X線（Ga線）を用いており、通常のXPS測定で用いられるAl線・Mg線とはオージェピークの位置が異なります。そのため、Al線・Mg線測定において光電子ピークとオージェピークが重複した試料でも、Ga線測定ではその重複を回避でき、詳細な結合状態評価が可能です。 本資料では、Ga線（HAXPES搭載）およびAl線・Mg線（XPS搭載）で測定した、コバール（Fe、Ni、Coの合金）およびGaNのスペクトルを紹介します。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
